Flange de quartzo a vácuo transparente de 2-500 mm

O que os flanges de quartzo podem resolver para você?

P: Preciso de um componente de conexão transparente que possa manter a estabilidade em ambientes de alta temperatura e alto vácuo. Qual é a solução?  

Resposta: Nosso O flange de quartzo a vácuo transparente é projetado para ambientes agressivos e pode manter um desempenho estável sob vácuo ultra-alto de 10 ⁻⁶ Pa e alta temperatura de 1200 ℃, resolvendo os problemas de corrosão, opacidade e coeficiente de expansão térmica incompatível dos flanges de metal tradicionais.

P: É possível que nosso equipamento experimental observe o processo de reação interna e ao mesmo tempo garanta a vedação a vácuo?  

Resposta: É perfeitamente possível. A natureza transparente dos flanges de quartzo permite observar processos internos em tempo real, enquanto a superfície de vedação precisamente retificada garante a integridade do vácuo, matando dois coelhos com uma cajadada só.

P: Nosso projeto requer flanges de tamanho não padrão. Podemos personalizá-los?  

Resposta: Claro. Oferecemos personalização em tamanho real de flanges variando de 2 mm micro a 500 mm de largura, atendendo às necessidades especiais de vários campos, como semicondutores, energia fotovoltaica e pesquisa científica.

O flange de quartzo a vácuo transparente de 2-500 mm é feito de material de quartzo sintético de alta pureza (conteúdo de SiO ₂ ≥ 99,99%), projetado especificamente para sistemas de vácuo que requerem observação óptica. O produto passou por tratamento de recozimento de precisão, com coeficiente de expansão térmica extremamente baixo (5,5 × 10 ⁻⁷/℃), garantindo estabilidade dimensional e desempenho de vedação a vácuo sob mudanças drásticas de temperatura.

Principais parâmetros de desempenho

-Faixa de tamanho: diâmetro interno de 2 mm a 500 mm, suporta personalização não padrão

-Desempenho de vácuo: até 10 ⁻⁶ Pa em ambiente de vácuo ultra-alto

-Tolerância de temperatura: temperatura de trabalho contínua de 1200 ℃, curto prazo até 1450 ℃

-Características de transmitância: alta transmitância na banda ultravioleta para infravermelho (170nm-2500nm)

-Precisão da superfície: planicidade da superfície de vedação ≤ 1 μm, rugosidade Ra ≤ 0,4 μm

-Tolerância de pressão: O modelo padrão pode suportar ciclos de pressão de 1 × 10 ⁻ ⊃3; Pa à pressão atmosférica

Explicação detalhada das vantagens do produto

1. Vantagens materiais

-Ultra alta pureza: mais de 99,99% de teor de SiO ₂, teor de impurezas metálicas abaixo de 1 ppm

-Estabilidade térmica: O coeficiente de expansão térmica é de apenas 1/15 do vidro comum e a resistência ao choque térmico é superior

-Inércia química: resistente a ácidos (exceto ácido fluorídrico), resistente a álcalis e resistente à maioria da corrosão química

-Estabilidade à radiação: resistente ao amarelecimento da radiação, mantendo a transparência por muito tempo

2. Vantagens do processo de fabricação

-Recozimento de precisão: elimina tensões internas, evita deformações ou rachaduras durante o uso

-Corte a laser: Garanta bordas lisas e planas, reduza microfissuras

-Polimento óptico: A superfície de vedação atinge planicidade de grau óptico, garantindo vedação a vácuo

-Limpeza ultrassônica: montagem livre de poluição, evitando a contaminação por partículas do sistema de vácuo

3. Vantagens funcionais

-Observação e vedação integradas: resolvendo a complexidade de separar janelas de observação tradicionais de flanges

-Compatibilidade com múltiplas especificações: pode ser projetado para corresponder a várias interfaces de padrão internacional, como ISO-KF, ISO-F, CF, etc.

-Flexibilidade integrada: funções adicionais, como tubos ramificados pré-soldados, cabos de eletrodo, interfaces de sensores, etc.

