In dem genauen und anspruchsvollen Bereich der Experimente und Herstellung von Halbleiter ist die Auswahl jedes Materials von entscheidender Bedeutung. Darunter, JGS2 Quarzglas ist aufgrund seiner Reihe unersetzlicher hervorragender hervorragender Merkmale zu einem unverzichtbaren Grundmaterial in vielen wichtigen Prozessverbindungen geworden. Es ist nicht nur eine Art Glas, sondern auch der technologische Eckpfeiler für die Herstellung von Hochleistungschips.

Was ist JGS2 Quarzglas?

JGS2 Quarzglas ist ein synthetisches Quarzglas aus hochpurigen Siliziumdioxid (SiO ₂ ₂), das mit einer Wasserstoff-Sauerstoffflamme geschmolzen ist, um hoher Purity-Kristallpulver zu produzieren. JGS 'ist der Codename für den chinesischen Nationalstandard, bei dem sich JGS2 auf ultraviolettes optisches Quarzglas bezieht. Sein Kernmerkmal ist eine hohe Durchlässigkeit im ultravioletten Band (160 nm-300 nm), während sie eine Reihe hervorragender physikalischer und chemischer Eigenschaften besitzt, die Quarzglas üblich sind.

Im Kontext von Halbleitern bezeichnen wir normalerweise als 'Quarzglas' oder 'Quarzgeräte' (wie Quarzboote, Quarzrohre, Quarzlaffeln) hauptsächlich auf JGS2- oder höherwertige Quarzmaterialien.

Die Kernvorteile und Lösungen von JGS2 Quarzglas

Die Vorteile von JGS2 Quarzglas sind vielfältig und lösen zusammen viele Schmerzpunkte in Halbleiter -Experimenten und Produktion.

1. Extrem hohe Reinheit und geringe Verschmutzung - Lösung des Problems der Verschmutzung von Verunreinigungen '

Vorteilsbeschreibung: JGS2 Quarzglas hat einen extrem niedrigen Metall -Verunreinigungsgehalt (normalerweise weniger als einige Teile pro Million) und extrem hohe chemische Reinheit.

Problem gelöst:

Bei Hochtemperaturprozessen wie Diffusion und Oxidation fällen gewöhnliche Materialien Metallionen (wie Na ⁺, K ⁺, Fe ⊃2; ⁺ usw.) oder andere Verunreinigungen, die die Silizium-Wafer kontaminieren und die Lebensdauer von Minderheitsbörsen dramatisch verringern können, was zu einer Verschlechterung der Integration der Schaltungsleistung und der Versagen des Leckagens und des Versagens von Leckagen und der Verstärkung von Leckagen und dem Versagen von Leckagen und dem Versagen von Leckagen und dem Versagen von Leckagen und dem Versagen von Geräten führt, und das Versagen von Leckagen und die Verfälschung von Leckagen und das Versagen von Leckagen und das Versagen von Leckagen und die Stromversorgung und das Versagen von Leckagen, die Stromversorgung, und die Versagen von Leckagen, die Stromversorgung und das Versagen der Geräte führen können.

Das stabile Gitter und die ultrahohe Reinheit von JGS2 Quarzglas sorgen dafür, dass es nicht bei hohen Temperaturen über 1200 ℃ messbare Verunreinigungen in Siliziumwafer einführt, wodurch die elektrische Leistung und die Ausbeute des Chips sichergestellt werden.

2. Ausgezeichnete thermische Stabilität - Lösung der Probleme der 'thermischen Stressruptur' und 'Deformation' '

Vorteilsbeschreibung: JGS2 Quarzglas hat einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten (ca. 5,5 × 10 ⁻⁷/℃), der 1/10 ~ 1/20 gewöhnlicher Glas entspricht. Dies bedeutet, dass es eine starke Toleranz für schnelle Temperaturänderungen hat.

Problem gelöst:

Halbleiterprozesse beinhalten häufige schnelle Erwärmung und Abkühlung (wie das schnelle thermische Glühen -RTP). Bei normalen Materialien kann aufgrund der ungleichmäßigen thermischen Expansion und Kontraktion einen internen Stress auftreten, der zu Rissen oder Bruch führt.

JGS2 Quarzglas hat eine ausgezeichnete 'thermische Stoßdichtungsstabilität' und kann drastische Temperaturänderungen ohne Knacken standhalten, um die Kontinuität und Sicherheit des Produktionsprozesses zu gewährleisten und die Lebensdauer der Prozesskomponenten zu erweitern.

3. Ausgezeichneter Hochtemperaturwiderstand - Lösen des Problems der 'Materialweichung '

Vorteilsbeschreibung: Der Erweidungspunkt von JGS2 Quarzglas beträgt bis zu 1730 ℃ und die langfristige Verwendungstemperatur kann über 1100 ℃ erreichen.

Problem gelöst:

Halbleiterdiffusion, Oxidation und andere Prozesse werden normalerweise in Hochtemperaturofenröhrchen im Bereich von 1000 ℃ bis 1250 ℃ durchgeführt. Viele Metalle und gewöhnliches Glas werden bei dieser Temperatur weicher, schmelzen oder freisetzten Gase.

