2–500 mm transparenter Vakuum-Quarzflansch

Was können Quarzflansche für Sie lösen?

F: Ich benötige eine transparente Verbindungskomponente, die in Hochtemperatur- und Hochvakuumumgebungen stabil bleibt. Was ist die Lösung?  

Antwort: Unser Der transparente Vakuum-Quarzflansch ist für raue Umgebungen konzipiert und kann unter einem Ultrahochvakuum von 10 ⁻⁶ Pa und einer hohen Temperatur von 1200 ℃ eine stabile Leistung aufrechterhalten, wodurch die Probleme von Korrosion, Opazität und nicht übereinstimmendem Wärmeausdehnungskoeffizienten herkömmlicher Metallflansche gelöst werden.

F: Ist es mit unserer Versuchsausrüstung möglich, den internen Reaktionsprozess zu beobachten und gleichzeitig eine Vakuumabdichtung sicherzustellen?  

Antwort: Es ist durchaus möglich. Die transparente Beschaffenheit der Quarzflansche ermöglicht die Beobachtung interner Prozesse in Echtzeit, während die präzise geschliffene Dichtfläche die Vakuumintegrität gewährleistet und so zwei Fliegen mit einer Klappe schlägt.

F: Für unser Projekt sind Flansche in Sondergrößen erforderlich. Können wir sie anpassen?  

Antwort: Natürlich. Wir bieten maßgefertigte Flansche in voller Größe von 2 mm Mikro bis 500 mm Größe an und erfüllen die besonderen Anforderungen verschiedener Bereiche wie Halbleiter, Photovoltaik und wissenschaftliche Forschung.

Der 2-500 mm große transparente Vakuum-Quarzflansch besteht aus hochreinem synthetischem Quarzmaterial (SiO₂-Gehalt ≥ 99,99 %) und wurde speziell für Vakuumsysteme entwickelt, die eine optische Beobachtung erfordern. Das Produkt wurde einer Präzisionsglühbehandlung mit einem extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten (5,5 × 10 ⁻⁷/℃) unterzogen, was Dimensionsstabilität und Vakuumdichtleistung bei drastischen Temperaturänderungen gewährleistet.

Wichtige Leistungsparameter

-Größenbereich: 2 mm bis 500 mm Innendurchmesser, unterstützt nicht standardmäßige Anpassungen

-Vakuumleistung: bis zu 10 ⁻⁶ Pa in Ultrahochvakuumumgebung

-Temperaturtoleranz: Dauerarbeitstemperatur von 1200 ℃, kurzfristig bis 1450 ℃

-Durchlässigkeitseigenschaften: hohe Durchlässigkeit im ultravioletten bis infraroten Bereich (170 nm bis 2500 nm)

-Oberflächengenauigkeit: Ebenheit der Dichtfläche ≤ 1 μm, Rauheit Ra ≤ 0,4 μm

-Drucktoleranz: Das Standardmodell hält Druckzyklen von 1 × 10 ⁻ ⊃3 stand; Pa zum atmosphärischen Druck

Ausführliche Erläuterung der Produktvorteile

1. Materielle Vorteile

-Ultrahohe Reinheit: über 99,99 % SiO₂-Gehalt, Metallverunreinigungsgehalt unter 1 ppm

-Thermische Stabilität: Der Wärmeausdehnungskoeffizient beträgt nur 1/15 von gewöhnlichem Glas und die Temperaturwechselbeständigkeit ist überlegen

-Chemische Inertheit: säurebeständig (außer Flusssäure), alkalibeständig und beständig gegen die meisten chemischen Korrosionen

-Strahlungsstabilität: beständig gegen Strahlenvergilbung, behält die Transparenz über einen langen Zeitraum bei

2. Vorteile des Herstellungsprozesses

-Präzisionsglühen: beseitigt innere Spannungen und verhindert Verformungen oder Risse während des Gebrauchs

-Laserschneiden: Sorgen Sie für glatte und flache Kanten und reduzieren Sie Mikrorisse

-Optisches Polieren: Die Dichtungsoberfläche erreicht eine Ebenheit in optischer Qualität und gewährleistet so eine Vakuumabdichtung

