Quartz（二酸化シリコン、SIO2）は、半導体製造に広く使用されている材料であり、優れた熱安定性と化学的不活性を備えているため、 クォーツチューブなどの石英製品は、 半導体生産プロセスに不可欠な役割を果たします。

物理的および化学的特性

クォーツ材料の高い純度と安定性は、半導体業界での幅広いアプリケーションの主な理由です。彼らは高温に耐えることができ、強酸や塩基を含むほとんどの化学物質と簡単に反応することはありません。さらに、Quartzには良好な光透過と低い熱膨張係数があります。これは、正確な制御を必要とする半導体プロセスに不可欠です。

アプリケーションフィールド

1。拡散とドーピング

半導体ウェーハの製造では、拡散炉を使用して、不純物原子をシリコンウェーハに導入して電気特性を変化させます。このプロセスでは、石英チューブはシリコンウェーハを運ぶ容器として機能し、必要な分離保護を提供し、均一な温度分布と化学環境を確保します。

2。化学蒸気堆積（CVD）

CVDは、薄膜を栽培するために使用される技術であり、その中では、基質の表面で気体前駆体が化学的に反応して固体物質を形成します。 クォーツチューブは 、このプロセス中に反応チャンバーの一部として機能し、その内側の表面は清潔に保たれ、汚染がないため、フィルムの品質を向上させます。

3。エッチング

半導体製造のエッチングステップは、不要な部品または層を除去するように設計されています。一部のドライエッチングプロセスでは、プラズマ強化化学蒸気堆積（PECVD）を使用する場合があります。ここでは、石英チューブが原子型壁として機能し、血漿を保持し、腐食から装備を保護します。

4。アニーリング

アニーリングは、以前の処理手順によって引き起こされる欠陥を修復するために行われる熱処理の一種です。この間、石英チューブは加熱要素の周りの絶縁体として使用しながら、不要な酸化または反対側の反応を防ぐための制御された大気を提供できます。

5。リソグラフィ

リソグラフィプロセスに直接関与する主な要因はレチクルとフォトレジストですが、クォーツチューブは、洗浄や乾燥などの補助プロセスで役割を果たし、ワークピースの表面が後続のパターン伝達の精度に影響を与えることなくきれいであることを確認できます。

6。パッケージング

チップスケールパッケージング（CSP）や3次元スタッキングなどの一部の高度なパッケージングテクノロジーの場合、クォーツチューブは、効率的な熱散逸のためのソリューションを提供するために、製造プロセスで必要なマイクロチャネルまたはその他の構造成分に使用できます。

7。分析機器

クォーツチューブは、半導体製造プロセスの不純物レベルを検出および監視するために不可欠な、質量分析計やクロマトグラフィーカラムなど、分析機器の主要なコンポーネントとしても使用されます。

石英チューブは、独自の物理的および化学的特性のために、半導体産業のすべての段階で重要な役割を果たします。初期の結晶の成長から最終製品テストまで、クォーツチューブはプロセス条件の一貫性と信頼性を確保するだけでなく、業界全体の進歩と発展を促進します。

Luverre Quartzは 、スパイラル、スクエア、ラウンドなどのさまざまな形状のカスタマイズされたクォーツチューブを製造できます。カット、曲げ、溶接などの処理、透明な石英チューブ、不透明な石英チューブ、乳白色の石英チューブ、レッドクォーツチューブなどのさまざまな色で利用できます。