Poroso de 5-100 mm de espessura placa de quartzo

Material e Estrutura

Matriz: sílica fundida de alta pureza grau 4N (SiO ₂ ≥ 99,99%), resistência à temperatura de 1100 ℃, coeficiente de expansão térmica extremamente baixo (5,5 × 10 ⁻⁷⁷/℃) para garantir que não haja rachaduras durante a têmpera.  

Poros: Uma rede mesoporosa microporosa interconectada tridimensional, com tamanhos de poros variando de 5 μm a 5 mm que podem ser controlados com precisão conforme necessário e uma taxa de abertura de 30% -70%.  

Espessura: Os tamanhos normais de estoque são 5, 10, 20, 30, 50, 80 e 100 mm, enquanto outras espessuras podem ser personalizadas com quantidade zero de pedido.  

Tamanho: A área efetiva máxima de uma única peça é de 600 mm × 600 mm; tamanhos maiores são unidos por soldagem a laser não destrutiva, com resistência de junta ≥ 85% do material base.  

Desempenho central

Resistência à corrosão química: A perda de massa de todos os ácidos inorgânicos, bases e solventes orgânicos, exceto o ácido fluorídrico, é inferior a 0,1 mg/cm ⊃2; · h.  

Uniformidade de respirabilidade: A diferença de pressão entre dois pontos quaisquer na mesma placa é inferior a 3% (condições de teste: vazão de ar de 10 L/min).  

Resistência mecânica: resistência à flexão em três pontos ≥ 25 MPa (5 mm de espessura); ≥ 45 MPa (100 mm de espessura).  

Nível de limpeza: Limpeza sem poeira de grau de fábrica 100 + embalagem de camada dupla a vácuo, impurezas metálicas <5 ppm, atende aos requisitos de processo de grau de semicondutor.

Quais pontos problemáticos devem ser abordados

1. Distribuição irregular de gás em alta temperatura: As placas tradicionais de distribuição de gás de metal ou cerâmica são propensas a deformação, oxidação e poluição em temperaturas superiores a 800 ℃; Placas de quartzo porosas podem funcionar por muito tempo a 1100 ℃ com uma distribuição de gás de <± 3%.  

2. Bloqueio de partículas e limpeza difícil: nível de dureza de quartzo 7, superfície lisa, fácil retrolavagem ou regeneração de limpeza ultrassônica, vida útil> 5000 ciclos.  

3. Gargalo do limite de espessura: Os produtos comerciais geralmente têm uma espessura ≤ 30 mm. Esta série rompe uma espessura de 100 mm e pode ser usada para filtração profunda diferencial de alta pressão ou suporte de equalização de temperatura em grande escala.  

4. Falta de limpeza no nível do wafer: Matérias-primas de quartzo de grau eletrônico + processo de limpeza de cem níveis, resolvendo completamente o problema da poluição por difusão de íons metálicos.  

Aplicações típicas

Semicondutor/LPVD: Uma placa de quartzo de 50-100 mm de espessura é usada como uma camada de difusão uniforme de forno vertical para garantir que a diferença de velocidade de fluxo do gás de processo na superfície de um wafer de 300 mm seja inferior a 1%.  

Forno de difusão fotovoltaica: placas finas de 5 a 10 mm são usadas para distribuição uniforme de fontes de POCl ∝, melhorando a uniformidade da resistência quadrada em mais de 8%.  

Pesquisa e desenvolvimento de bateria de íon de sódio/lítio: espessura de 20-30 mm usada como placa de suporte de eletrodo de leito fluidizado, resistente à corrosão do eletrólito de flúor, com um ciclo de vida de> 1000 horas.

Filtragem química de alta pureza: espessura de 80-100 mm para filtração de partículas submicrométricas, queda de pressão inicial <5 kPa, eficiência de filtração> 99,9%.  

Óptica/Laser: Estrutura composta de superfície lisa microporosa personalizada, usada como eletrodo poroso ou elemento de resfriamento de difusão para lasers de gás.  

Atendimento personalizado

1. Tamanho dos poros e gradiente de poros: Uma estrutura de poros gradiente de camada superficial de 5 μm + núcleo de 2 mm é implementada na mesma placa para resolver o problema de compatibilidade entre interceptação de superfície e contenção profunda de poluição.  

2. Processamento de formas: corte a laser, laser guiado por água, escultura de precisão CNC, capaz de processar matrizes de furos circulares, quadrados, circulares e irregulares; Chanfros de borda, degraus e roscas estão disponíveis.  

3. Funcionalização de superfície:

Revestimento hidrofílico/hidrofóbico: ângulo de contato ajustável de 15° a 110°;  

Revestimento de metal/óxido: Ti, Pt, ITO, etc., com espessura de 50 nm-2 μ m.  

 

Esteja você buscando distribuição de gás em temperatura ultra-alta, filtração de pureza ultra-alta ou transportadores de quartzo funcionais microestruturados, placas de quartzo porosas de 5 a 100 mm de espessura podem fornecer uma solução personalizada 'quadridimensional' para material, espessura, estrutura de poros e limpeza, fornecendo garantias sólidas para a estabilidade do seu processo e rendimento do produto. Bem-vindo a ligar e enviar fotos, comece imediatamente a personalização exclusiva!

Luverre Quartz fabrica e vende uma ampla variedade de vidro de quartzo de alta qualidade, incluindo tubos de quartzo, placas de quartzo, hastes de quartzo, janelas de quartzo, cadinhos de quartzo, barcos de quartzo, flanges de quartzo, béqueres de quartzo, instrumentos de vidro de quartzo e muito mais. Podemos atender a todos os tipos de requisitos personalizados para produtos de vidro de quartzo.

Para mais informações, não hesite em contactar-nos.

Por que nos escolher?

1.Somos mais experientes.

Temos mais de 18 anos de experiência na produção de itens de quartzo.

2.Somos mais eficientes.

Respondemos às solicitações dos clientes dentro de 24 horas e temos produção, engenheiros e equipe de vendas de alta eficiência.

3.Nossa qualidade é mais garantida.

Controlamos a qualidade desde pedaços de quartzo até areia de quartzo e depois produtos de quartzo, temos um controle de qualidade melhor e mais rigoroso do que outros fabricantes.

4.Somos capazes de produzir produtos de quartzo mais difíceis.

Temos grandes plataformas de moagem e máquinas de gravação de precisão que nos permitem produzir grandes tamanhos de placas de quartzo, tubos e itens de quartzo de precisão de alto tamanho.