-Ultraschallreinigung: schadstofffreie Montage, Vermeidung einer Partikelverschmutzung des Vakuumsystems

3. Funktionelle Vorteile

-Beobachtung und Abdichtung integriert: Lösung der Komplexität der Trennung herkömmlicher Beobachtungsfenster von Flanschen

-Kompatibilität mit mehreren Spezifikationen: Kann so konzipiert werden, dass es mit mehreren internationalen Standardschnittstellen wie ISO-KF, ISO-F, CF usw. übereinstimmt

-Integrierte Flexibilität: Zusatzfunktionen wie vorgeschweißte Abzweigrohre, Elektrodenleitungen, Sensorschnittstellen etc

Anwendungsgebiet

Halbleiterfertigung

-Beobachtungsfenster für Wafer-Verarbeitungsgeräte

-Vakuumkammeranschluss für CVD/PVD-Geräte

-Fenster zur Überwachung des Ätzprozesses

Photovoltaikindustrie

-Beobachtungsöffnung für den Reinigungsofen für polykristallines Silizium

-Anlage zur Abscheidung von Dünnschicht-Solarzellen

-Überwachung der Wärmebehandlung von Photovoltaikmaterial

wissenschaftliche Forschung

-Synchrotronstrahlungs-Beamline-Verbindung

-Partikeldetektor-Beobachtungsfenster

-Hochtemperatur-Reaktionskammer für Materialwissenschaften

-Überwachung von Vakuumbeschichtungsanlagen

High-End-Fertigung

-Beobachtungsfenster von Elektronenstrahlschweißgeräten

-Präzisionsausrüstung für die optische Beschichtung

-Materialprüfgeräte für die Luft- und Raumfahrt

Maßgeschneiderte Servicefähigkeit

Benutzerdefinierte Größe

-Mikroserie: 2–20 mm, verwendet für Präzisionsinstrumente und Mikrovakuumsysteme

-Standardserie: 25–200 mm, deckt die meisten industriellen Anwendungen ab

-Große Serie: 200–500 mm, erfüllt die Anforderungen spezieller Großgeräte

-Alien-Design: spezielle geometrische Formen wie nicht-kreisförmige und elliptische Formen

Funktionsanpassung

-Integrierte vorgeschweißte Fittings, Flansche und Anschlüsse

-Mehrschichtiges Verbundstrukturdesign (Quarz + Metall-Übergangsstück)

- Spezifisches Winkel-Beobachtungsöffnungsdesign

- Anti-Schadstoff-Beschichtung

Kundenanwendungsfälle

Fall 1: Europäisches Forschungszentrum für Synchrotronstrahlung

Anforderung: Für den Vakuumanschluss von Röntgenstrahllinien wird ein großer Quarzflansch mit einem Durchmesser von 300 mm benötigt. Es ist eine hervorragende UV-Durchlässigkeit und die Aufrechterhaltung eines Vakuumgrades von 10 ⁻⁷ Pa erforderlich

Lösung: Maßgeschneiderte Forschung und Entwicklung von Quarzmaterialien mit niedrigem Hydroxylgehalt (OH-Gehalt <1 ppm) zur Verbesserung der UV-Durchlässigkeit; Einführung eines speziellen Glühprozesses zur Reduzierung der Spannungsdoppelbrechung

Ergebnis: Nach dreijährigem Dauerbetrieb ohne Leistungseinbußen blieb der Vakuumgrad stabil und erfüllte die Anforderungen für hochintensive Synchrotronstrahlungsanwendungen

Fall 2: Asiens führendes Halbleiterunternehmen

Anforderung: Das Beobachtungsfenster der CVD-Ausrüstung in der 12-Zoll-Wafer-Produktionslinie ist häufig verunreinigt und erfordert eine hochtemperaturbeständige Anti-Ablagerungsbeschichtung und leicht zu reinigende Quarzflansche

Lösung: Entwicklung einer Technologie zur Behandlung von Oberflächen-Nanobeschichtungen, um die Adhäsion der Reaktanten zu verringern; Entwerfen Sie eine schnelle Demontagestruktur, um die Wartungszeit um 70 % zu reduzieren.

