용융 실리카 유리판의 고정밀 레이저 절단

고정밀 레이저 절단 용융 석영 유리판은 레이저 기술을 사용하여 용융 석영 유리를 정밀 가공하는 방법입니다. 이 방법은 내열성이 높고 열팽창 계수가 낮으며 절연 성능이 우수한 장점이 있기 때문에 항공 우주, 미세 광학 부품, 군사 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.

용융 실리카 유리판의 레이저 절단 기술에는 주로 자외선 펨토초 레이저 필라멘트 고정밀 가공 기술과 펄스 CO2 레이저 고정밀 절제 기술의 두 가지가 있습니다.

자외선 펨토초 레이저 필라멘트의 고정밀 가공 기술: 이 기술은 파장 343 nm의 자외선 펨토초 레이저를 활용하여 가공합니다. 레이저 초점 위치, 펄스 에너지, 반복률, 주사 속도, 주사 시간이 석영 유리 섬유의 손상 형태에 미치는 영향을 실험을 통해 연구하였다. 이를 바탕으로 신속한 절단 및 드릴링을 달성하기 위해 공정 매개변수가 최적화되었습니다. 연구에 따르면 일정한 레이저 반복 속도에서 펄스 에너지가 클수록 광섬유 손상이 더 깊어집니다. 펄스 에너지가 일정하게 유지되면 반복 주파수가 높을수록 섬유 손상 깊이가 커집니다. 스캔 속도가 감소하면 손상 깊이가 증가하지만 처리된 표면의 용융된 재료의 양도 증가합니다. 스캔 빈도를 높이면 처리 품질이 크게 향상될 수 있습니다.

펄스 CO2 레이저 고정밀 절제 기술: 이 기술은 펄스 CO2 레이저를 사용하여 용융 석영 유리에 고정밀 절제를 수행합니다. 실험적 검증을 통해 중첩률을 제어하면 고정밀 국소 영역 균일한 절제가 가능하고, 레이저 출력 밀도를 제어하면 나노미터 수준의 다양한 절제 깊이를 얻을 수 있음이 나타났습니다. 이 기술은 용융 석영 유리의 표면 처리, 특히 매우 매끄러운 표면을 얻는 데 큰 잠재력을 보여줍니다.

이 두 가지 레이저 기술은 용융 실리카 유리의 고정밀 가공에 상당한 이점을 갖고 있으며 항공우주, 미세 광학 요소, 군사 및 기타 분야의 가공 정확도 및 표면 품질에 대한 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

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