O quartzo (dióxido de silício, SiO2) é um material amplamente utilizado na fabricação de semicondutores, que possui excelente estabilidade térmica e inércia química, o que faz Produtos de quartzo , como tubos de quartzo, desempenham um papel indispensável no processo de produção de semicondutores.

Propriedades físicas e químicas

A alta pureza e estabilidade dos materiais de quartzo são os principais motivos de sua ampla aplicação na indústria de semicondutores. Eles podem suportar altas temperaturas e não reagem facilmente com a maioria dos produtos químicos, incluindo ácidos e bases fortes. Além disso, o quartzo possui uma boa transmissão de luz e um baixo coeficiente de expansão térmica, essencial para os processos de semicondutores que requerem controle preciso.

Campo de aplicação

1. Difusão e doping

Na fabricação de bolachas de semicondutores, os fornos de difusão são usados ​​para introduzir átomos de impureza nas bolachas de silício para alterar as propriedades elétricas. Nesse processo, os tubos de quartzo atuam como recipientes para transportar as bolachas de silício, fornecendo a proteção necessária do isolamento e garantindo distribuição uniforme de temperatura e ambiente químico.

2. Deposição de vapor químico (CVD)

O CVD é uma técnica usada para cultivar filmes finos nos quais precursores gasosos reagem quimicamente na superfície de um substrato para formar uma substância sólida. Os tubos de quartzo atuam como parte da câmara de reação durante esse processo, e suas superfícies internas são mantidas limpas e livres de contaminação, ajudando a melhorar a qualidade do filme.

3. Gravura

A etapa de gravação na fabricação de semicondutores foi projetada para remover peças ou camadas indesejadas. Alguns processos de gravação a seco podem usar a deposição de vapor químico aprimorada por plasma (PECVD), onde os tubos de quartzo atuam como paredes do reator para manter o plasma e proteger o equipamento da corrosão.

4. recozimento

O recozimento é um tipo de tratamento térmico realizado para reparar defeitos causados ​​por etapas anteriores de processamento. Durante esse período, o tubo de quartzo pode ser usado como isolador ao redor do elemento de aquecimento, fornecendo uma atmosfera controlada para evitar oxidação indesejada ou outras reações colaterais.

5. Litografia

Embora os principais fatores envolvidos diretamente no processo de litografia sejam o retículo e o fotorresistente, o tubo de quartzo pode desempenhar um papel nos processos auxiliares, como limpeza e secagem, para garantir que a superfície da peça esteja limpa sem afetar a precisão da transferência de padrões subsequente.

6. Embalagem

Para algumas tecnologias avançadas de embalagem, como embalagens em escala de chip (CSP) ou empilhamento tridimensional, os tubos de quartzo podem ser usados ​​para microcanais ou outros componentes estruturais necessários no processo de fabricação para fornecer soluções para dissipação de calor eficiente.

7. Instrumentos analíticos

Os tubos de quartzo também são frequentemente usados ​​como componentes -chave em instrumentos analíticos, como espectrômetros de massa e colunas cromatográficas, essenciais para detectar e monitorar os níveis de impureza nos processos de fabricação de semicondutores.

Os tubos de quartzo desempenham um papel importante em todos os estágios da indústria de semicondutores devido às suas propriedades físicas e químicas únicas. Do crescimento inicial do cristal ao teste final do produto, os tubos de quartzo não apenas garantem a consistência e a confiabilidade das condições do processo, mas também promovem o progresso e o desenvolvimento de toda a indústria.

O Luverre Lestz pode fabricar tubos de quartzo personalizados em várias formas, como espiral, quadrado, redondo, com processamento, incluindo corte, flexão, soldagem, etc., e disponíveis em cores diferentes, como tubos de quartzo de quartzo, tubos de quartzo de quartzo, tubos de quartzo, barm de quartzo.