半導体実験と製造の正確で厳しい分野では、各材料の選択が重要です。その中で、 JGS2 Quartz Glassは、 かけがえのない一連の優れた特性により、多くの重要なプロセスリンクで不可欠な基本素材になりました。それは単なるガラスの一種ではなく、高性能チップ製造を達成するための技術的基礎でもあります。

JGS2 Quartz Glassとは何ですか？

JGS2石英ガラスは、高純度の二酸化シリコン（SIO₂）で作られた合成石英ガラスで、水素酸素炎で溶けて高純度の結晶粉末を生成します。 JGS 'は中国国家標準のコード名であり、JGS2は紫外線光クォーツガラスを指します。そのコア機能は、紫外線バンド（160NM-300NM）の高い透過率です。

半導体のコンテキストでは、通常、 'Quartz Glass 'または 'Quartz Devices '（Quartz Boats、Quartzチューブ、石英バッフルなど）と呼ばれるものは、主にJGS2または高品質のクォーツ材料を指します。

JGS2石英ガラスのコアの利点とソリューション

JGS2石英ガラスの利点は多面的であり、一緒になって半導体実験と生産において多くの問題点を解きます。

1.非常に高い純度と低汚染 - 「不純物汚染」の問題を解決する

アドバンテージの説明：JGS2 Quartz Glassは、金属の不純物含有量が非常に低く（通常は数百分の1部未満）、非常に高い化学純度です。

問題解決：

拡散や酸化などの高温プロセスでは、通常の材料は金属イオン（Na⁺、k⁺、fe⊃2;⁺など）またはその他の繁殖力を沈殿させ、シリコン元場を汚染し、少数キャリアの寿命を劇的に減らし、積極的な回路パフォーマンスの劣化につながり、漏れのある電流障害を増加させます。

JGS2石英ガラスの安定した格子と超高純度は、1200°を超える高温でも測定可能な不純物をシリコンウェーハに導入しないことを保証し、それによりチップの電気性能と収量が確保されます。

2。優れた熱安定性 - '熱応力破裂'および '変形'の問題の解決 '

アドバンテージの説明：JGS2クォーツガラスは、通常のガラスの1/10〜1/20に相当する、熱膨張係数（約5.5×10）に相当します。これは、急速な温度変化に対して強い耐性があることを意味します。

問題解決：

半導体プロセスには、頻繁な急速な加熱と冷却（急速な熱アニーリングRTPなど）が含まれます。通常の材料は、不均一な熱膨張と収縮のために内部ストレスを感じる可能性があり、亀裂や破損につながる可能性があります。

JGS2 Quartz Glassは優れた「熱衝撃安定性」を備えており、クラックせずに劇的な温度変化に耐え、生産プロセスの連続性と安全性を確保し、プロセスコンポーネントのサービス寿命を延ばすことができます。

3。優れた高温抵抗 - 「材料軟化」の問題の解決 '

アドバンテージの説明：JGS2石英ガラスの柔らかい点は1730℃と同じ高さであり、長期使用温度は1100を超えることができます。

問題解決：

半導体拡散、酸化、およびその他のプロセスは、通常、1000 〜1250の範囲の高温炉チューブで行われます。多くの金属と普通のガラスは、この温度でガスを柔らかく、溶かし、または放出します。

JGS2石英ガラスは、この高温環境で長い間安定した形状と強度を維持することができ、シリコンウェーハに信頼できるサポートと反応環境を提供します。これは、炉のチューブ、ボート、刃などの高温器具を製造するのに理想的な材料です。

4。良好なUV透過率 - 「フォトリソグラフィプロセスにおけるエネルギー移動の問題を解決する」

アドバンテージの説明：JGS2 Quartz Glassは、紫外線スペクトル領域、特に深い紫外線（DUV）バンドで高い透過率を持っています。

問題解決：

フォトリソグラフィでは、露出システムを介してマスク上のパターンをシリコンウェーハに正確に投影する必要があります。最新のリソグラフィマシンは、DUV光源（KRF 248NM、ARF 193NMなど）を使用しています。

リソグラフィマシンレンズおよびマスク基質の主な材料として、高紫外線透過率を備えたJGS2クォーツガラスは、光源エネルギーの効率的な伝播を保証し、エネルギー損失を減らし、したがって暴露パターンの解像度と精度を保証します。

5。優れた化学物質の安定性 - 「酸塩基腐食」の問題の解決

アドバンテージの説明：ヒドロフルオリン酸（HF）と高温リン酸を除いて、JGS2石英ガラスは、ほぼすべての酸（HCl、H₂など）および塩基に対する優れた腐食耐性を示します。

問題解決：

半導体のウェットエッチングおよび洗浄プロセスは、さまざまな強酸およびアルカリ溶液を広範囲に使用しています。反応タンク、フラワーバスケット、パイプラインなどは、これらの化学試薬に長期的に暴露する必要があります。

JGS2クォーツガラス容器は、容器自体の長期的な耐久性を確保しながら、容器腐食による新しい不純物の導入を回避し、化学腐食に効果的に抵抗できます。

6.優れた光学均一性と電気断熱

アドバンテージの説明：内部構造は均一であり、屈折率の一貫性は非常に高いです。また、非常に高い電気抵抗率を備えた優れた電気絶縁体でもあります。

問題解決：

光学的均一性により、光学経路で歪みが発生しないことが保証されます。これは、リソグラフィレンズのイメージング品質に重要です。

高い電気断熱により、CVDなどのプラズマを含むプロセスでの使用に適しています。これは、内部労働条件を観察し、電界を効果的に分離することができる反応チャンバーの観測窓と誘電窓などです。

メインアプリケーションシナリオの例

上記の利点に基づいて、JGS2 Quartz Glassは、次の半導体実験と製造プロセスで広く使用されています。

高温プロセス：拡散炉チューブ、酸化炉チューブ、クォーツボート、クォーツパドル、バッフルなど。

リソグラフィプロセス：リソグラフィマシンの光学システムコンポーネント、フォトマスクテンプレート基板。

ウェットプロセス：酸/アルカリクリーニングタンク、フラワーバスケット、エッチングタンク。

CVDプロセス：裏地チューブ、ベルカバー、反応チャンバー内のガス分布プレート。

観察と測定：さまざまな観測窓、レーザー窓、UVランプシェード。

超高純度、優れた熱安定性、優れた光学特性、および優れた化学耐性を備えたJGS2石英ガラスは、低汚染、高温耐性、熱衝撃耐性、耐食性、および半導体実験と製造の高精度光透過のコア要件を完全に解決します。これは、半導体機器とプロセスの重要な機能材料であるだけでなく、高度なプロセスの継続的な開発を促進するための重要な保証でもあります。高品質のJGS2クォーツガラス製品を選択することは、半導体の研究と生産の安定性、信頼性、成功率の強固な基盤となります。

Luverre Quartzは 、石英チューブ、石英プレート、石英ロッド、石英窓、石英の十字架、石英ボート、クォーツフランジ、クォーツビーカー、クォーツグラスインストゥルメントなどを含む、幅広い高品質の石英ガラスを製造および販売しています。 Quartz Glass製品のあらゆる種類のカスタマイズされた要件を満たすことができます。