JGS2 Quarzglas kann in dieser Hochtemperaturumgebung eine stabile Form und Stärke für eine lange Zeit aufrechterhalten und Siliziumwafern zuverlässige Unterstützung und Reaktionsumgebung bieten. Es ist ein ideales Material für die Herstellung von Hochtemperaturvorrichtungen wie Ofenrohre, Booten und Klingen.

4. Gute UV -Transmission - Lösung des Problems der 'Energieübertragung im Photolithographieprozess '

Vorteilsbeschreibung: JGS2 Quarzglas hat eine hohe Sendung im ultravioletten Spektralbereich, insbesondere im DUV -Band (Deep Ultraviolet).

Problem gelöst:

In der Photolithographie ist es notwendig, die Muster auf der Maske über ein Expositionssystem genau auf den Siliziumwafer zu projizieren. Moderne Lithographiemaschinen verwenden DUV -Lichtquellen (wie KRF 248nm, ARF 193nm).

Als Hauptmaterial für Lithographie -Maschinenlinsen und Maskensubstrate sorgt JGS2 Quarzglas mit hoher Ultraviolett -Sendung effiziente Übertragung von Lichtquellenenergie, senkt den Energieverlust und sorgt somit die Auflösung und Genauigkeit von Expositionsmustern.

5. Ausgezeichnete chemische Stabilität - Lösung des Problems der 'Säure -Base -Korrosion '

Vorteilsbeschreibung: Abgesehen von Hydrofluorsäure (HF) und heißer Phosphorsäure zeigt JGS2 Quarzglas eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit gegen fast alle Säuren (wie HCl, H ₂ So ₄, Hno ∝) und Basen.

Problem gelöst:

Der Nasset- und Reinigungsprozess von Halbleitern verwendet ausführlich verschiedene starke Säure- und Alkali -Lösungen. Reaktionstanks, Blütenkörbe, Rohrleitungen usw. erfordern eine langfristige Exposition gegenüber diesen chemischen Reagenzien.

JGS2 Quarzglasgefäße können der chemischen Korrosion effektiv widerstehen, wodurch die Einführung neuer Verunreinigungen aufgrund von Behälterkorrosion vermieden und gleichzeitig die langfristige Haltbarkeit des Schiffes selbst sichergestellt wird.

6. Ausgezeichnete optische Gleichmäßigkeit und elektrische Isolierung

Vorteilsbeschreibung: Die interne Struktur ist einheitlich und die Konsistenz des Brechungsindex ist extrem hoch. Es ist auch ein ausgezeichneter elektrischer Isolator mit extrem hohem elektrischer Widerstand.

Problem gelöst:

Die optische Einheitlichkeit stellt sicher, dass im optischen Weg keine Verzerrung auftritt, was für die Bildgebungsqualität von Lithographielinsen von entscheidender Bedeutung ist.

Die hohe elektrische Isolierung macht es für die Verwendung in Prozessen mit Plasma wie CVD als Beobachtungsfenster und dielektrischem Fenster für Reaktionskammern geeignet, die die inneren Arbeitsbedingungen beobachten und effektive elektrische Felder isolieren können.

Beispiele für Hauptanwendungsszenarien

Basierend auf den oben genannten Vorteilen wird JGS2 Quarzglas in den folgenden Halbleiter -Experimenten und Herstellungsprozessen häufig verwendet:

Hochtemperaturprozess: Diffusionsofenrohr, Oxidationsofenofenrohr, Quarzboot, Quarzpaddel, Schallwand usw.

Lithographieprozess: Photomask -Vorlagensubstrat, optische Systemkomponenten der Lithographiemaschine.

Nassprozess: Säure-/Alkali -Reinigungstank, Blütenkorb, Ätztank.

CVD -Prozess: Auskleidungsrohr, Glockenabdeckung, Gasverteilungsplatte innerhalb der Reaktionskammer.

Beobachtung und Messung: Verschiedene Beobachtungsfenster, Laserfenster, UV -Lampenschirme.

JGS2 Quarzglas mit ultrahoher Reinheit, hervorragender thermischer Stabilität, herausragenden optischen Eigenschaften und herausragender chemischer Widerstand löst den Kernanforderungen für niedrige Verschmutzung, Hochtemperaturresistenz, thermische Schockresistenz, Korrosionsbeständigkeit und hohe Vorbereitungsübertragung bei Semikonktor-Experimenten und Herstellern. Es handelt sich nicht nur um ein wichtiges Funktionsmaterial für Halbleitergeräte und -prozesse, sondern auch eine wichtige Garantie für die Förderung der kontinuierlichen Entwicklung fortschrittlicher Prozesse. Die Auswahl hochwertiger JGS2-Quarzglasprodukte bildet eine solide Grundlage für die Stabilität, Zuverlässigkeit und Erfolgsrate der Halbleiterforschung und -produktion.

Luverre Quartz produziert und verkauft eine breite Palette hochwertiger Quarzglas, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstangen, Quarzfenster, Quarzkreuzer, Quarzboote, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzgläser und vieles mehr. Wir können alle Arten von maßgeschneiderten Anforderungen für Quarzglasprodukte erfüllen.