В точной и требовательной области полупроводниковых экспериментов и производства выбор каждого материала имеет решающее значение. Среди них, Кварцевое стекло JGS2 стало не�р�менимым основным материалом во многих ключевых процессах из -за серии незаменимых превосходных характеристик. Это не просто тип стекла, но и технологический краеугольн��й камень для достижения высо��опроизводительного производства чипов.

Что такое jgs2 Quartz Glass?

Кварцевое стекло JGS2 представляет собой синтетическое кварцевое стекл�т изготовленное из диоксида кремния высокой чистоты (SIO ₂), которое ра��плавлена ​​кислородным пламенем для водорода для получения кристаллического порошка высоко�� чистоты. JGS '-это кодовое название для китайского национального стандарта, где JGS2 относится к ��льтрафиолетовому оптическому кварцевому стеклу. Его основной особенностью является высокая пропускание в ультрафиолетовой полосе (160 нм-300 нм), в то же время обладая серией превосходных физических и химических соженым кремнеземом

В контексте полупроводников то, что мы обычно называем 'Quartz Glass ' или 'Quartz Devices ' (напр�одников то, что мы обычно называем 'Quartz Glass ' или 'Quartz Devices ' (например, кварцевые лодки, кварцевые трубки, кварцевые перегородки) в основном относятся к JGS2 или более качественным кварцевым материалам.

Основ�Ос� преимущества и решения кварцевого стекла JGS2

Преимущества кварцевого стекла JGS2 многогранны, и вместе они решают много болевых точек в полупроводниковых экспериментах и ​​производстве.

1. Чрезвычайно высокая чистота и низкая загрязнение - решение проблемы 'примеси загрязнения '

нреимущество Описание: JGS2 Ква�г�евое стекло имеет чрезвычайно низкое содержание примеси металла (обычно менее нескольких частей на миллион) и чрезвычайно высокой химической е содержание примеси металла (обычно менее нескольких частей на миллион) и чрезвычайно высокой химической чистоты.

Проблема решена:

В высокотемпературных процессах, таких как диффузия и окисление, обычные материалы будут осаждать ионы металлов (такие как Na ⁺, K ⁺, Fe ⊃2; ⁺ и т. Д.) Или другие примеси, которые могут загрязнять силиконовые вафли и резко снизить жизненную жизнь носителей меньшинств, что приводит к ухудшению характеристик интегрированной цепи, увеличению тока ликажа и даже вручную устройства.

Стабильная решетка и сверхвысокая чистота кварцевого стекла JGS2 гарантируют, что она не внедряет измеримые примеси в кремниевые пластины даже при высоких температурах выше 1200 ℃, что обеспечивает электрические характеристики и выход чипа.

2. Отличная тепловая стабильность - решение проблем 'разрыва теплового напряжения ' и 'Деформация '

Преимущество Описание: Кварцевое стекло JGS2 имеет чрезвычайно низкий коэффициент термического расширения (около 5,5 × 10 ⁻⁷/℃), что эквивалентно 1/10 ~ 1/20 обычного стекла. Это означает, что он имеет сильную терпимость к быстрым изменениям температуры.

Проблема решена:

Полупроводниковые процессы включают в себя частое быстрое нагрев и охлаждение (например, RTP быстрого отжига термического отжига). Обычные материалы могут испытывать внутреннее напряжение из -за неравномерного термического расширения и сокращения, что приводит к растрескиванию или поломке.

Кварцевое стекло JGS2 обладает превосходной стабильностью теплового шока »и может противостоять радикальным изменениям температуры без растрескивания, обеспечивая непрерывность и безопасность производственного процесса и продление срока службы компонентов процесса.

3. Отличная высокотемпературная сопротивление - решение пррблемы смягчения материала '

Описание преимущества: точка смягчения кварцевого стекла JGS2 досJGS2гает 1730 ℃, а температура долгосрочного использования может достигать 1100 ℃.

Проблема решена:

Полупроводниковая диффузия, окисление и�другие процесс� �обычно проводится в высо��отемпературных п��обирках печ�мв диапазоне от 1000 �

Кварцевое стекло JGS2 может долго поддерживать стабильную форму и прочность в этой высокотемпературной среде, обеспечивая надежную среду поддержки и реакции для кремниевых пластин. Это идеальный материал для производства высокот��мпературных приборов, таких как пробирки для печи, лодки и лезвия.