Campo de aplicação

fabricação de semicondutores

-Janela de observação para equipamentos de processamento de wafer

-Conexão da câmara de vácuo do equipamento CVD/PVD

- Janela de monitoramento do processo de gravação

indústria fotovoltaica

-Porta de observação para forno de purificação de silício policristalino

-Equipamento de deposição de células solares de filme fino

-Monitoramento de tratamento térmico de material fotovoltaico

pesquisa científica

-Conexão da linha de luz de radiação síncrotron

-Janela de observação do detector de partículas

-Câmara de reação de alta temperatura para ciência de materiais

-Monitoramento de equipamentos de revestimento a vácuo

fabricação de alto padrão

-Janela de observação de equipamentos de soldagem por feixe de elétrons

-Equipamento de revestimento óptico de precisão

-Equipamento de teste de materiais aeroespaciais

Capacidade de serviço personalizada

Dimensionamento personalizado

-Série Micro: 2-20mm, usada para instrumentos de precisão e sistemas de micro vácuo

-Série padrão: 25-200mm, cobrindo a maioria das aplicações industriais

-Grandes séries: 200-500mm, atendendo às necessidades de equipamentos especiais de grande porte

-Design alienígena: formas geométricas especiais, como formas não circulares e elípticas

personalização de função

-Acessórios, flanges e conectores pré-soldados integrados

-Design de estrutura composta multicamadas (peça de transição de quartzo + metal)

-Design de porta de observação de ângulo específico

-Tratamento de revestimento antipoluição

Casos de aplicação de clientes

Caso 1: Centro Europeu de Pesquisa em Radiação Síncrotron

Requisito: É necessário um grande flange de quartzo com diâmetro de 300 mm para conexão a vácuo de linhas de luz de raios X. É necessário ter excelente transmitância UV e manter um grau de vácuo de 10 ⁻⁷ Pa

Solução: Pesquisa e desenvolvimento personalizados de materiais de quartzo com baixo teor de hidroxila (teor de OH <1ppm) para melhorar a transmitância UV; Adotando um processo de recozimento especial para reduzir a birrefringência de tensão

Resultado: Após operação contínua por 3 anos sem degradação do desempenho, o grau de vácuo permaneceu estável, atendendo aos requisitos para aplicações de radiação síncrotron de alta intensidade

Caso 2: Empresa líder em semicondutores da Ásia

Requisito: A janela de observação do equipamento CVD na linha de produção de wafer de 12 polegadas é frequentemente contaminada, exigindo revestimento anti-deposição resistente a altas temperaturas e flanges de quartzo fáceis de limpar

Solução: Desenvolver tecnologia de tratamento de nano revestimento de superfície para reduzir a adesão dos reagentes; Projete uma estrutura de desmontagem rápida para reduzir o tempo de manutenção em 70%

Resultado: O ciclo de manutenção do equipamento foi estendido de 2 semanas para 3 meses, e a taxa de rendimento do wafer aumentou 2,3%

Caso 3: Laboratório Norte-Americano de Materiais Avançados

Requisito: Um sistema de reação de observação multicanal requer um flange de quartzo composto que integre interfaces de termopares e tubulações de amostragem

Solução : Projete três flanges de canal Φ 150 mm, integre 2 interfaces KF25 e 1 tubulação de amostragem, slots de termopar Tipo K predefinidos

Resultado: o monitoramento e a amostragem em tempo real do processo de reação foram alcançados e a eficiência da aquisição de dados experimentais foi triplicada

Caso 4: Instituto Australiano de Pesquisa Fotovoltaica

Requisito: O forno de purificação de silício policristalino requer um flange de janela de observação que possa suportar altas temperaturas de 1450 ℃ e resistir à corrosão por vapor de silício

Solução: Adote quartzo sinterizado de alta densidade para aumentar a resistência à corrosão; Projete uma estrutura protetora de camada dupla para prolongar sua vida útil

Resultado: A vida útil foi estendida de 6 para 24 meses e o custo anual de manutenção foi reduzido em 65%

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