Plaque de quartz de haute précision avec centre fendu

Dans les domaines de la lithographie des semi-conducteurs, de la mesure optique de précision et du conditionnement des puces microfluidiques, la planéité, la précision de la position des fentes et la pureté du matériau du substrat déterminent directement le succès ou l'échec du processus. UN une plaque de quartz de haute précision est fendue au milieu, utilisant du quartz de haute pureté comme base. Grâce à l'usinage CNC et aux processus de recuit de précision, des rainures/rainures borgnes rectangulaires, circulaires ou irrégulières de taille micrométrique sont obtenues au centre de la plaque. Il combine la transparence élevée, la faible expansion, la résistance aux températures élevées et les propriétés d'isolation du quartz, offrant une plate-forme idéale pour le positionnement précis des composants, l'alignement du chemin optique et l'étanchéité aux fluides avec « zéro déformation et aucune pollution ».

FAQ : questions fréquemment posées pour les utilisateurs

Q1 : Quelle est la précision dimensionnelle du rainurage ?

R : Nous utilisons un centre d'usinage CNC à cinq axes et une technologie de découpe assistée par laser, avec une tolérance de largeur de rainure contrôlée à ± 0,02 mm, une tolérance de profondeur de rainure à ± 0,01 mm et un écart de position ne dépassant pas ± 0,03 mm, répondant aux exigences strictes d'assemblage de précision et d'alignement optique.

Q2 : La plaque fendue est-elle sujette à des contraintes ou à des déformations internes ?

R : Tous les produits subissent un traitement de recuit par gradient (jusqu'à 1 200 ℃) après un traitement grossier pour éliminer complètement les contraintes mécaniques. La planéité de la plaque peut être stabilisée à 0,05 mm/m près, et même lorsqu'elle est utilisée dans des environnements chauds au-dessus de 200 ℃, le taux de changement de la taille de la fente est inférieur à 0,01 %.

Q3 : Les rainures asymétriques ou les rainures étagées peuvent-elles être traitées ?

R : Entièrement pris en charge. Nous pouvons personnaliser les fentes rectangulaires, les fentes en forme de U, les fentes en queue d'aronde, les fentes traversantes/borgnes, les fentes étagées et les fentes irrégulières combinées, et fournir un traitement supplémentaire tel que le chanfreinage, le polissage du fond ou les trous filetés pour répondre à des besoins spéciaux tels que l'emballage des puces et la fixation des réseaux de fibres.

Valeur fondamentale du produit : relever les trois défis majeurs pour les utilisateurs

1. Résolvez le problème du « positionnement inexact des composants de précision »  - avec une précision de fente au niveau micrométrique, assurez-vous que les puces, les composants optiques ou les capteurs sont toujours dans la position de conception pendant le cycle thermique et évitez les défaillances de décalage.

2. Résoudre le problème de la « déformation du matériau affectant les chemins optiques/flux » – quartz de haute pureté avec un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible + recuit de précision, assurant la stabilité à long terme de la taille et de la planéité des rainures sous des fluctuations de température ou dans des environnements sous vide.

3. Réduire le risque de « pollution et d'isolation insuffisante » - Le quartz est un isolant naturel sans précipitation d'ions métalliques, adapté aux scénarios de haute propreté tels que les processus frontaux de semi-conducteurs et les tests biomédicaux.

Avantages du produit et valeur de l'application

1、 Capacité d'usinage de précision pour répondre aux besoins de fabrication haut de gamme

-Précision de la fente au niveau du micron : équipé d'un système de positionnement optique de haute précision, la position, la taille et la verticalité de la fente sont entièrement détectées en ligne pour garantir la cohérence des produits par lots.

-Moulage intégré à rainure complexe : plusieurs positions de rainure indépendantes, des rainures étagées ou une structure combinée de rainures traversantes et de trous de positionnement peuvent être obtenues sur une seule plaque, réduisant ainsi le nombre de pièces d'assemblage et améliorant l'intégration du système.

