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の 100～800mmの高透明度半円形石英ボート は、高純度石英ガラス（SiO 2 含有率≧99.99％）を精密加工して作られた高性能搬送ツールです。石英材料の優れた物理的および化学的特性と組み合わせた独自の半円構造設計は、半導体、太陽光発電、LED などの精密製造分野に信頼性の高いソリューションを提供します。
コア機能
優れた光学性能: 92% 以上の透過率 (波長範囲 200 ～ 2500nm) により、フォトリソグラフィー、拡散、その他のプロセスにおいて均一なエネルギー伝達が確保され、プロセスの変動が低減されます。
高温安定性： 1100℃の高温環境に長時間耐え、短期使用温度は1450℃までであり、急速熱アニール（RTA）などの極限のプロセス条件に適しています。
優れた化学的不活性性: フッ化水素酸 (HF) を除くすべての酸、塩基、有機溶媒に対して耐食性があり、プロセス汚染のリスクを回避します。
構造精度保証： CNC加工により、寸法公差は±0.05mm、表面粗さRaは0.2μm以下で、プロセス装置との完璧なマッチングを保証します。
優れた機械的強度： 曲げ強度は60～80MPaに達し、耐熱衝撃性も優れています（ΔT≧120℃で破断なし）ので、製品の寿命が長くなります。
技術的優位性
従来の円形の石英ボートと比較して、半円形のデザインにより積載量が 30% 増加し、エッジ効果の影響が軽減されます。
特許取得済みの設計のサポート構造により、チップ上の応力がより均一に分散され、断片化率が 0.02% 未満に低減されます。
表面プラズマ処理技術により超疎水性が実現し、洗浄効率が 50% 向上し、プロセス中断のリスクが軽減されます。
典型的なアプリケーションシナリオ
半導体製造分野では:
リソグラフィープロセス: 12 インチのウェハー露光キャリアとして、深紫外 (DUV) リソグラフィー装置と組み合わせて使用され、フォトレジストの均一なコーティングを確保します。
拡散工程： シリコンウェーハをリン・ボロン拡散炉内に搬送し、不純物濃度勾配を精密に制御（精度±1％）
CVD 堆積: グラファイト ボートの代替として、PECVD 装置で窒化シリコン膜を堆積するために直接使用され、金属汚染のリスクを軽減します。
太陽光発電産業のアプリケーション:
PERC セルの製造: 裏面パッシベーションプロセスで M6 サイズのシリコンウェーハを搬送し、ALD 装置を使用して Al ₂ O ∝/SiNx 積層堆積を実現
TOPCon 電池製造: ホウ素拡散キャリアとして、POCl ∝ 高温拡散環境に耐え、200 回以上の耐用年数を持ちます。
HJT バッテリー プロセス: アモルファス シリコンの堆積段階でクリーンなキャリアを提供し、膜の均一性 (± 1.5% の厚さの偏差) を確保します。
LED およびディスプレイ業界:
MOCVD装置: 4/6インチのサファイア基板キャリアとして、GaNエピタキシャル層の成長厚さの均一性<3%を達成
量子ドットディスプレイ: QD溶液コーティングプロセスでガラス基板を搬送し、ナノ粒子を均一に分散させる
マイクロ LED マストランスファー: 一時的なキャリアとして、99.99% 以上の転送歩留まりで数百万個のチップの正確な位置決めを実現します。
その他の分野:
レーザー技術、赤外線アプリケーション、照明産業など、高温、高純度、透明な環境を必要とする特殊なシナリオ。
カスタマイズされたサービス体制
寸法： L100～800×W50～300×H20～100mm
耐荷重： 20～500個（2～12インチ）
透過率帯域: 190-3500nm (カスタマイズされたコーティング)
表面処理： 反射防止コーティング/疎水コーティング
構造形状： 二層・段付・位置決め溝付
よくある質問 (FAQ)
この半円形の石英ボートの最高動作温度は何度ですか?
当社の製品は、1100℃までの環境で長期間安定して動作し、短期耐性は1250℃に達し、ほとんどの高温プロセスの要求を満たします。
規格外のサイズのカスタマイズはサポートされていますか?
はい。 100 ～ 800mm の標準仕様に加えて、お客様の図面または円弧半径、壁厚、スロット位置などの特定のパラメータに基づいて寸法を完全にカスタマイズできます。
高透過率機能は特にプロセスにどのようなメリットをもたらしますか?
高い光透過率により、発熱体からの熱がウェーハまたはサンプル表面に均一に放射されます。これにより熱応力が軽減され、薄膜成長の均一性と歩留まりが向上します。
配達までの通常のリードタイムはどれくらいですか?
標準仕様は多くの場合在庫があり、迅速な出荷が可能です。カスタマイズされた製品の場合、生産サイクルは複雑さに応じて通常 7 ～ 15 営業日です。
当社の透明度の高い半円形の石英ボートを選択することは、製品を選択することだけでなく、優れた品質、効率的な職人技、信頼できる協力関係を選択することでもあります。特定のニーズについてご相談がございましたら、いつでもお気軽にお問い合わせください。
ルベールクォーツは高品質なクォーツを幅広く製造・販売しております。 石英ガラス、石英管、石英プレート、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具などを含みます。石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズのご要望にお応えいたします。
