2-500mm 투명 진공 석영 플랜지

석영 플랜지로 무엇을 해결할 수 있습니까?

Q: 고온, 고진공 환경에서 안정성을 유지할 수 있는 투명한 연결 부품이 필요합니다. 해결책은 무엇입니까?  

답: 우리의 투명 진공 석영 플랜지는 열악한 환경을 위해 설계되었으며 10 ⁻⁶ Pa의 초고진공 및 1200 ℃의 고온에서 안정적인 성능을 유지할 수 있어 기존 금속 플랜지의 부식, 불투명 및 열팽창 계수 불일치 문제를 해결합니다.

Q: 우리 실험 장비로 진공 밀봉을 하면서 내부 반응 과정을 관찰하는 것이 가능한가요?  

답변: 전적으로 가능합니다. 석영 플랜지의 투명한 특성으로 인해 내부 프로세스를 실시간으로 관찰할 수 있으며, 정밀하게 연마된 밀봉 표면은 진공 무결성을 보장하여 일석이조입니다.

질문: 우리 프로젝트에는 비표준 크기의 플랜지가 필요합니다. 맞춤설정할 수 있나요?  

답변: 물론입니다. 우리는 반도체, 광전지, 과학 연구 등 다양한 분야의 특별한 요구 사항을 충족하면서 2mm 마이크로부터 500mm 대형까지 플랜지의 전체 크기 맞춤화를 제공합니다.

2-500mm 투명 진공 석영 플랜지는 광학 관찰이 필요한 진공 시스템을 위해 특별히 설계된 고순도 합성 석영 재료(SiO 2 함량 ≥ 99.99%)로 만들어졌습니다. 정밀 어닐링 처리를 거쳐 열팽창계수가 매우 낮은(5.5 × 10 ⁻·/℃) 제품으로 급격한 온도 변화에도 치수 안정성과 진공 밀봉 성능을 보장합니다.

주요 성능 매개변수

- 크기 범위 : 내경 2mm ~ 500mm, 비표준 맞춤화 지원

-진공 성능: 초고진공 환경에서 최대 10 ⁻⁶ Pa

-온도 허용 오차 : 연속 작동 온도 1200 ℃, 단기 최대 1450 ℃

-투과율 특성: 자외선~적외선 대역(170nm~2500nm)에서 높은 투과율

-표면 정확도: 씰링 표면 평탄도 ≤ 1μm, 거칠기 Ra ≤ 0.4μm

-압력 내성: 표준 모델은 1 × 10 ⁻ ⊃3의 압력 사이클을 견딜 수 있습니다. Pa를 대기압으로

제품의 장점에 대한 자세한 설명

1. 물질적 장점

-초고순도 : SiO 2 함량 99.99% 이상, 금속 불순물 함량 1ppm 이하

- 열안정성 : 열팽창계수가 일반유리의 1/15에 불과하여 내열충격성이 우수합니다.

-화학적 불활성: 내산성(불산 제외), 내알칼리성, 대부분의 화학적 부식에 대한 저항성

-방사선 안정성 : 방사선 황변에 강하고, 장기간 투명성을 유지함

2. 제조공정의 장점

-정밀소둔 : 내부 응력 제거, 사용 중 변형이나 균열 방지

-레이저 절단: 부드럽고 평평한 가장자리를 보장하고 미세 균열을 줄입니다.

-광학 연마: 밀봉 표면이 광학 등급 평탄도를 달성하여 진공 밀봉을 보장합니다.

