5–100 mm dick, porös Quarzplatte

Material und Struktur

Matrix: Hochreines Quarzglas der Güteklasse 4N (SiO₂ ≥ 99,99 %), Temperaturbeständigkeit von 1100 °C, extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (5,5 × 10 ⁻⁷⁷/℃), um sicherzustellen, dass beim Abschrecken keine Risse entstehen.  

Poren: Ein dreidimensionales, miteinander verbundenes mikroporöses mesoporöses Netzwerk mit Porengrößen von 5 μm bis 5 mm, die je nach Bedarf präzise gesteuert werden können, und einer Öffnungsrate von 30–70 %.  

Dicke: Normale Lagergrößen sind 5, 10, 20, 30, 50, 80 und 100 mm, während andere Dicken ohne Bestellmenge individuell angepasst werden können.  

Größe: Die maximale Nutzfläche eines einzelnen Stücks beträgt 600 mm × 600 mm; Größere Abmessungen werden durch zerstörungsfreies Laserschweißen mit einer Verbindungsfestigkeit von ≥ 85 % des Grundmaterials verbunden.  

Kernleistung

Chemische Korrosionsbeständigkeit: Der Massenverlust aller anorganischen Säuren, Basen und organischen Lösungsmittel außer Flusssäure beträgt weniger als 0,1 mg/cm ⊃2; · H.  

Gleichmäßigkeit der Atmungsaktivität: Der Druckunterschied zwischen zwei beliebigen Punkten auf demselben Board beträgt weniger als 3 % (Testbedingungen: Luftdurchsatz von 10 l/min).  

Mechanische Festigkeit: Dreipunktbiegefestigkeit ≥ 25 MPa (5 mm Dicke); ≥ 45 MPa (100 mm dick).  

Reinheitsgrad: Staubfreie Reinigung der Fabrikklasse 100 + Vakuum-Doppelschichtverpackung, Metallverunreinigungen <5 ppm, erfüllt die Prozessanforderungen der Halbleiterqualität.

Welche Schmerzpunkte sollten angegangen werden?

1. Ungleichmäßige Gasverteilung bei hohen Temperaturen: Herkömmliche Gasverteilungsplatten aus Metall oder Keramik neigen bei Temperaturen über 800 °C zu Verformung, Oxidation und Verschmutzung; Poröse Quarzplatten können lange Zeit bei 1100 °C und einer Gasverteilung von <± 3 % arbeiten.  

2. Partikelblockierung und schwierige Reinigung: Quarzhärtestufe 7, glatte Oberfläche, einfache Rückspülung oder Ultraschallreinigungsregeneration, Lebensdauer > 5000 Zyklen.  

3. Engpass bei der Dickenbegrenzung: Kommerzielle Produkte haben im Allgemeinen eine Dicke von ≤ 30 mm. Diese Serie durchbricht eine Dicke von 100 mm und kann zur Hochdruck-Differenztiefenfiltration oder großflächigen Temperaturausgleichsunterstützung eingesetzt werden.  

4. Mangelnde Sauberkeit auf Waferebene: Quarzrohstoffe in elektronischer Qualität + Reinigungsprozess auf Hundertebene, wodurch das Problem der Metallionendiffusionsverschmutzung vollständig gelöst wird.  

Typische Anwendungen

Halbleiter/LPVD: Eine 50–100 mm dicke Quarzplatte wird als gleichmäßige Diffusionsschicht im vertikalen Ofen verwendet, um sicherzustellen, dass der Strömungsgeschwindigkeitsunterschied des Prozessgases auf der Oberfläche eines 300 mm Wafers weniger als 1 % beträgt.  

Photovoltaischer Diffusionsofen: 5–10 mm dünne Platten werden zur gleichmäßigen Verteilung der POCl ∝-Quellen verwendet, wodurch die Gleichmäßigkeit des quadratischen Widerstands um mehr als 8 % verbessert wird.  

Forschung und Entwicklung von Natriumionen-/Lithiumbatterien: 20–30 mm dick, verwendet als Trägerplatte für Wirbelschichtelektroden, beständig gegen Fluoridelektrolytkorrosion, mit einer Zyklenlebensdauer von > 1000 Stunden.

Hochreine chemische Filtration: 80–100 mm Dicke für Submikron-Partikelfiltration, anfänglicher Druckabfall < 5 kPa, Filtrationseffizienz > 99,9 %.  

Optik/Laser: Maßgeschneiderte mikroporöse Verbundstruktur mit glatter Oberfläche, die als poröse Elektrode oder Diffusionskühlelement für Gaslaser verwendet wird.  

Maßgeschneiderter Service

1. Porengröße und Porengradient: Eine Gradientenporenstruktur mit einer Oberflächenschicht von 5 μm und einem Kern von 2 mm wird auf derselben Platte implementiert, um das Kompatibilitätsproblem zwischen Oberflächenabfang und Eindämmung der Tiefenverschmutzung zu lösen.  

2. Formbearbeitung: Laserschneiden, wassergeführter Laser, CNC-Präzisionsschnitzerei, in der Lage, kreisförmige, quadratische, kreisförmige und unregelmäßige Lochanordnungen zu bearbeiten; Kantenfasen, Stufen und Gewinde sind verfügbar.  

3. Oberflächenfunktionalisierung:

Hydrophile/hydrophobe Beschichtung: Kontaktwinkel einstellbar von 15 ° bis 110 °;  

Metall-/Oxidbeschichtung: Ti, Pt, ITO usw. mit einer Dicke von 50 nm bis 2 μm.  

 

Unabhängig davon, ob Sie eine Gasverteilung bei ultrahohen Temperaturen, eine Filtration mit ultrahoher Reinheit oder mikrostrukturierte funktionelle Quarzträger wünschen, können poröse Quarzplatten mit einer Dicke von 5 bis 100 mm eine „vierdimensionale“ maßgeschneiderte Lösung für Material, Dicke, Porenstruktur und Sauberkeit bieten und solide Garantien für Ihre Prozessstabilität und Produktausbeute bieten. Willkommen zum Anrufen und Senden von Bildern. Beginnen Sie sofort mit der exklusiven Anpassung!

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzschiffchen, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.

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