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2-500mm透明真空石英フランジ
石英フランジは何を解決できるのでしょうか?
Q: 高温および高真空環境でも安定性を維持できる透明な接続コンポーネントが必要です。解決策は何ですか?
答え: 私たちの 透明真空石英フランジ は過酷な環境向けに設計されており、10⁻⁶Paの超高真空、1200℃の高温下でも安定した性能を維持でき、従来の金属フランジの腐食、不透明、熱膨張係数の不一致の問題を解決します。
Q： 弊社の実験装置は真空密閉を確保したまま内部の反応過程を観察することは可能ですか？
回答: それは完全に可能です。石英フランジの透明な性質により、内部プロセスをリアルタイムで観察することができ、正確に研削されたシール表面により真空の完全性が確保され、一石二鳥になります。
Q: 私たちのプロジェクトでは、標準外のサイズのフランジが必要です。カスタマイズできますか?
答え: もちろんです。当社では、マイクロ2mmから大型500mmまでのフルサイズのフランジをカスタマイズし、半導体、太陽光発電、科学研究などのさまざまな分野の特殊なニーズに対応します。
2 ～ 500 mm の透明な真空石英フランジは、高純度の合成石英材料 (SiO 2 含有量 ≥ 99.99%) で作られており、光学観察を必要とする真空システム用に特別に設計されています。精密焼鈍処理が施されており、熱膨張率（5.5×10-7/℃）が極めて低く、急激な温度変化に対しても寸法安定性と真空シール性を確保します。
主要なパフォーマンスパラメータ
- サイズ範囲: 内径 2mm ～ 500mm、非標準のカスタマイズをサポート
-真空性能： 超高真空環境下で最大10⁻⁶Pa
・温度耐性： 連続使用温度1200℃、短期使用温度1450℃まで
・透過率特性： 紫外～赤外帯域（170nm～2500nm）において高い透過率
-面精度： シール面の平面度≦1μm、粗さRa≦0.4μm
-耐圧力： 標準モデルは1×10⁻⊃3の圧力サイクルに耐えます。 Paから大気圧
製品のメリットを詳しく解説
1. 物質的な利点
-超高純度: SiO ₂ 含有量 99.99% 以上、金属不純物含有量 1ppm 以下
・熱安定性： 熱膨張率が通常のガラスの1/15であり、耐熱衝撃性に優れています。
- 化学的不活性: 耐酸性 (フッ化水素酸を除く)、耐アルカリ性、およびほとんどの化学腐食に対する耐性
・放射線安定性： 放射線による黄変に強く、長期間透明性を維持します。
2. 製造プロセスの利点
-精密焼鈍： 内部応力を除去し、使用中の変形や亀裂を防止します。
-レーザー切断: 滑らかで平らなエッジを確保し、微小亀裂を軽減します。
・光学研磨： 封止面は光学グレードの平坦度を実現し、確実な真空封止を実現
-超音波洗浄: 無公害組み立て、真空システムの粒子汚染を回避
3. 機能上の利点
-観察とシールの統合: 従来の観察窓をフランジから分離する複雑さを解決
-マルチ仕様互換性: ISO-KF、ISO-F、CFなどの複数の国際標準インターフェースに適合するように設計できます。
-統合された柔軟性: 事前溶接された分岐パイプ、電極リード、センサーインターフェースなどの追加機能
応用分野
半導体製造
・ウエハ処理装置の観察窓
・CVD/PVD装置真空チャンバー接続
・エッチング工程監視ウィンドウ
太陽光発電産業
・多結晶シリコン精製炉の観察口
・薄膜太陽電池成膜装置
-太陽電池材料の熱処理モニタリング
科学研究
-放射光ビームライン接続
-粒子検出器観察窓
-材料科学高温反応チャンバー
・真空成膜装置の監視
ハイエンドの製造
・電子ビーム溶接装置の観察窓
-精密光学コーティング装置
-航空宇宙材料試験装置
カスタマイズされたサービス機能
カスタムサイズ
-マイクロシリーズ：2～20mm、精密機器やマイクロ真空システムに使用
-標準シリーズ: 25-200mm、ほとんどの産業用途をカバー
-大型シリーズ：200～500mm、特殊大型装置のニーズに対応
-エイリアンデザイン: 非円形や楕円形などの特殊な幾何学的形状
機能のカスタマイズ
-統合された事前溶接継手、フランジ、コネクタ
-多層複合構造設計（石英+金属トランジションピース）
-特定の角度の観察ポート設計
-防汚コーティング処理
お客様の適用事例
事例 1: 欧州放射光研究センター
要件: X 線ビームラインの真空接続には、直径 300 mm の大きな石英フランジが必要です。優れた紫外線透過率と10⁻⁷Paの真空度を維持することが求められます。
解決策: UV 透過率を向上させるための、低ヒドロキシル含有量の石英材料 (OH 含有量 <1ppm) のカスタマイズされた研究開発。特殊なアニール処理を採用し、応力複屈折を低減
結果： 3年間連続運転しても性能劣化なく真空度が安定し、高輝度放射光用途の要求を満足
事例 2: アジアを代表する半導体企業
要件: 12 インチウェーハ生産ラインの CVD 装置の観察窓は頻繁に汚染されているため、高温耐性、堆積防止コーティング、および洗浄が容易な石英フランジが必要です。
解決策: 反応物質の付着を軽減する表面ナノコーティング処理技術を開発する。簡単に分解できる構造を設計し、メンテナンス時間を70%削減します。
結果： 装置のメンテナンス周期が2週間から3ヶ月に延長され、ウェーハ歩留まりが2.3%向上
事例 3: 北米先端材料研究所
要件: マルチチャンネル観察反応システムには、熱電対インターフェースとサンプリング パイプラインを統合する複合石英フランジが必要です
ソリューション: 3 つのチャネル Φ 150mm フランジを設計し、2 つの KF25 インターフェースと 1 つのサンプリング パイプラインを統合し、事前に設定されたタイプ K 熱電対スロットを設計します。
結果： 反応過程のリアルタイムモニタリングとサンプリングが実現し、実験データ取得効率が3倍に向上
事例 4: オーストラリアの太陽光発電研究所
要件: 多結晶シリコン精製炉には、1450 ℃の高温に耐え、シリコン蒸気腐食に耐えることができる観察窓フランジが必要です。
解決策: 高密度焼結石英を採用して耐食性を高めます。二重保護構造を設計し、寿命を延ばします。
結果： 耐用年数が6か月から24か月に延長され、年間保守コストが65%削減されました。
標準的なアプリケーションであれ、特殊な課題であれ、当社のエンジニアリング チームは、設計コンサルティングから納品サポートまで、プロセス全体のソリューションを常に提供する準備ができています。特定のパラメータ要件またはアプリケーション シナリオを提供してください。カスタマイズされたソリューションと見積もりを 1 時間以内に送信します。
サンプル テストまたはオンサイト アプリケーションの評価については、すぐに当社のテクニカル アドバイザーにご連絡ください。当社の石英フランジを真空システムの信頼できる目および接続リンクにしましょう。
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当社は19年以上のクォーツ製品の製造経験があります。
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