-초음파 세척: 무공해 조립, 진공 시스템의 입자 오염 방지

3. 기능적 장점

- 관찰 및 밀봉 통합: 기존 관찰 창을 플랜지에서 분리하는 복잡성 해결

- 다중 사양 호환성: ISO-KF, ISO-F, CF 등과 같은 여러 국제 표준 인터페이스와 일치하도록 설계 가능

-통합 유연성: 사전 용접된 분지 파이프, 전극 리드, 센서 인터페이스 등과 같은 추가 기능

응용 분야

반도체 제조

-웨이퍼 가공 장비 관찰창

-CVD/PVD 장비 진공챔버 연결

-에칭 공정 모니터링 창

광전지 산업

-다결정 실리콘 정제로 관찰 포트

-박막 태양전지 증착 장비

-태양광재료 열처리 모니터링

과학적 연구

- 싱크로트론 방사선 빔라인 연결

-입자검출기 관찰창

- 재료 과학 고온 반응 챔버

-진공 코팅 장비 모니터링

고급 제조

-전자빔용접장비 관찰창

-정밀 광학 코팅 장비

- 항공우주 재료 시험 장비

맞춤형 서비스 역량

맞춤 크기 조정

-마이크로 시리즈: 2-20mm, 정밀 기기 및 마이크로 진공 시스템에 사용됩니다.

- 표준 시리즈: 25-200mm, 대부분의 산업 응용 분야에 적용

-대형 시리즈: 200-500mm, 특수 대형 장비의 요구 사항 충족

-외계인 디자인: 비원형, 타원형 등 특수한 기하학적 모양

기능 맞춤화

- 통합된 사전 용접 피팅, 플랜지 및 커넥터

-다층 복합구조 설계(석영+금속 전이편)

-특정각 관측구 설계

-오염 방지 코팅 처리

고객 적용사례

사례 1: 유럽 싱크로트론 방사선 연구 센터

요구 사항: X선 빔라인의 진공 연결에는 직경 300mm의 대형 석영 플랜지가 필요합니다. UV 투과율이 우수하고 진공도 10 ⁻⁷ Pa를 유지해야 합니다.

해결책: UV 투과율을 향상시키기 위해 낮은 수산기 함량 석영 재료(OH 함량 <1ppm)의 맞춤형 연구 개발; 응력 복굴절을 줄이기 위해 특수 어닐링 공정 채택

결과: 성능 저하 없이 3년간 연속 작동한 후에도 진공도는 안정적으로 유지되어 고강도 싱크로트론 방사 응용 분야의 요구 사항을 충족했습니다.

사례 2: 아시아 최고의 반도체 기업

요구사항: 12인치 웨이퍼 생산 라인의 CVD 장비의 관찰창은 오염이 자주 발생하므로 고온 내성, 증착 방지 코팅 및 청소가 쉬운 석영 플랜지가 필요합니다.

해결책: 반응물 부착을 줄이기 위한 표면 나노 코팅 처리 기술을 개발합니다. 신속한 분해구조를 설계하여 유지보수 시간을 70% 단축

결과: 장비 유지보수 주기가 2주에서 3개월로 연장되었으며, 웨이퍼 수율은 2.3% 증가했습니다.

사례 3: 북미신소재연구소

요구 사항: 다중 채널 관찰 반응 시스템에는 열전대 인터페이스와 샘플링 파이프라인을 통합하는 복합 석영 플랜지가 필요합니다.

솔루션 : 3채널 Φ 150mm 플랜지 설계, KF25 인터페이스 2개와 샘플링 파이프라인 1개, 사전 설정된 K형 열전대 슬롯 통합

결과: 반응 과정의 실시간 모니터링 및 샘플링이 이루어졌으며 실험 데이터 수집 효율성이 3배 향상되었습니다.

사례 4: 호주 태양광발전 연구소

요구 사항: 다결정 실리콘 정제로는 1450℃의 고온을 견딜 수 있고 실리콘 증기 부식에 견딜 수 있는 관찰 창 플랜지가 필요합니다.

해결책: 내식성을 높이기 위해 고밀도 소결 석영을 채택합니다. 서비스 수명 연장을 위해 이중층 보호 구조 설계

결과: 서비스 수명이 6개월에서 24개월로 연장되고 연간 유지 관리 비용이 65% 절감되었습니다.

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