Flangia al quarzo sottovuoto trasparente da 2-500 mm

Cosa possono risolverti le flange al quarzo?

D: Ho bisogno di un componente di collegamento trasparente in grado di mantenere la stabilità in ambienti ad alta temperatura e alto vuoto. Qual è la soluzione?  

Risposta: il nostro La flangia al quarzo sotto vuoto trasparente è progettata per ambienti difficili e può mantenere prestazioni stabili sotto vuoto ultraelevato di 10 ⁻⁶ Pa e alta temperatura di 1200 ℃, risolvendo i problemi di corrosione, opacità e coefficiente di dilatazione termica non corrispondenti delle tradizionali flange metalliche.

D: È possibile per le nostre apparecchiature sperimentali osservare il processo di reazione interna garantendo al tempo stesso la sigillatura sotto vuoto?  

Risposta: è del tutto possibile. La natura trasparente delle flange in quarzo consente di osservare i processi interni in tempo reale, mentre la superficie di tenuta rettificata con precisione garantisce l'integrità del vuoto, prendendo due piccioni con una fava.

D: Il nostro progetto richiede flange di dimensioni non standard. Possiamo personalizzarli?  

Risposta: certo. Offriamo la personalizzazione a grandezza naturale di flange che vanno da 2 mm micro a 500 mm di larghezza, soddisfacendo le esigenze speciali di vari campi come i semiconduttori, il fotovoltaico e la ricerca scientifica.

La flangia al quarzo sotto vuoto trasparente da 2-500 mm è realizzata in materiale di quarzo sintetico di elevata purezza (contenuto SiO ₂ ≥ 99,99%), progettato specificamente per sistemi a vuoto che richiedono l'osservazione ottica. Il prodotto è stato sottoposto a un trattamento di ricottura di precisione, con un coefficiente di dilatazione termica estremamente basso (5,5 × 10 ⁻⁷/℃), garantendo stabilità dimensionale e prestazioni di tenuta del vuoto in caso di drastici sbalzi di temperatura.

Parametri chiave di prestazione

-Gamma di dimensioni: diametro interno da 2 mm a 500 mm, supporta la personalizzazione non standard

-Prestazioni di vuoto: fino a 10 ⁻⁶ Pa in ambiente ad altissimo vuoto

-Tolleranza alla temperatura: temperatura di lavoro continua di 1200 ℃, a breve termine fino a 1450 ℃

-Caratteristiche di trasmittanza: elevata trasmittanza nella banda dall'ultravioletto all'infrarosso (170nm-2500nm)

-Precisione della superficie: planarità della superficie di tenuta ≤ 1 μ m, rugosità Ra ≤ 0,4 μ m

-Tolleranza alla pressione: Il modello standard può sopportare cicli di pressione da 1×10 ⁻ ⊃3; Pa alla pressione atmosferica

Spiegazione dettagliata dei vantaggi del prodotto

1. Vantaggi materiali

-Purezza ultra elevata: contenuto di SiO ₂ superiore al 99,99%, contenuto di impurità metalliche inferiore a 1 ppm

-Stabilità termica: il coefficiente di dilatazione termica è solo 1/15 del vetro normale e la resistenza allo shock termico è superiore

-Inerzia chimica: resistente agli acidi (tranne l'acido fluoridrico), resistente agli alcali e resistente alla maggior parte della corrosione chimica

-Stabilità alle radiazioni: resistente all'ingiallimento da radiazioni, mantenendo la trasparenza per lungo tempo

2. Vantaggi del processo di produzione

-Ricottura di precisione: elimina le tensioni interne, previene deformazioni o screpolature durante l'uso

-Taglio laser: garantisce bordi lisci e piatti, riduce le microfessure

-Lucidatura ottica: la superficie di tenuta raggiunge una planarità di grado ottico, garantendo la sigillatura del vuoto

-Pulizia ad ultrasuoni: assemblaggio senza inquinamento, evitando la contaminazione da particelle del sistema di aspirazione

3. Vantaggi funzionali

-Osservazione e sigillatura integrate: risolvere la complessità di separare le tradizionali finestre di osservazione dalle flange

-Compatibilità con più specifiche: può essere progettato per adattarsi a più interfacce standard internazionali come ISO-KF, ISO-F, CF, ecc.

