No campo preciso e exigente da experimentação e fabricação de semicondutores, a seleção de cada material é crucial. Entre eles, O vidro de quartzo JGS2 se tornou um material básico indispensável em muitos links importantes do processo devido à sua série de excelentes características insubstituíveis. Não é apenas um tipo de vidro, mas também a pedra angular tecnológica para alcançar a fabricação de chips de alto desempenho.

O que é JGS2 Quartz Glass?

O vidro de quartzo JGS2 é um vidro de quartzo sintético feito de dióxido de silício de alta pureza (SiO ₂), que é derretido com uma chama de oxigênio de hidrogênio para produzir pó de cristal de alta pureza. JGS 'é o nome de código para o padrão nacional chinês, onde JGS2 refere-se a vidro de quartzo óptico ultravioleta. Seu recurso principal é alta transmitância na banda ultravioleta (160nm-300nm), enquanto possui uma excelente imóveis físicos e químicos comuns para o quartzo.

No contexto dos semicondutores, o que geralmente nos referimos a 'Devices de Glass de quartzo ' ou 'quartzo ' (como barcos de quartzo, tubos de quartzo, defletores de quartzo) se referem principalmente a JGS2 ou materiais de quartzo de alta qualidade.

As vantagens e soluções principais do vidro JGS2 Quartz

As vantagens do vidro de quartzo JGS2 são multifacetadas e, juntas, resolvem muitos pontos de dor em experimentos e produção de semicondutores.

1. Pureza extremamente alta e baixa poluição - resolvendo o problema de 'Poluição da impureza '

Descrição da vantagem: o vidro de quartzo JGS2 possui um conteúdo de impureza metálica extremamente baixo (geralmente menos de algumas partes por milhão) e pureza química extremamente alta.

Problema resolvido:

Em processos de alta temperatura, como difusão e oxidação, os materiais comuns precipitarão íons metálicos (como Na ⁺, K ⁺, Fe ⊃2; ⁺, etc.) ou outras impurezas, que podem contaminar as bolachas de silício e reduzir drasticamente a vida útil da vida útil e até os portadores minoritários, levando à detenção.

A rede estável e a pureza ultra-alta do vidro de quartzo JGS2 garantem que ele não introduz impurezas mensuráveis ​​nas bolachas de silício, mesmo em altas temperaturas acima de 1200 ℃, garantindo assim o desempenho elétrico e o rendimento do chip.

2. Excelente estabilidade térmica - resolvendo os problemas de 'Ruptura de estresse térmico ' e 'deformação '

Vantagem Descrição: O vidro de quartzo JGS2 possui um coeficiente extremamente baixo de expansão térmica (cerca de 5,5 × 10 ⁻⁷/℃), equivalente a 1/10 ~ 1/20 do vidro comum. Isso significa que ele tem uma forte tolerância a mudanças rápidas de temperatura.

Problema resolvido:

Os processos semicondutores envolvem aquecimento e resfriamento rápido frequentes (como RTP de recozimento térmico rápido). Os materiais comuns podem sofrer estresse interno devido à expansão e contração térmica desigual, levando a rachaduras ou quebras.

O vidro de quartzo JGS2 possui excelente 'estabilidade de choque térmico ' e pode suportar mudanças drásticas de temperatura sem rachaduras, garantindo a continuidade e a segurança do processo de produção e estendendo a vida útil dos componentes do processo.

3. Excelente resistência à alta temperatura - resolvendo o problema de 'amolecimento do material '

Vantagem Descrição: O ponto de amolecimento do vidro de quartzo JGS2 é de tão alto quanto 1730 ℃, e a temperatura de uso a longo prazo pode atingir acima de 1100 ℃.

Problema resolvido:

A difusão, a oxidação e outros processos semicondutores são geralmente realizados em tubos de forno de alta temperatura que variam de 1000 ℃ a 1250 ℃. Muitos metais e vidro comum suavizam, derreterão ou liberam gases a essa temperatura.

O vidro de quartzo JGS2 pode manter a forma e a força estáveis ​​por um longo tempo neste ambiente de alta temperatura, fornecendo suporte confiável e ambiente de reação para as bolachas de silício. É um material ideal para fabricar acessórios de alta temperatura, como tubos de forno, barcos e lâminas.