Ergebnis: Der Wartungszyklus der Geräte wurde von 2 Wochen auf 3 Monate verlängert und die Waferausbeute stieg um 2,3 %

Fall 3: North American Advanced Materials Laboratory

Anforderung: Ein Mehrkanal-Beobachtungsreaktionssystem erfordert einen zusammengesetzten Quarzflansch, der Thermoelementschnittstellen und Probenahmeleitungen integriert

Lösung : Entwerfen Sie drei Kanalflansche mit Φ 150 mm, integrieren Sie 2 KF25-Schnittstellen und 1 Probenahmeleitung, voreingestellte Typ-K-Thermoelementsteckplätze

Ergebnis: Echtzeitüberwachung und Probenahme des Reaktionsprozesses wurden erreicht und die Effizienz der experimentellen Datenerfassung wurde verdreifacht

Fall 4: Australisches Photovoltaik-Forschungsinstitut

Anforderung: Der polykristalline Silizium-Reinigungsofen erfordert einen Beobachtungsfensterflansch, der hohen Temperaturen von 1450 °C standhält und Siliziumdampfkorrosion widersteht

Lösung: Verwendung von hochdichtem Sinterquarz zur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit; Entwerfen Sie eine doppelschichtige Schutzstruktur, um die Lebensdauer zu verlängern

Ergebnis: Die Lebensdauer wurde von 6 Monaten auf 24 Monate verlängert und die jährlichen Wartungskosten wurden um 65 % reduziert

Ob es sich um Standardanwendungen oder besondere Herausforderungen handelt, unser Engineering-Team ist immer bereit, Ihnen eine vollständige Prozesslösung von der Designberatung bis zur Lieferunterstützung zu bieten. Bitte geben Sie Ihre spezifischen Parameteranforderungen oder Anwendungsszenarien an und wir senden Ihnen innerhalb einer Stunde eine maßgeschneiderte Lösung und ein Angebot.

Kontaktieren Sie umgehend unseren technischen Berater für Mustertests oder Anwendungsbewertungen vor Ort! Machen Sie unseren Quarzflansch zum zuverlässigen Auge und Verbindungsglied für Ihr Vakuumsystem.

Luverre Quartz produziert und vertreibt ein breites Sortiment an hochwertigem Quarzglas, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzglasfenster, Quarztiegel, Quarzschiffchen, Quarzglasflansche, Quarzglasbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.

Für weitere Informationen können Sie uns gerne kontaktieren.

Warum uns wählen?

1.Wir sind erfahrener.

Wir verfügen über mehr als 19 Jahre Erfahrung in der Herstellung von Quarzartikeln.

2.Wir sind effizienter.

Wir beantworten Kundenanfragen innerhalb von 24 Stunden und verfügen über ein hocheffizientes Produktions-, Ingenieur- und Vertriebsteam.

3. Unsere Qualität ist garantierter.

Wir kontrollieren die Qualität von Quarzklumpen über Quarzsand bis hin zu Quarzprodukten. Wir haben eine bessere und strengere Qualitätskontrolle als andere Hersteller.

4.Wir sind in der Lage, schwierigere Quarzprodukte herzustellen.

Wir verfügen über große Schleifplattformen und Präzisionsätzmaschinen, die es uns ermöglichen, eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser herzustellen und zu verkaufen, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzboote, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr.

5. Etwa 20 Jahre Berufserfahrung

-Konzentriert sich seit einem Vierteljahrhundert auf die Herstellung von Quarzprodukten

-Die durchschnittliche Berufserfahrung des technischen Teams beträgt mehr als 15 Jahre

6.Globales Servicenetzwerk

-Unsere Produkte werden in über 40 Länder und Regionen exportiert, darunter Europa, Amerika, Japan, Südkorea und den Nahen Osten

-Mehrsprachiger technischer Support (Englisch, Deutsch, Französisch, Spanisch, Russisch, Japanisch)

7. Flexibler Kooperationsmodus

Unterstützen Sie Kleinserien-Testaufträge, mittel- und langfristige Zusammenarbeit sowie die dringende Produktion dringender Aufträge und bieten Sie OEM/ODM-Dienstleistungen an.