Poroso di spessore 5-100 mm piastra al quarzo

Materiale e struttura

Matrice: silice fusa di elevata purezza di grado 4N (SiO ₂ ≥ 99,99%), resistenza alla temperatura di 1100 ℃, coefficiente di dilatazione termica estremamente basso (5,5 × 10 ⁻⁷⁷/℃) per garantire l'assenza di fessurazioni durante la tempra.  

Pori: una rete mesoporosa microporosa interconnessa tridimensionale, con dimensioni dei pori che vanno da 5 μm a 5 mm che possono essere controllate con precisione secondo necessità e un tasso di apertura del 30% -70%.  

Spessore: le dimensioni standard dello stock sono 5, 10, 20, 30, 50, 80 e 100 mm, mentre altri spessori possono essere personalizzati con una quantità di ordine pari a zero.  

Dimensioni: l'area effettiva massima di un singolo pezzo è 600 mm × 600 mm; i formati più grandi vengono uniti mediante saldatura laser non distruttiva, con una resistenza del giunto ≥ 85% del materiale base.  

Prestazioni fondamentali

Resistenza alla corrosione chimica: la perdita di massa di tutti gli acidi inorganici, basi e solventi organici eccetto l'acido fluoridrico è inferiore a 0,1 mg/cm ⊃2; · H.  

Uniformità di traspirabilità: La differenza di pressione tra due punti qualsiasi della stessa tavola è inferiore al 3% (condizioni di test: portata d'aria di 10 L/min).  

Resistenza meccanica: resistenza alla flessione su tre punti ≥ 25 MPa (spessore 5 mm); ≥ 45 MPa (spessore 100 mm).  

Livello di pulizia: pulizia senza polvere di grado 100 in fabbrica+imballaggio sottovuoto a doppio strato, impurità metalliche <5 ppm, soddisfa i requisiti di processo del grado di semiconduttore.

Quali punti critici dovrebbero essere affrontati

1. Distribuzione irregolare del gas ad alta temperatura: le tradizionali piastre di distribuzione del gas in metallo o ceramica sono soggette a deformazione, ossidazione e inquinamento a temperature superiori a 800 ℃; Le piastre di quarzo poroso possono funzionare a lungo a 1100 ℃ con una distribuzione del gas <± 3%.  

2. Blocco delle particelle e pulizia difficile: livello di durezza del quarzo 7, superficie liscia, facile controlavaggio o rigenerazione con pulizia a ultrasuoni, durata> 5000 cicli.  

3. Collo di bottiglia relativo al limite di spessore: i prodotti commerciali generalmente hanno uno spessore ≤ 30 mm. Questa serie attraversa uno spessore di 100 mm e può essere utilizzata per la filtrazione profonda differenziale ad alta pressione o per il supporto dell'equalizzazione della temperatura su larga scala.  

4. Mancanza di pulizia a livello di wafer: materie prime al quarzo di grado elettronico + processo di pulizia a cento livelli, risolvendo completamente il problema dell'inquinamento da diffusione di ioni metallici.  

Applicazioni tipiche

Semiconduttore/LPVD: una piastra di quarzo spessa 50-100 mm viene utilizzata come strato di diffusione uniforme del forno verticale per garantire che la differenza di velocità del flusso del gas di processo sulla superficie di un wafer da 300 mm sia inferiore all'1%.  

Forno a diffusione fotovoltaica: piastre sottili da 5-10 mm vengono utilizzate per una distribuzione uniforme delle sorgenti POCl ∝, migliorando l'uniformità della resistenza quadrata di oltre l'8%.  

Ricerca e sviluppo di batterie agli ioni di sodio/litio: spessore 20-30 mm utilizzato come piastra di supporto dell'elettrodo a letto fluidizzato, resistente alla corrosione dell'elettrolita fluoruro, con una durata del ciclo di> 1000 ore.

Filtrazione chimica ad elevata purezza: spessore 80-100 mm per filtrazione di particelle submicroniche, caduta di pressione iniziale <5 kPa, efficienza di filtrazione>99,9%.  

Ottica/Laser: struttura composita personalizzata con superficie liscia microporosa, utilizzata come elettrodo poroso o elemento di raffreddamento a diffusione per laser a gas.  

Servizio personalizzato

1. Dimensione dei pori e gradiente dei pori: sulla stessa piastra è implementata una struttura dei pori con gradiente di 5 μm di strato superficiale+2 mm di nucleo per risolvere il problema di compatibilità tra l'intercettazione superficiale e il contenimento dell'inquinamento profondo.  

2. Elaborazione della forma: taglio laser, laser guidato dall'acqua, intaglio di precisione CNC, in grado di elaborare matrici di fori circolari, quadrati, circolari e irregolari; Sono tutti disponibili smussi del bordo, gradini e filettature.  

3. Funzionalizzazione della superficie:

Rivestimento idrofilo/idrofobo: angolo di contatto regolabile da 15° a 110°;  

Rivestimento metallo/ossido: Ti, Pt, ITO, ecc., con uno spessore di 50 nm-2 μ m.  

 

Che tu stia cercando una distribuzione di gas a temperatura ultraelevata, una filtrazione ad altissima purezza o supporti di quarzo funzionali microstrutturati, le piastre di quarzo poroso spesse 5-100 mm possono fornire una soluzione personalizzata 'quadridimensionale' per materiale, spessore, struttura dei pori e pulizia, fornendo solide garanzie per la stabilità del processo e la resa del prodotto. Benvenuto per chiamare e inviare foto, inizia immediatamente la personalizzazione esclusiva!

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