Пористый толщиной 5-100 мм кварцевая пластина

Материал и структура

Матрица: плавленый кварц высокой чистоты марки 4Н (SiO ₂ ≥ 99,99%), термостойкость 1100 ℃, чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения (5,5 × 10 ⁻⁷⁷/℃), обеспечивающий отсутствие растрескивания при закалке.  

Поры: трехмерная взаимосвязанная микропористая мезопористая сеть с размерами пор от 5 мкм до 5 мм, которые можно точно контролировать по мере необходимости, и степенью открытия 30–70%.  

Толщина: стандартные размеры запасов составляют 5, 10, 20, 30, 50, 80 и 100 мм, в то время как другие толщины могут быть настроены при нулевом количестве заказа.  

Размер: Максимальная эффективная площадь одной детали — 600×600 мм; соединения больших размеров выполняются неразрушающей лазерной сваркой с прочностью соединения ≥ 85 % основного материала.  

Основная производительность

Химическая коррозионная стойкость: потеря массы всех неорганических кислот, оснований и органических растворителей, кроме плавиковой кислоты, составляет менее 0,1 мг/см ⊃2; · х.  

Равномерность воздухопроницаемости: разница давления между любыми двумя точками на одной доске составляет менее 3% (условия испытаний: скорость потока воздуха 10 л/мин).  

Механическая прочность: устойчивость к трехточечному изгибу ≥ 25 МПа (толщина 5 мм); ≥ 45 МПа (толщина 100 мм).  

Уровень чистоты: Заводской класс 100, беспыльная очистка + двухслойная вакуумная упаковка, металлические примеси <5 частей на миллион, соответствует технологическим требованиям полупроводникового класса.

Какие болевые точки следует устранить

1. Неравномерное распределение газа при высокой температуре: традиционные металлические или керамические газораспределительные пластины склонны к деформации, окислению и загрязнению при температуре выше 800 ℃; Пластины из пористого кварца могут длительное время работать при температуре 1100 ℃ с газораспределением <± 3%.  

2. Засорение частицами и трудная очистка: уровень твердости кварца 7, гладкая поверхность, легко поддается обратной промывке или регенерации ультразвуковой очисткой, срок службы> 5000 циклов.  

3. Узкое место, связанное с ограничением толщины: коммерческие продукты обычно имеют толщину ≤ 30 мм. Эта серия имеет толщину 100 мм и может использоваться для глубокой фильтрации при перепаде высокого давления или для крупномасштабного выравнивания температуры.  

4. Отсутствие чистоты на уровне пластин: кварцевое сырье электронного класса + стоуровневый процесс очистки, полностью решающий проблему диффузионного загрязнения ионами металлов.  

Типичные применения

Полупроводники/LPVD: кварцевая пластина толщиной 50–100 мм используется в качестве однородного диффузионного слоя в вертикальной печи, чтобы гарантировать, что разница скоростей потока технологического газа на поверхности пластины диаметром 300 мм составляет менее 1%.  

Фотогальваническая диффузионная печь: тонкие пластины толщиной 5–10 мм используются для равномерного распределения источников POCl ∝, улучшая однородность квадратного сопротивления более чем на 8%.  

Исследования и разработки ионно-натриевых/литиевых батарей: толщина 20-30 мм используется в качестве опорной пластины для электродов в псевдоожиженном слое, устойчива к коррозии фторидным электролитом, со сроком службы> 1000 часов.

Химическая фильтрация высокой чистоты: толщина 80-100 мм для фильтрации субмикронных частиц, начальный перепад давления <5 кПа, эффективность фильтрации> 99,9%.  

Оптика/лазер: Индивидуальная микропористая композитная структура с гладкой поверхностью, используемая в качестве пористого электрода или диффузионного охлаждающего элемента для газовых лазеров.  

Индивидуальный сервис

1. Размер пор и градиент пор. Градиентная пористая структура: поверхностный слой 5 мкм + сердцевина 2 мм реализована на одной пластине для решения проблемы совместимости между поверхностным перехватом и глубоким сдерживанием загрязнений.  

2. Обработка формы: лазерная резка, лазер с водным управлением, прецизионная резьба с ЧПУ, возможность обработки круглых, квадратных, круглых и нерегулярных массивов отверстий; Доступны кромочные фаски, ступеньки и резьба.  

3. Функционализация поверхности:

Гидрофильное/гидрофобное покрытие: угол контакта регулируется от 15° до 110°;  

Металлооксидное покрытие: Ti, Pt, ITO и др. толщиной 50 нм-2 мкм.  

 

Независимо от того, ищете ли вы сверхвысокотемпературное газораспределение, фильтрацию сверхвысокой чистоты или микроструктурированные функциональные кварцевые носители, пористые кварцевые пластины толщиной 5–100 мм могут предоставить «четырехмерное» индивидуальное решение по материалу, толщине, пористой структуре и чистоте, обеспечивая надежные гарантии стабильности вашего процесса и выхода продукта. Добро пожаловать, звоните и присылайте фотографии, немедленно начните эксклюзивную настройку!

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Почему выбирают нас?

1. Мы более опытны.

У нас более 18 лет опыта производства кварцевых изделий.

2. Мы более эффективны.

Мы отвечаем на запросы клиентов в течение 24 часов и имеем высокоэффективное производство, инженеров и команду продаж.

3. Наше качество более гарантировано.

Мы контролируем качество от кварцевых кусков до кварцевого песка и затем кварцевых изделий, у нас лучший и более строгий контроль качества, чем у других производителей.

4. Мы можем производить более сложные кварцевые изделия.

У нас есть большие шлифовальные платформы и прецизионные травильные станки, которые позволяют нам производить кварцевые пластины, трубки и прецизионные кварцевые изделия больших размеров.