-Flessibilità integrata: funzioni aggiuntive come tubi di derivazione presaldati, cavi per elettrodi, interfacce per sensori, ecc

Campo di applicazione

produzione di semiconduttori

-Finestra di osservazione per apparecchiature per la lavorazione dei wafer

-Collegamento camera a vuoto attrezzatura CVD/PVD

-Finestra di monitoraggio del processo di incisione

settore fotovoltaico

-Porta di osservazione per forno di purificazione del silicio policristallino

-Attrezzature per la deposizione di celle solari a film sottile

-Monitoraggio del trattamento termico del materiale fotovoltaico

ricerca scientifica

-Collegamento della linea di luce della radiazione di sincrotrone

- Finestra di osservazione del rilevatore di particelle

-Camera di reazione ad alta temperatura per la scienza dei materiali

-Monitoraggio delle apparecchiature di rivestimento sotto vuoto

produzione di fascia alta

-Finestra di osservazione delle apparecchiature per la saldatura a fascio di elettroni

-Attrezzature per rivestimento ottico di precisione

-Attrezzature per prove su materiali aerospaziali

Capacità di servizio personalizzato

Taglie personalizzate

-Serie Micro: 2-20mm, utilizzata per strumenti di precisione e sistemi di micro vuoto

-Serie standard: 25-200 mm, che copre la maggior parte delle applicazioni industriali

-Grandi serie: 200-500 mm, per soddisfare le esigenze di attrezzature speciali di grandi dimensioni

-Design alieno: forme geometriche speciali come forme non circolari ed ellittiche

personalizzazione delle funzioni

-Raccordi, flange e connettori presaldati integrati

-Design della struttura composita multistrato (pezzo di transizione quarzo+metallo)

-Design specifico della porta di osservazione dell'angolo

-Trattamento di rivestimento anti inquinamento

Casi di richiesta del cliente

Caso 1: Centro europeo di ricerca sulla radiazione di sincrotrone

Requisito: per il collegamento a vuoto delle linee di raggi X è necessaria una grande flangia in quarzo con un diametro di 300 mm. È necessario avere un'eccellente trasmittanza UV e mantenere un grado di vuoto di 10 ⁻⁷ Pa

Soluzione: ricerca e sviluppo personalizzati di materiali al quarzo a basso contenuto di idrossili (contenuto di OH <1 ppm) per migliorare la trasmittanza UV; Adozione di uno speciale processo di ricottura per ridurre la birifrangenza dello stress

Risultato: dopo un funzionamento continuo per 3 anni senza degrado delle prestazioni, il grado di vuoto è rimasto stabile, soddisfacendo i requisiti per le applicazioni con radiazione di sincrotrone ad alta intensità

Caso 2: Azienda leader nel settore dei semiconduttori in Asia

Requisito: la finestra di osservazione dell'apparecchiatura CVD sulla linea di produzione di wafer da 12 pollici è spesso contaminata e richiede un rivestimento antideposizione resistente alle alte temperature e flange al quarzo facili da pulire

Soluzione: sviluppare una tecnologia di trattamento del nanorivestimento superficiale per ridurre l'adesione dei reagenti; Progettare una struttura a smontaggio rapido per ridurre i tempi di manutenzione del 70%

Risultato: il ciclo di manutenzione delle apparecchiature è stato esteso da 2 settimane a 3 mesi e il tasso di rendimento dei wafer è aumentato del 2,3%

Caso 3: Laboratorio nordamericano di materiali avanzati

Requisito: un sistema di reazione di osservazione multicanale richiede una flangia in quarzo composito che integri le interfacce della termocoppia e le tubazioni di campionamento

Soluzione : progettare flange a tre canali Φ 150 mm, integrare 2 interfacce KF25 e 1 tubazione di campionamento, slot per termocoppia di tipo K preimpostati

Risultato: sono stati ottenuti il ​​monitoraggio e il campionamento in tempo reale del processo di reazione e l'efficienza dell'acquisizione dei dati sperimentali è stata triplicata

Caso 4: Istituto australiano di ricerca fotovoltaica

Requisito: il forno di purificazione del silicio policristallino richiede una flangia della finestra di osservazione in grado di resistere a temperature elevate di 1450 ℃ e resistere alla corrosione del vapore di silicio

Soluzione: adottare quarzo sinterizzato ad alta densità per migliorare la resistenza alla corrosione; Progettare una struttura protettiva a doppio strato per prolungarne la durata

Risultato: la durata utile è stata estesa da 6 mesi a 24 mesi e il costo di manutenzione annuale è stato ridotto del 65%

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