In het precieze en veeleisende gebied van halfgeleider -experimenten en productie is de selectie van elk materiaal cruciaal. Onder hen, JGS2 Quartz Glass is een onmisbaar basismateriaal geworden in veel belangrijke proceskoppelingen vanwege de reeks onvervangbare uitstekende kenmerken. Het is niet alleen een soort glas, maar ook de technologische hoeksteen voor het bereiken van krachtige chipproductie.

Wat is JGS2 Quartz -glas?

JGS2 Quartz Glass is een synthetisch kwarts glas gemaakt van hoog-zuiver siliciumdioxide (SIO ₂), dat wordt gesmolten met een waterstofzuurstofvlam om kristalpoeder met een hoog zuiverheid te produceren. JGS 'is de codenaam voor de Chinese nationale standaard, waar JGS2 verwijst naar ultraviolet optisch kwarts glas. De kernfunctie is een hoge transmissie in de ultraviolette band (160 nm-300 nm), terwijl het een aantal uitstekende fysische en chemische eigenschappen bezit die gemeenschappelijk is voor quartz glas.

In de context van halfgeleiders, wat we meestal 'kwarts glas ' of 'kwarts -apparaten ' noemen (zoals kwartsboten, kwartsbuizen, kwartsbaffels) verwijzen meestal naar JGS2 of hogere kwaliteit kwartsmaterialen.

De kernvoordelen en oplossingen van JGS2 Quartz Glass

De voordelen van JGS2 Quartz -glas zijn veelzijdig en samen lossen ze veel pijnpunten op in halfgeleider -experimenten en productie.

1. Extreem hoge zuiverheid en lage vervuiling - het oplossen van het probleem van 'onzuiverheidsvervuiling '

Voordeelbeschrijving: JGS2 -kwarts glas heeft een extreem lage metalen onzuiverheidsgehalte (meestal minder dan een paar delen per miljoen) en een extreem hoge chemische zuiverheid.

Probleem opgelost:

In processen op hoge temperatuur zoals diffusie en oxidatie zullen gewone materialen metaalionen neerslaan (zoals Na ⁺, K ⁺, Fe ⊃2; ⁺, enz.) Of andere onzuiverheden, die siliciumwafels kunnen besmetten en de levensduur van minderheidsdragers vermindert, wat leidt tot determijn van geïntegreerde circuitprestaties, verhoogde lekkagestroom, en zelfs het falen van het apparaat.

Het stabiele rooster en ultrahoge zuiverheid van JGS2-kwartsglas zorgen ervoor dat het geen meetbare onzuiverheden in siliciumwafels introduceert, zelfs bij hoge temperaturen boven 1200 ℃, waardoor de elektrische prestaties en opbrengst van de chip worden gewaarborgd.

2. Uitstekende thermische stabiliteit - Het oplossen van de problemen van 'thermische spanningsbreuk ' en 'vervorming '

Voordeelbeschrijving: JGS2 -kwarts glas heeft een extreem lage coëfficiënt van thermische expansie (ongeveer 5,5 × 10 ⁻⁷/℃), gelijk aan 1/10 ~ 1/20 gewoon glas. Dit betekent dat het een sterke tolerantie heeft voor snelle temperatuurveranderingen.

Probleem opgelost:

Halfgeleiderprocessen omvatten frequente snelle verwarming en koeling (zoals snelle thermisch gloeien RTP). Gewone materialen kunnen interne stress ervaren vanwege ongelijke thermische expansie en samentrekking, wat leidt tot kraken of breuk.

JGS2 Quartz Glass heeft uitstekende 'thermische schokstabiliteit ' en kan drastische temperatuurveranderingen weerstaan ​​zonder te kraken, waardoor de continuïteit en veiligheid van het productieproces worden gewaarborgd en de levensduur van procescomponenten wordt verlengd.

3. Uitstekende weerstand van hoge temperaturen - het oplossen van het probleem van 'materiaalverzachtend '

Voordeelbeschrijving: Het verzachtende punt van JGS2-kwartsglas is zo hoog als 1730 ℃ en de langetermijngebruiktemperatuur kan boven 1100 ℃ reiken.

Probleem opgelost:

Halfgeleiderdiffusie, oxidatie en andere processen worden meestal uitgevoerd in ovenbuizen op hoge temperatuur variërend van 1000 ℃ tot 1250 ℃. Veel metalen en gewoon glas zullen bij deze temperatuur verzachten, smelten of gassen vrijgeven.

JGS2 Quartz Glass kan lange tijd stabiele vorm en sterkte behouden in deze omgeving op hoge temperatuur en biedt betrouwbare ondersteuning en reactieomgeving voor siliciumwafels. Het is een ideaal materiaal voor het produceren van armaturen op hoge temperatuur zoals ovenbuizen, boten en messen.

