Quartz (dióxido de silicio, SiO2) es un material ampliamente utilizado en la fabricación de semiconductores, que tiene una excelente estabilidad térmica e inercia química, lo que hace que sea Los productos de cuarzo, como los tubos de cuarzo, juegan un papel indispensable en el proceso de producción de semiconductores.

Propiedades físicas y químicas

La alta pureza y la estabilidad de los materiales de cuarzo son razones clave para su amplia aplicación en la industria de semiconductores. Pueden soportar altas temperaturas y no reaccionar fácilmente con la mayoría de los productos químicos, incluidos ácidos y bases fuertes. Además, el cuarzo tiene una buena transmisión de luz y un bajo coeficiente de expansión térmica, que son esenciales para los procesos de semiconductores que requieren un control preciso.

Campo de aplicación

1. Difusión y dopaje

En la fabricación de obleas de semiconductores, los hornos de difusión se utilizan para introducir átomos de impurezas en obleas de silicio para cambiar las propiedades eléctricas. En este proceso, los tubos de cuarzo actúan como contenedores para transportar las obleas de silicio, proporcionando la protección de aislamiento necesaria y garantizando la distribución uniforme de la temperatura y el entorno químico.

2. Deposición de vapor químico (CVD)

La CVD es una técnica utilizada para cultivar películas delgadas en las que los precursores gaseosos reaccionan químicamente en la superficie de un sustrato para formar una sustancia sólida. Los tubos de cuarzo actúan como parte de la cámara de reacción durante este proceso, y sus superficies internas se mantienen limpias y libres de contaminación, lo que ayuda a mejorar la calidad de la película.

3. Grabado

El paso de grabado en la fabricación de semiconductores está diseñado para eliminar piezas o capas no deseadas. Algunos procesos de grabado seco pueden usar deposición de vapor químico mejorado por plasma (PECVD), donde los tubos de cuarzo actúan como paredes de reactores para sostener el plasma y proteger el equipo de la corrosión.

4. Recocido

El recocido es un tipo de tratamiento térmico realizado para reparar defectos causados ​​por pasos de procesamiento anteriores. Durante este tiempo, el tubo de cuarzo se puede usar como un aislante alrededor del elemento de calentamiento al tiempo que proporciona una atmósfera controlada para evitar la oxidación no deseada u otras reacciones laterales.

5. Litografía

Aunque los principales factores involucrados directamente en el proceso de litografía son la retícula y la fotorresistencia, el tubo de cuarzo puede desempeñar un papel en los procesos auxiliares, como la limpieza y el secado, para garantizar que la superficie de la pieza de trabajo esté limpia sin afectar la precisión de transferencia de patrones posterior.

6. Embalaje

Para algunas tecnologías de empaque avanzadas, como el empaque a escala de chips (CSP) o el apilamiento tridimensional, los tubos de cuarzo se pueden usar para microcanales u otros componentes estructurales requeridos en el proceso de fabricación para proporcionar soluciones para una disipación de calor eficiente.

7. Instrumentos analíticos

Los tubos de cuarzo también se usan a menudo como componentes clave en instrumentos analíticos, como espectrómetros de masas y columnas cromatográficas, que son esenciales para detectar y monitorear los niveles de impurezas en los procesos de fabricación de semiconductores.

Los tubos de cuarzo juegan un papel importante en todas las etapas de la industria de semiconductores debido a sus propiedades físicas y químicas únicas. Desde el crecimiento del cristal inicial hasta las pruebas finales del producto, los tubos de cuarzo no solo aseguran la consistencia y la confiabilidad de las condiciones del proceso, sino que también promueven el progreso y el desarrollo de toda la industria.

Luverre Quartz puede fabricar tubos de cuarzo personalizados en varias formas, como espiral, cuadrada, redonda, con procesamiento que incluye corte, flexión, soldadura, etc., y disponibles en diferentes colores, como tubos de cuarzo transparentes, tubos de cuarzo opaco, tubos de cuarzo blanco, tubos de cuarzo rojo, y así sucesivamente.