Подложка из плавленого кварца толщиной 8-500 мм представляет собой синтетический кварцевый материал высокой чистоты, который имеет превосходный коэффициент пропускания ультрафиолетового (УФ) света (185–2500 нм), чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения, отличную устойчивость к высоким температурам (> 1000 ℃) и химическую стабильность. Этот продукт подходит для суровых условий, таких как высокоточные оптические системы, лазерное оборудование и производство полупроводников. Он может обеспечивать стандартную толщину (8 мм, 10 мм, 20 мм и т. д.), а также сверхтолстую (до 500 мм) или ультратонкую (настраиваемую) спецификацию для удовлетворения особых потребностей различных отраслей.

Какие основные потребности пользователей удовлетворяет этот субстрат?

Для пользователей, занимающихся проектированием УФ-оптических систем, поддержкой полупроводникового оборудования, интеграцией лазерных систем или производством точных приборов, выбор материала подложки со стабильным коэффициентом пропускания в УФ-спектре, минимальной термической деформацией и сильной химической стойкостью напрямую влияет на качество изображения оптических систем, эксплуатационную стабильность оборудования и долгосрочную надежность. Подложка из плавленого кварца толщиной 8–500 мм, прозрачная для УФ-излучения, специально разработана для удовлетворения этих потребностей: она обеспечивает эффективное пропускание УФ-излучения через материалы высокой чистоты, смягчает проблемы деформации, вызванные изменениями температуры благодаря своим низким свойствам теплового расширения, а также адаптируется к различным конструкциям оборудования и требованиям к установке благодаря гибким возможностям настройки, помогая клиентам добиться лучшего соответствия материалов и снизить затраты на настройку после установки в процессе выбора материала.

Ключевые особенности и преимущества

Высокий коэффициент пропускания УФ-излучения: коэффициент пропускания в диапазоне длин волн 185–2500 нм составляет> 90%, что подходит для применения в глубоком ультрафиолете (DUV) и дальнем ультрафиолете (VUV).

Высокая термостойкость и термическая стабильность: способен выдерживать температуру выше 1000 ℃, с чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения (5,5 × 10 ⁻⁷/℃), что гарантирует отсутствие деформации в условиях высоких температур.

Химическая инертность: устойчив к сильной кислотной и щелочной коррозии, подходит для суровых условий, таких как травление полупроводников и химические датчики.

Высокая механическая прочность: высокая твердость (7 по шкале Мооса), устойчивость к царапинам, подходит для длительного использования.

Низкий фон флуоресценции: материал высокой чистоты (SiO ₂ ≥ 99,99%), снижает оптические помехи, подходит для прецизионного спектрального анализа.

Типичные области применения

лазерная оптическая система

-Решение: мощные лазеры (такие как CO₂-лазер и эксимерный лазер) легко повреждают обычное стекло, а подложка из плавленого кварца устойчива к высоким температурам и лазерным повреждениям, обеспечивая долгосрочную стабильную работу оптической системы.

-Применимые характеристики: толщина 10–100 мм, поверхность полирована с точностью до λ/10, дополнительная антибликовая пленка (AR-покрытие).

Полупроводниковая и литографическая технология

-Решение: для литографической машины требуются высокопрозрачные УФ-материалы, а кварцевая подложка может быть изготовлена ​​по индивидуальному заказу с ультраплоской поверхностью (шероховатость <1 нм), чтобы избежать влияния рассеяния света на точность процесса.

-Применимые характеристики: Толщина 8-50 мм, квадратная или круглая, может быть покрыта антибликовой пленкой (диапазон DUV/VUV).

УФ-стерилизация и медицинское оборудование

-Проблема решена: для оборудования для стерилизации УФ-C (254 нм) требуется окно с высоким коэффициентом пропускания, кварцевая подложка без пузырьков и примесей, чтобы обеспечить эффективность стерилизации.

