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厚さ8～500mmのUV透明溶融石英基板 は高純度合成石英材料であり、優れた紫外線(UV)光透過率(185nm～2500nm)、極めて低い熱膨張係数、優れた高温耐性(>1000℃)および化学的安定性を備えています。高精度光学系、レーザー装置、半導体製造などの過酷な環境に適した製品です。標準厚さ (8mm、10mm、20mm など) に加え、超厚手 (最大 500mm) または極薄 (カスタマイズ可能) 仕様を提供し、さまざまな業界の特殊なニーズを満たすことができます。
この基板はユーザーのどのような中心的なニーズに対応しますか?
UV 光学システムの設計、半導体装置のサポート、レーザー システム インテグレーション、または精密機器の製造に携わるユーザーにとって、UV スペクトルでの安定した透過率、最小の熱変形、および強力な耐薬品性を備えた基板材料の選択は、光学システムの結像品質、装置の動作安定性、および長期信頼性に直接影響します。厚さ 8 ～ 500 mm の UV 透過性溶融石英基板は、これらのニーズに対応するために特別に設計されています。高純度材料を通じた効率的な UV 光の透過を保証し、その低熱膨張特性により温度変化による変形の問題を軽減し、柔軟なカスタマイズ機能を通じてさまざまな機器構造や設置要件に適応し、顧客が材料選択プロセスでより優れた材料適合性を達成し、設置後の調整コストを削減できるように支援します。
主な特徴と利点
高い UV 透過率: 185nm ～ 2500nm の波長範囲での透過率は 90% 以上で、深紫外 (DUV) および遠紫外 (VUV) 用途に適しています。
高温耐性と熱安定性： 1000℃を超える温度に耐えることができ、熱膨張係数が非常に低い（5.5×10⁻⁷/℃）ため、高温環境でも変形しません。
化学的不活性性: 強酸およびアルカリ腐食に耐性があり、半導体エッチングや化学センサーなどの過酷な環境に適しています。
高い機械的強度: 高硬度 (モース硬度 7)、耐傷性があり、長期使用に適しています。
低蛍光バックグラウンド: 高純度の材料 (SiO ₂ ≥ 99.99%) により光学干渉が低減され、精密なスペクトル分析に適しています。
代表的な応用分野
レーザー光学系
-解決策： 高出力レーザー（CO 2 レーザーやエキシマレーザーなど）は通常のガラスにダメージを与えやすいですが、溶融石英基板は高温やレーザーダメージに強く、光学系の長期安定動作を保証します。
●適用仕様： 厚さ10～100mm、表面研磨精度はλ/10、オプションで反射防止膜（ARコート）も可能です。
半導体とリソグラフィー技術
-解決策: リソグラフィー装置には透明度の高い UV 材料が必要ですが、プロセス精度に影響を与える光の散乱を避けるために、石英基板は超平坦な表面 (粗さ <1nm) にカスタマイズできます。
-適用仕様： 厚さ8～50mm、正方形または円形、反射防止フィルム（DUV/VUVバンド）をコーティングできます。
UV滅菌と医療機器
-問題解決: UV-C (254nm) 滅菌装置は、滅菌効率を確保するために、高透過率の窓、気泡や不純物のない石英基板を必要とします。
-適用仕様： 厚さ5〜20mmで、滅菌室の観察窓またはランプ保護カバーとして包装できます。
研究とスペクトル分析
-解決策: 蛍光分光法とラマン分光法ではバックグラウンド干渉が少ないことが必要ですが、高純度の石英基板により信号ノイズが低減されます。
-適用仕様： 厚さ8～500mm、透過型または反射型光学部品にカスタマイズ可能。
カスタマイズされたサービス
サイズや形状のカスタマイズ
●厚さ範囲： 8～500mm（極厚加工可能、極薄は0.1mmまで加工可能）。
-形状： 円形、正方形、長方形、不規則（円形、多角形など）。
-寸法公差： ±0.1mm（標準）、高精度要求には±0.01mmも可能です。
表面処理とコーティング
-研磨等級: 従来(60-40)、精密(20-10)、高精度(λ/10またはλ/20)。
-コーティングオプション： 反射防止膜（AR）、反射膜（HR）、分光膜、耐食膜。
特別な処理要件
●面取り・傾斜加工： エッジ割れを防止し、施工を容易にします。
- 穴あけ/溝加工: 光学システムの機械的な固定または統合に使用されます。
-高耐圧設計: 真空または高圧環境(航空宇宙産業や原子力産業など)に適しています。
よくある質問 (FAQ)
Q1: 深紫外 (DUV) 波長範囲におけるこの基板の光学特性は何ですか?
当社の UV 溶融石英基板は、185 nm ～ 2100 nm の波長範囲にわたって優れた透過率を示し、深紫外領域では蛍光を示さないため、リソグラフィー、レーザー伝送、および高エネルギー光学システムに適しています。ハイエンドのアプリケーション向けには、透過率と均一性に対するより厳しい要件を満たす UV グレードの合成石英を提供しています。
Q2: カスタマイズにおける 8 ～ 500 mm の厚さの範囲の重要性は何ですか?
この幅広い厚さの範囲は、さまざまな用途の構造要件に対応できるように設計されています。薄い基板 (例: 8 ～ 20 mm) は、高精度の光学窓や薄膜回路基板に適しています。厚い基板（例：50 ～ 500 mm）は、半導体装置の構造部品や高出力レーザー システムの保護部品に使用され、より高い機械的強度と熱安定性を実現します。
Q3：規格外の寸法や特殊な形状の要望はどうなりますか？
お客様の図面に基づいたカスタマイズサービスを提供します。穴あけ、溝加工、面取りなどの複雑な加工を必要とする円形、四角形、多角形、または不規則な形状の部品であっても、CNC 加工およびレーザー切断技術により高い公差精度を実現できます。
Q4: 表面品質と平坦度はどの程度まで達成できますか?
標準製品は、633 nm で λ/10 より優れた表面平坦性を備え、傷やピットに関して 20/10 の表面品質を達成できます。ご要望に応じて高精度研磨を施し、光学性能の安定性を確保します。
厚さ 8 ～ 500 mm の UV 透明石英ガラス基板は、優れた光学性能、優れた耐環境性、柔軟なカスタマイズ サービスを備えており、高精度光学システムにとって理想的な選択肢となっています。レーザー加工、半導体製造、科学研究実験などにプロレベルのソリューションを提供できます。
カスタマイズされたソリューションと見積もりを入手するには、図面または技術要件を提供してください。
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