4. Goede UV -transmissie - Het probleem oplossen van 'energieoverdracht in fotolithografieproces '

Voordeelbeschrijving: JGS2 Quartz -glas heeft een hoge transmissie in het ultraviolette spectrale gebied, vooral in de diepe ultraviolet (DUV) band.

Probleem opgelost:

In fotolithografie is het noodzakelijk om de patronen op het masker nauwkeurig op de siliciumwafer via een belichtingssysteem te projecteren. Moderne lithografiemachines gebruiken DUV -lichtbronnen (zoals KRF 248 NM, ARF 193NM).

Aangezien het belangrijkste materiaal voor lithografische machinaallenzen en maskersubstraten, zorgt JGS2 -kwarts glas met hoge ultraviolette transmissie voor een efficiënte overdracht van lichtbronergie, vermindert het energieverlies en zorgt dus voor de resolutie en nauwkeurigheid van blootstellingspatronen.

5. Uitstekende chemische stabiliteit - het oplossen van het probleem van 'zuur -base corrosie '

Voordeelbeschrijving: Afgezien van hydrofluorzuur (HF) en heet fosforzuur vertoont JGS2 -kwarts glas een uitstekende corrosieweerstand tegen bijna alle zuren (zoals HCl, H ₂ So ₄, Hno ∝) en bases.

Probleem opgelost:

Het natte etsen- en reinigingsproces van halfgeleiders maakt uitgebreid gebruik van verschillende sterke zuur- en alkali -oplossingen. Reactietanks, bloemmanden, pijpleidingen, etc. vereisen langdurige blootstelling aan deze chemische reagentia.

JGS2 Quartz-glazen vaten kunnen effectief weerstand bieden aan chemische corrosie, waardoor de introductie van nieuwe onzuiverheden als gevolg van containercorrosie wordt vermeden, terwijl de duurzaamheid van het vat zelf wordt gewaarborgd.

6. Uitstekende optische uniformiteit en elektrische isolatie

Voordeelbeschrijving: de interne structuur is uniform en de consistentie van brekingsindex is extreem hoog; Het is ook een uitstekende elektrische isolator met extreem hoge elektrische weerstand.

Probleem opgelost:

Optische uniformiteit zorgt ervoor dat er geen vervorming optreedt in het optische pad, wat cruciaal is voor de beeldvormingskwaliteit van lithografielenzen.

De hoge elektrische isolatie maakt het geschikt voor gebruik in processen waarbij plasma zoals CVD betrokken is, als een observatievenster en diëlektrisch venster voor reactiekamers, die interne werkomstandigheden kunnen waarnemen en elektrische velden effectief kunnen isoleren.

Voorbeelden van hoofdtoepassingsscenario's

Op basis van de bovenstaande voordelen wordt JGS2 Quartz -glas veel gebruikt in de volgende halfgeleider -experimenten en productieprocessen:

Hoge temperatuurproces: diffusie -ovenbuis, oxidatie -ovenbuis, kwartsboot, kwarts -paddle, baffle, etc.

Lithografieproces: fotomaskjabloonsubstraat, optische systeemcomponenten van lithografiemachine.

Nat proces: zure/alkali -reinigingstank, bloemmand, etstank.

CVD -proces: voeringbuis, klokdeksel, gasverdelingsplaat in de reactiekamer.

Observatie en meting: verschillende observatievensters, laservensters, UV -lampenkappen.

JGS2 Quartz glas, met zijn ultrahoge zuiverheid, uitstekende thermische stabiliteit, uitstekende optische eigenschappen en uitstekende chemische weerstand, lost perfect de kernvereisten op van lage vervuiling, hoge temperatuurweerstand, thermische schokweerstand, corrosieweerstand en optische transmissie met een hoge precisie in semiconductor-experimenten en productie. Het is niet alleen een belangrijk functioneel materiaal in halfgeleiderapparatuur en -processen, maar ook een belangrijke garantie voor het bevorderen van de continue ontwikkeling van geavanceerde processen. Het kiezen van hoogwaardige JGS2 Quartz-glasproducten legt een solide basis voor de stabiliteit, betrouwbaarheid en succespercentage van halfgeleideronderzoek en productie.

Luverre Quartz produceert en verkoopt een breed scala aan kwarts van hoge kwaliteit, inclusief kwartbuizen, kwartsplaten, kwartsstaven, kwartsramen, kwarts smeltkroes, kwartsboten, kwartsflenzen, kwartsbanden, kwarts -glazen instrumenten en meer. We kunnen voldoen aan allerlei aangepaste vereisten voor kwarts -glazen producten.