-Применимые характеристики: толщина 5-20 мм, может быть упакована как смотровое окно стерилизационной камеры или защитная крышка лампы.

Исследования и спектральный анализ

-Решение: флуоресцентная спектроскопия и рамановская спектроскопия требуют низкого уровня фоновых помех, а кварцевые подложки высокой чистоты уменьшают шум сигнала.

-Применимые характеристики: Толщина 8–500 мм, настраивается для пропускающих или отражающих оптических компонентов.

Индивидуальный сервис

Настройка размера и формы

-Диапазон толщины: 8 ~ 500 мм (можно обрабатывать сверхтолстые, ультратонкие могут достигать 0,1 мм).

-Форма: круглая, квадратная, прямоугольная, неправильная (например, круглая, многоугольная).

-Допуск на размер: ± 0,1 мм (стандарт), требования высокой точности могут составлять ± 0,01 мм.

Обработка поверхности и покрытие

-Степень полировки: обычная (60-40), прецизионная (20-10), высокоточная (λ/10 или λ/20).

-Варианты покрытия: антибликовая пленка (AR), светоотражающая пленка (HR), спектральная пленка, антикоррозийная пленка.

Особые требования к обработке

-Снятие фасок/наклон: предотвращает растрескивание кромок и облегчает установку.

-Сверление/прорезание пазов: используется для механической фиксации или интеграции оптических систем.

-Конструкция, устойчивая к высокому давлению: подходит для вакуума или сред с высоким давлением (например, в аэрокосмической и атомной промышленности).

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

Вопрос 1: Каковы оптические свойства этой подложки в диапазоне длин волн глубокого ультрафиолета (DUV)?

Наши подложки из УФ-плавленного кварца обеспечивают превосходный коэффициент пропускания в диапазоне длин волн от 185 до 2100 нм и не проявляют флуоресценции в глубокой ультрафиолетовой области, что делает их пригодными для литографии, лазерной передачи и высокоэнергетических оптических систем. Для высокотехнологичных применений мы предлагаем синтетический кварц УФ-класса, отвечающий более строгим требованиям к пропусканию и однородности.

Вопрос 2. Какое значение имеет диапазон толщины 8–500 мм для индивидуальной настройки?

Этот широкий диапазон толщины предназначен для удовлетворения структурных требований различных применений. Тонкие подложки (например, 8–20 мм) подходят для изготовления высокоточных оптических окон и тонкопленочных подложек схем; толстые подложки (например, 50–500 мм) используются для структурных элементов полупроводниковой техники или защитных элементов в мощных лазерных системах, обеспечивая более высокую механическую прочность и термическую стабильность.

В3: Как вы обрабатываете запросы на нестандартные размеры или специальные формы?

Мы предлагаем услуги по индивидуальному заказу по чертежам заказчика. Будь то круглые, квадратные, многоугольные детали или детали неправильной формы, требующие сложных функций, таких как сверление, прорезь или снятие фасок, мы можем достичь высокой точности с помощью технологий обработки на станках с ЧПУ и лазерной резки.

Вопрос 4: Какого уровня качества и плоскостности поверхности можно достичь?

Стандартные продукты могут обеспечить качество поверхности 20/10 по царапинам и ямкам, при этом плоскостность поверхности лучше, чем λ/10 при 633 нм. По запросу может быть применена высокоточная полировка для обеспечения постоянства и стабильности оптических характеристик.

Подложка из плавленого кварца толщиной 8–500 мм, прозрачная для УФ-излучения, с превосходными оптическими характеристиками, исключительной устойчивостью к окружающей среде и гибкими возможностями настройки стала идеальным выбором для высокоточных оптических систем. Мы можем предоставить решения профессионального уровня для лазерной обработки, производства полупроводников и научно-исследовательских экспериментов.

Предоставьте чертежи или технические требования для получения индивидуальных решений и предложений!

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественных изделий. кварцевое стекло , включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.