4. Boa transmitância UV - resolvendo o problema de 'Transferência de energia no processo de fotolitografia '

Vantagem Descrição: O vidro de quartzo JGS2 possui alta transmitância na região espectral ultravioleta, especialmente na banda Ultravioleta Deep (DUV).

Problema resolvido:

Na fotolitografia, é necessário projetar com precisão os padrões na máscara na bolacha de silício através de um sistema de exposição. Máquinas de litografia moderna usam fontes de luz DUV (como KRF 248NM, ARF 193NM).

Como o principal material para lentes de litografia e substratos de máscara, o vidro de quartzo JGS2 com alta transmitância ultravioleta garante transmissão eficiente da energia da fonte de luz, reduz a perda de energia e, portanto, garante a resolução e a precisão dos padrões de exposição.

5. Excelente estabilidade química - resolvendo o problema de 'corrosão ácida -base '

Descrição da vantagem: Além do ácido hidrofluórico (HF) e do ácido fosfórico quente, o vidro de quartzo JGS2 exibe excelente resistência à corrosão a quase todos os ácidos (como HCl, H ₂ SO ₄, hno ∝) e bases.

Problema resolvido:

O processo de gravura e limpeza úmida dos semicondutores usa extensivamente várias soluções fortes de ácido e álcalis. Tanques de reação, cestas de flores, oleodutos etc. requerem exposição a longo prazo a esses reagentes químicos.

Os vasos de vidro de quartzo JGS2 podem resistir efetivamente à corrosão química, evitando a introdução de novas impurezas devido à corrosão do contêiner, garantindo a durabilidade a longo prazo do próprio vaso.

6. Excelente uniformidade óptica e isolamento elétrico

Descrição da vantagem: a estrutura interna é uniforme e a consistência do índice de refração é extremamente alta; É também um excelente isolador elétrico com resistividade elétrica extremamente alta.

Problema resolvido:

A uniformidade óptica garante que nenhuma distorção ocorra no caminho óptico, o que é crucial para a qualidade da imagem das lentes de litografia.

O alto isolamento elétrico o torna adequado para uso em processos envolvendo plasma como DCV, como uma janela de observação e janela dielétrica para câmaras de reação, que podem observar as condições internas de trabalho e isolar efetivamente campos elétricos.

Exemplos de cenários principais de aplicação

Com base nas vantagens acima, o vidro de quartzo JGS2 é amplamente utilizado nos experimentos e processos de fabricação de semicondutores seguintes:

Processo de alta temperatura: tubo de forno de difusão, tubo de forno de oxidação, barco de quartzo, pá de quartzo, defletor, etc.

Processo de litografia: substrato do modelo de máscara de fotomasca, componentes do sistema óptico da máquina de litografia.

Processo úmido: tanque de limpeza ácido/alcalino, cesta de flores, tanque de gravação.

Processo de CVD: tubo de revestimento, tampa do sino, placa de distribuição de gás dentro da câmara de reação.

Observação e medição: várias janelas de observação, janelas a laser, abajurs UV.

Vidro de quartzo JGS2, com sua pureza ultra-alta, excelente estabilidade térmica, propriedades ópticas excelentes e excelente resistência a produtos químicos, resolve perfeitamente os requisitos do núcleo de baixa poluição, resistência à alta temperatura, resistência ao choque térmico, resistência à corrosão e transmissão óptica de alta pré-precisão em experimentos semicondutores e fabricação. Não é apenas um material funcional importante em equipamentos e processos de semicondutores, mas também uma garantia importante para promover o desenvolvimento contínuo de processos avançados. A escolha de produtos de vidro de quartzo JGS2 de alta qualidade estabelece uma base sólida para a estabilidade, confiabilidade e taxa de sucesso da pesquisa e produção de semicondutores.

A Luverre Quartz fabrica e vende uma ampla gama de vidro de quartzo de alta qualidade, incluindo tubos de quartzo, placas de quartzo, hastes de quartzo, janelas de quartzo, cadios de quartzo, barcos de quartzo, flanges de quartzo, copos de quartzo, instrumentos de vidro de quartzo e muito mais. Podemos atender a todos os tipos de requisitos personalizados para produtos de vidro de quartzo.