-Traitement de surface diversifié : la rainure peut fournir une surface dépolie (amélioration de l'adhérence), un polissage miroir (réduction de la diffusion de la lumière) ou un traitement de revêtement pour répondre à différentes exigences fonctionnelles.

2、 Les avantages de la performance des matériaux garantissent une fiabilité à long terme

-Stabilité thermique : convient aux processus extrêmes tels que le durcissement à haute température et les tests à basse température, avec une plage de température de -200 ℃ à 1 100 ℃.

-Caractéristiques optiques : Haute transparence dans la plage de longueurs d'onde ultraviolette à infrarouge, la zone fendue peut être directement utilisée comme fenêtre optique pour éviter les erreurs introduites par l'assemblage secondaire.

-Inertie chimique : résistant aux acides et solvants forts, réutilisable après nettoyage, réduisant les coûts d'exploitation à long terme.

3、 Service de personnalisation ultime, couvrant la recherche et le développement jusqu'à la production de masse

-Gamme de tailles : Longueur 50 mm à 1200 mm, Largeur 50 mm à 800 mm, Épaisseur 2 mm à 50 mm.

-Formes de fentes : fente unique, fente matricielle, fente croisée, fente annulaire, fente fraisée, etc., conçues selon les besoins.

Scénarios d'application typiques et cas clients

Scénarios d'application

-Équipements semi-conducteurs : support de plaquette, substrat de positionnement de masque de photolithographie

-Emballage optoélectronique : base de couplage de réseau laser, dispositif d'alignement de réseau de fibres

-Biopuces : Plaques de réaction microfluidiques, plateformes d'observation de cultures cellulaires

-Instruments de précision : cellule d'échantillonnage du spectromètre, plaque de positionnement à l'intérieur de la chambre à vide

Cas : Projet « Substrat de couplage de moteur optique 400G » d'un fabricant de modules optiques leader mondial

Défi : Le client doit traiter 8 jeux de fentes rectangulaires de précision espacées de 5 mm sur une plaque de quartz de 120 mm × 60 mm × 8 mm pour la fixation des puces laser et des réseaux de lentilles. La tolérance de largeur de rainure doit être de ± 0,01 mm, la planéité du fond de rainure est de 0,01 mm et le déplacement de la rainure après le brasage par refusion à 260 ℃ ne doit pas dépasser 2 microns. Auparavant, l'utilisation de substrats céramiques entraînait une diminution de l'efficacité du couplage en raison de coefficients de dilatation thermique incompatibles.

Solution : Nous utilisons des ébauches de quartz de haute pureté à faible teneur en hydroxyle, effectuons d'abord un meulage double face jusqu'à une planéité de 0,01 mm, puis fraisons les fentes une par une avec un centre d'usinage à cinq axes, et enfin effectuons un recuit de gradient de 72 heures. Chaque ensemble de fentes est entièrement inspecté par un système d'imagerie et un rapport de coordonnées est émis.

Effet : Après la livraison du produit, l'efficacité de couplage du moteur optique du client a augmenté de 12 % et le taux de réussite après brasage par refusion est passé de 89 % à 98,5 %. Cette solution a été adoptée comme conception de substrat standard pour la nouvelle génération de modules optiques 800G et a permis d'atteindre un approvisionnement cumulé de plus de 3 000 pièces.

Votre assemblage de précision ou votre alignement optique est-il limité par une précision insuffisante du substrat ? Nous fournissons des services complets de personnalisation des processus, des dessins aux produits finis, garantissant que chaque fente est précise au micromètre près. Contactez-nous immédiatement pour obtenir votre solution technique exclusive et votre devis pour « plaque de quartz de haute précision avec fente centrale ».

Luverre Quartz fabrique et vend une large gamme de verre de quartz fondu de haute qualité, notamment des tubes de quartz fondu, des plaques de quartz fondu, des tiges de quartz fondu, des fenêtres en quartz fondu, des creusets en quartz fondu, des bateaux en quartz fondu, des brides en quartz fondu, des béchers en quartz fondu, des instruments en verre de quartz fondu, et plus encore. Nous pouvons répondre à toutes sortes d’exigences personnalisées pour les produits en verre de quartz fondu.

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