Plaque de verre de silice fondue pour la fabrication de semi-conducteurs

La plaque de verre de silice fondue utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs est un matériau de haute technologie, principalement utilisé dans les semi-conducteurs, les sources électro-optiques, les dispositifs de communication semi-conducteurs, les lasers, les instruments optiques et d'autres domaines. Ce matériau est un verre spécial fabriqué en faisant fondre du quartz naturel pur (tel que du cristal, du sable de quartz, etc.) et ne contenant que du dioxyde de silicium comme composant unique. Le verre de quartz peut être traité de différentes manières. Selon différents types, processus et matières premières, il peut être divisé en verre de silicate, verre de quartz, silice fondue, silice fondue synthétique, quartz fondu, etc.

La microstructure du verre de quartz semi-conducteur est composée d'une structure tétraédrique de dioxyde de silicium, avec une énergie de liaison chimique Si-O élevée, ce qui donne une structure compacte et des propriétés uniques. Ce type de verre présente des caractéristiques optiques importantes telles qu'une transmission élevée, une faible dilatation thermique et d'excellentes propriétés spectrales, ce qui le rend adapté à la fabrication de haute précision de substrats de photomasques.

Dans l’industrie des semi-conducteurs, les exigences en matière de processus de fabrication et de matières premières pour le verre de quartz opaque de haute pureté sont très strictes. Le processus de préparation comprend des étapes telles que la fusion, le travail à chaud et le travail à froid. Le processus de fusion comprend principalement la fusion électrique et le raffinage du gaz, tandis que le processus de fabrication de synthèse du verre de quartz comprend le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique en phase vapeur par plasma (PCVD), etc.

Le verre de silice fondue est largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, comme les équipements de traitement par lots et les équipements de traitement de plaquettes. Ce verre de quartz présente les caractéristiques d'une grande pureté et d'une uniformité des matériaux, tout en conservant une faible teneur en bulles, ce qui est crucial pour la précision et la fiabilité des processus de fabrication de semi-conducteurs.

La plaque de verre de silice fondue utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs est un matériau de base clé. Sa grande pureté, ses excellentes propriétés optiques et sa stabilité chimique lui permettent de jouer un rôle important dans la fabrication de semi-conducteurs.

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