في مجال تجريب وتصنيع أشباه الموصلات الدقيق والمتطلب ، يعد اختيار كل مادة أمرًا بالغ الأهمية. فيما بينها، أصبح زجاج JGS2 الكوارتز مادة أساسية لا غنى عنها في العديد من روابط العمليات الرئيسية بسبب سلسلة من الخصائص الممتازة التي لا يمكن الاستغناء عنها. إنه ليس مجرد نوع من الزجاج ، ولكن أيضًا حجر الزاوية التكنولوجي لتحقيق تصنيع الرقائق عالي الأداء.

ما هو زجاج JGS2 الكوارتز؟

زجاج JGS2 الكوارتز هو كوب كوارتز اصطناعي مصنوع من ثاني أكسيد السيليكون عالي النقاء (SIO ₂) ، وهو يذوب مع لهب أكسجين الهيدروجين لإنتاج مسحوق بلوري عالي النقاء. JGS 'هو اسم الكود للمعايير الوطنية الصينية ، حيث يشير JGS2 إلى زجاج الكوارتز الضوئي فوق البنفسجي. ميزة أساسية هي إرسال عالية في نطاق الأشعة فوق البنفسجية (160nm-300nm) ، مع امتلاك سلسلة من الخصائص الفيزيائية والكيميائية الممتازة الشائعة للزجاج الكوارتز.

في سياق أشباه الموصلات ، ما نشير إليه عادةً باسم 'كوارتز الزجاج ' أو 'أجهزة الكوارتز ' (مثل قوارب الكوارتز ، أنابيب الكوارتز ، حواجز الكوارتز) في الغالب إلى JGS2 أو مواد الكوارتز عالية الجودة.

المزايا الأساسية وحلول زجاج JGS2 كوارتز

تعدد مزايا زجاج JGS2 الكوارتز متعددة الأوجه ، ويحلون معًا العديد من نقاط الألم في تجارب أشباه الموصلات والإنتاج.

1. نقاء مرتفع للغاية وانخفاض التلوث - حل مشكلة 'تلوث الشوائب '

ميزة الوصف: يحتوي زجاج JGS2 الكوارتز على محتوى شائكة معدنية منخفضة للغاية (عادةً أقل من بضعة أجزاء في المليون) ونقاء كيميائي مرتفع للغاية.

تم حل المشكلة:

في العمليات ذات درجة الحرارة العالية مثل الانتشار والأكسدة ، ستعود المواد العادية إلى أيونات المعادن (مثل Na ⁺ ، K ⁺ ، Fe ⊃2 ؛ ⁺ ، إلخ) أو غيرها من الشوائب ، والتي يمكن أن تلوث رقائق السيليكون ، ويفضل بشكل كبير من عمر ناقلات الأقليات ، مما يؤدي إلى تدهور أداء الدائرة المتكاملة ، وزيادة حالي التسرب.

تضمن الشبكة المستقرة والنقاء المرتفع للغاية من زجاج Quartz JGS2 أنها لا تدخل شوائب قابلة للقياس في رقائق السيليكون حتى في درجات حرارة عالية فوق 1200 ℃ ، مما يضمن الأداء الكهربائي وعائد الشريحة.

2. الاستقرار الحراري الممتاز - حل مشاكل 'تمزق الإجهاد الحراري ' و 'التشوه '

ميزة الوصف: يحتوي زجاج JGS2 الكوارتز على معامل منخفض للغاية من التمدد الحراري (حوالي 5.5 × 10 ⁻⁷/℃) ، أي ما يعادل 1/10 ~ 1/20 من الزجاج العادي. هذا يعني أن لديها تسامحًا قويًا للتغيرات السريعة في درجة الحرارة.

تم حل المشكلة:

تتضمن عمليات أشباه الموصلات التسخين والتبريد السريع المتكرر (مثل RTP الصلب الحراري السريع). قد تعاني المواد العادية من الإجهاد الداخلي بسبب التمدد الحراري والانكماش غير المتكافئ ، مما يؤدي إلى التكسير أو الكسر.

يمتلك زجاج JGS2 الكوارتز 'استقرار الصدمة الحرارية ' ويمكنه تحمل تغييرات درجات الحرارة الحادة دون تكسير ، وضمان استمرارية وسلامة عملية الإنتاج وتوسيع عمر خدمة مكونات العملية.

3. مقاومة عالية درجة الحرارة - حل مشكلة 'تليين المواد '

ميزة الوصف: تكون نقطة التليين من زجاج Quartz JGS2 مرتفعًا إلى 1730 ℃ ، ويمكن أن تصل درجة حرارة الاستخدام على المدى الطويل إلى أعلى من 1100 ℃.

تم حل المشكلة:

عادةً ما يتم نشر انتشار أشباه الموصلات والأكسدة وغيرها من العمليات في أنابيب فرن عالية الحرارة تتراوح من 1000 إلى 1250 ℃. العديد من المعادن والزجاج العادي سوف تليين أو تذوب أو إطلاق الغازات في درجة الحرارة هذه.

يمكن أن يحافظ زجاج JGS2 الكوارتز على شكل وقوة مستقرة لفترة طويلة في بيئة درجات الحرارة العالية هذه ، مما يوفر دعمًا موثوقًا وبيئة رد الفعل للرقائق السيليكون. إنها مادة مثالية لتصنيع تركيبات درجات الحرارة العالية مثل أنابيب الفرن والقوارب والشفرات.