4. Хорошее ультрафиолетовое распределение - решение проблемы переноса энергии в процессе фотолитографии '

Преимущество Описание: jgs2 Quartz Glass имеет высокую пропускание в ультрафиолетовой спектральной области, особенно в глубоководной ультрафиолетовой (DUV) полосе.

Проблема решена:

В фотолитографии необходимо точно проецировать шаблоны на маске на кремниевую пластину через систему экспозиции. Современные литографические машины используют источники света DUV (такие как KRF 248NM, ARF 193NM).

В качестве основного материала для линбов литографических машин и маска -субстратов, jgs2 кварцевое стекло с высоким ультрафиолетовым проходом обеспечивает эффективную передачу энергии источника света, снижает потерю энергии и, таким образом, обеспечивает разрешение и точность паттернов воздействия.

5. Отличная химическая стабильность - решение проблемы 'кислой коррозии '

Преимущество Описание: Помимо гидрофлуорической кислоты (HF) и горячей фосфорной кислоты, кварцевое стекло JGS2 демонстрирует превосходную коррозионную устойчивость почти ко всем кислотам (например, HCl, H ₂ SO ₄, HNO ∝) и основания.

Проблема решена:

Процесс влажного травл��ния и очистки полупроводников широко использует различные растворы сильоой кислоты и щелочи. Реакционные резервуары, цветочные корзины, трубопроводы и т. Д. требубт долгосрочного воздействия этих химичес�и�х реагентов.

Кварцевые стеклянные сосуды JGS2 могут эффективно противостоят�� химической коррозии, избегая введения новых примесей из-за коррозии контейнеров, обеспечивая при этом долгосрочную долговечность самого судна.

6. Отличная оптическая однородность и электрическая изоляция

Преимущество Описание: Внутренняя структура равномерная, а консистенция показателя преломления чрезвычайно высока; Это также отличный электрический изолятор с чрезвычайно высоким электрическим удельным сопротивлением.

Проблема решена:

Оптическая однородность гарантирует, что в оптическом пути не происходит искажения, что имеет решающее значение для качества визуализации литографических линз.

Высокая электрическая изоляция делает его подходящим для использования в процессах, включающих плазму, такую ​​как сердечно -сосудистые заболевания, в качестве окна наблюдения и диэлектрического окна для реакционных камер, которые могут наблюдать за внутренними условиями труда и эффективно выделять электрические поля.

Примеры основных сценариев применения

Основываясь на вышеуказанных преимуществах, Quartz Glass JGS2 широко используется в следующих полупроводниковых экспериментах и ​​производственных процессах:

Высокая температура Процесс: диффузионная печь трубка, трубка окисления печи, кварцевая лодка, кварцевое весло, перегородка и т. Д.

Литографический процесс: подложка шаблона фотомаски, компоненты оптической системы литографической машины.

Мокрый процесс: кислый/щелочный очищающий резервуар, Цветочная корзина, бак для травления.

Процесс сердечно -сосудистых заболеваний: пробирная трубка, крышка колокольчика, газовая распределительная пластина внутри реакционной камеры.

Наблюдение и измерение: различные окна наблюдения, лазерные окна, УФ -абажуры.

Кварцевое стекло JGS2, с его сверхвысокой чистотой, превосходной термоттабильностью, выдающимися оптическими свойствами и выдающейся химической стойкостью, идеально решает требования к ядрам низкого загрязнения, высокотемпературной сопротивления, сопротивления тепловой амортизации, устойчивости к коррозии и высокой оптической передачи в полупроводнике. Это не только ключевой функциональный материал в полупроводниковом оборудовании и процессах, но и важной гарантией для продвижения непрерывной разработки передовых процессов. Выбор высококачественных продуктов JGS2 Quartz Glass закладывает прочную основу для стабильности, надежности и успеха исследований и производства полупроводников.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тихости, кварцевые лодки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканчики, кварцевые стеклянные инструменты и многое другое. Мы можем удовлетворить все виды индивидуальных требований для изделия из кварцевого стекла.