Quartz (siliciumdioxide, SiO2) is een veel gebruikt materiaal in de productie van halfgeleiders, dat uitstekende thermische stabiliteit en chemische traagheid heeft, wat maakt Quartz -producten zoals kwartsbuizen spelen een onmisbare rol in het productieproces van het halfgeleider.

Fysische en chemische eigenschappen

De hoge zuiverheid en stabiliteit van kwartsmaterialen zijn belangrijke redenen voor hun brede toepassing in de halfgeleiderindustrie. Ze kunnen hoge temperaturen weerstaan ​​en reageren niet gemakkelijk met de meeste chemicaliën, waaronder sterke zuren en basen. Bovendien heeft Quartz een goede lichttransmissie en een lage thermische expansiecoëfficiënt, die essentieel zijn voor halfgeleiderprocessen die precieze controle vereisen.

Toepassingsveld

1. Diffusie en doping

Bij de fabricage van halfgeleiderwafels worden diffusieversten gebruikt om onzuiverheidsatomen in siliciumwafels te introduceren om elektrische eigenschappen te veranderen. In dit proces fungeren kwartsbuizen als containers om de siliciumwafels te dragen, waardoor de nodige isolatiebescherming wordt geboden en een uniforme temperatuurverdeling en chemische omgeving garanderen.

2. Chemische dampafzetting (CVD)

CVD is een techniek die wordt gebruikt om dunne films te kweken waarin gasvormige voorlopers chemisch reageren op het oppervlak van een substraat om een ​​vaste stof te vormen. Quartz -buizen fungeren als onderdeel van de reactiekamer tijdens dit proces, en hun interne oppervlakken worden schoon en vrij van besmetting gehouden, waardoor de kwaliteit van de film wordt verbeterd.

3. Etsen

De etsenstap in de productie van halfgeleiders is ontworpen om ongewenste onderdelen of lagen te verwijderen. Sommige droge etsprocessen kunnen plasma-verbeterde chemische dampafzetting (PECVD) gebruiken, waarbij kwartsbuizen als reactorwanden fungeren om het plasma vast te houden en apparatuur tegen corrosie te beschermen.

4. gloeien

Gloei is een soort warmtebehandeling die wordt uitgevoerd om defecten te repareren veroorzaakt door eerdere verwerkingsstappen. Gedurende deze tijd kan de kwartsbuis worden gebruikt als een isolator rond het verwarmingselement, terwijl een gecontroleerde atmosfeer wordt geboden om ongewenste oxidatie of andere zijreacties te voorkomen.

5. Lithografie

Hoewel de belangrijkste factoren die rechtstreeks bij het lithografieproces betrokken zijn, het dradenkruis en de fotoresist zijn, kan de kwartsbuis een rol spelen in hulpprocessen zoals reinigen en drogen om ervoor te zorgen dat het oppervlak van het werkstuk schoon is zonder de daaropvolgende nauwkeurigheid van het patroonoverdracht te beïnvloeden.

6. Verpakking

Voor sommige geavanceerde verpakkingstechnologieën, zoals chip-scale verpakkingen (CSP) of driedimensionale stapel, kunnen kwartsbuizen worden gebruikt voor microkanalen of andere structurele componenten die nodig zijn in het productieproces om oplossingen te bieden voor efficiënte warmtedissipatie.

7. Analytische instrumenten

Quartz -buizen worden ook vaak gebruikt als belangrijke componenten in analytische instrumenten, zoals massaspectrometers en chromatografische kolommen, die essentieel zijn voor het detecteren en volgen van de onzuiverheidsniveaus in de productieprocessen van halfgeleiders.

Quartz -buizen spelen een belangrijke rol in alle fasen van de halfgeleiderindustrie vanwege hun unieke fysische en chemische eigenschappen. Van initiële kristalgroei tot het testen van het eindproduct, kwartsbuizen zorgen niet alleen voor de consistentie en betrouwbaarheid van procesomstandigheden, maar bevorderen ook de voortgang en ontwikkeling van de hele industrie.

Luverre Quartz kan aangepaste kwartbuizen in verschillende vormen produceren, zoals spiraal, vierkant, rond, met verwerking inclusief snijden, buigen, lassen, enz., En beschikbaar in verschillende kleuren, zoals transparante kwartsbuizen, opaque kwartsbuizen, melkachtige witte kwartsbuizen, rode quartz buizen en zo.