4. نقل الأشعة فوق البنفسجية الجيدة - حل مشكلة نقل الطاقة في عملية التصوير الضوئي '

ميزة الوصف: يحتوي زجاج JGS2 الكوارتز على انتقال عالي في المنطقة الطيفية فوق البنفسجية ، وخاصة في نطاق الأشعة فوق البنفسجية العميقة (DUV).

تم حل المشكلة:

في التصوير الفوتوغرافي الضوئي ، من الضروري عرض الأنماط على القناع بدقة على رقاقة السيليكون من خلال نظام التعرض. تستخدم آلات الطباعة الحجرية الحديثة مصادر Duv Light (مثل KRF 248NM ، ARF 193NM).

نظرًا لأن المادة الرئيسية لعدسات آلة الطباعة الحجرية وركائز القناع ، فإن زجاج Quartz JGS2 مع نقل الأشعة فوق البنفسجية العالية يضمن انتقالًا فعالًا لطاقة مصدر الضوء ، ويقلل من فقدان الطاقة ، وبالتالي يضمن دقة ودقة أنماط التعرض.

5. الاستقرار الكيميائي الممتاز - حل مشكلة 'التآكل الحمضي '

ميزة الوصف: بصرف النظر عن حمض الهيدروفلوريك (HF) وحمض الفوسفوريك الساخن ، يعرض زجاج jgs2 الكوارتز مقاومة تآكل ممتازة لجميع الأحماض تقريبًا (مثل HCl ، H ₂ ₄ ، HNO ∝) والقواعد.

تم حل المشكلة:

تستخدم عملية الحفر والتنظيف الرطبة لأشباه الموصلات على نطاق واسع مختلف المحاليل القوية والقلوية. تتطلب خزانات التفاعل ، وسلال الزهور ، وخطوط الأنابيب ، وما إلى ذلك ، التعرض طويل الأجل لهذه الكواشف الكيميائية.

يمكن أن تقاوم الأوعية الزجاجية jgs2 الكوارتز التآكل الكيميائي بشكل فعال ، وتجنب إدخال شوائب جديدة بسبب تآكل الحاويات ، مع ضمان المتانة على المدى الطويل للسفينة نفسها.

6. التوحيد البصري الممتاز والعزل الكهربائي

ميزة الوصف: البنية الداخلية موحدة ، واتساق مؤشر الانكسار مرتفع للغاية ؛ كما أنه عازل كهربائي ممتاز مع مقاومة كهربائية عالية للغاية.

تم حل المشكلة:

يضمن التوحيد البصري عدم حدوث أي تشويه في المسار البصري ، وهو أمر بالغ الأهمية لجودة التصوير لعدسات الطباعة الحجرية.

العزل الكهربائي العالي يجعله مناسبًا للاستخدام في العمليات التي تنطوي على البلازما مثل CVD ، كنافذة مراقبة ونافذة عازلة لغرف التفاعل ، والتي يمكن أن تلاحظ ظروف العمل الداخلية وعزل الحقول الكهربائية بشكل فعال.

أمثلة على سيناريوهات التطبيق الرئيسية

استنادًا إلى المزايا المذكورة أعلاه ، يستخدم زجاج JGS2 الكوارتز على نطاق واسع في تجارب أشباه الموصلات التالية وعمليات التصنيع:

عملية درجة الحرارة العالية: أنبوب فرن الانتشار ، أنبوب فرن الأكسدة ، قارب الكوارتز ، مجداف الكوارتز ، يربك ، إلخ.

عملية الطباعة الحجرية: ركيزة قالب القالب الضوئي ، مكونات النظام البصري لآلة الطباعة الحجرية.

العملية الرطبة: خزان تنظيف الحمض/القلوي ، سلة الزهور ، خزان الحفر.

CVD عملية: أنبوب البطانة ، غطاء الجرس ، لوحة توزيع الغاز داخل غرفة التفاعل.

الملاحظة والقياس: نوافذ المراقبة المختلفة ، نوافذ الليزر ، أحرف الأشعة فوق البنفسجية.

زجاج JGS2 الكوارتز ، مع نقاءه العالي للغاية ، والاستقرار الحراري الممتاز ، والخصائص البصرية المتميزة ، والمقاومة الكيميائية المتميزة ، يحل بشكل مثالي المتطلبات الأساسية للتلوث المنخفض ، ومقاومة درجات الحرارة العالية ، ومقاومة الصدمة الحرارية ، ومقاومة التآكل ، ونقل البصريات عالي الدقة في تجارب النزاهة والتصنيع. إنها ليست فقط مادة وظيفية رئيسية في معدات وعمليات أشباه الموصلات ، ولكنها أيضًا ضمان مهم لتعزيز التطوير المستمر للعمليات المتقدمة. اختيار منتجات JGS2 كوارتز الزجاجية عالية الجودة يضع أساسًا متينًا لاستقرار وموثوقية ومعدل نجاح أبحاث وإنتاج أشباه الموصلات.

تقوم Luverre Quartz بتصنيع وتبيع مجموعة واسعة من الزجاج الكوارتز عالي الجودة ، بما في ذلك أنابيب الكوارتز ، وألواح الكوارتز ، وقضبان الكوارتز ، ونوافذ الكوارتز ، والكوارتز كوارتز ، وقوارب الكوارتز ، والفلام الكوارتز ، وكوارتز الأكواخ ، وأدوات كوارتز الزجاجية ، وأكثر من ذلك. يمكننا تلبية جميع أنواع المتطلبات المخصصة لمنتجات كوارتز زجاجية.