Hochpräzise Quarzplatte mit geschlitzter Mitte

In den Bereichen Halbleiterlithographie, optische Präzisionsmessung und mikrofluidische Chipverpackung bestimmen die Ebenheit, die Genauigkeit der Schlitzposition und die Materialreinheit des Substrats direkt den Erfolg oder Misserfolg des Prozesses. A Die hochpräzise Quarzplatte ist in der Mitte geschlitzt und dient als Basis aus hochreinem Quarz. Durch CNC-Bearbeitung und Präzisionsglühprozesse werden in der Mitte der Platte mikrometergroße rechteckige, kreisförmige oder unregelmäßige Rillen/Sackrillen erzielt. Es kombiniert die hohe Transparenz, geringe Ausdehnung, hohe Temperaturbeständigkeit und Isolationseigenschaften von Quarz und bietet eine ideale Plattform für die präzise Positionierung von Komponenten, die Ausrichtung des optischen Pfads und die Flüssigkeitsabdichtung „ohne Verformung und ohne Verschmutzung“.

FAQ: Häufig gestellte Fragen für Benutzer

F1: Wie hoch ist die Maßgenauigkeit beim Schlitzen?

A: Wir verwenden ein Fünf-Achsen-CNC-Bearbeitungszentrum und eine lasergestützte Schneidtechnologie mit einer Nutbreitentoleranz von ± 0,02 mm, einer Nuttiefentoleranz von ± 0,01 mm und einer Positionsabweichung von nicht mehr als ± 0,03 mm, wodurch die strengen Anforderungen an Präzisionsmontage und optische Ausrichtung erfüllt werden.

F2: Ist die Schlitzplatte anfällig für innere Spannungen oder Verformungen?

A: Alle Produkte werden nach der Grobbearbeitung einer Gradientenglühbehandlung (bis zu 1200 °C) unterzogen, um mechanische Spannungen vollständig zu beseitigen. Die Ebenheit der Platte kann innerhalb von 0,05 mm/m stabilisiert werden, und selbst bei Verwendung in heißen Umgebungen über 200 °C beträgt die Änderungsrate der Schlitzgröße weniger als 0,01 %.

F3: Können asymmetrische Nuten oder Stufennuten verarbeitet werden?

A: Vollständig unterstützt. Wir können rechteckige Schlitze, U-förmige Schlitze, Schwalbenschwanzschlitze, durchgehende/blinde Schlitze, abgestufte Schlitze und kombinierte unregelmäßige Schlitze anpassen und zusätzliche Bearbeitungen wie Anfasen, Bodenpolieren oder Gewindelöcher anbieten, um spezielle Anforderungen wie Chip-Packung und Faserarray-Fixierung zu erfüllen.

Kernwert des Produkts: Bewältigung der drei größten Herausforderungen für Benutzer

1. Lösen Sie das Problem der „ungenauen Positionierung von Präzisionskomponenten“ – stellen Sie mit Schlitzgenauigkeit im Mikrometerbereich sicher, dass sich Chips, optische Komponenten oder Sensoren während des Temperaturwechsels immer in der Designposition befinden, und verhindern Sie Versatzfehler.

2. Lösen Sie das Problem der „Materialverformung, die sich auf optische Pfade/Strömungspfade auswirkt“ – hochreines Quarz mit extrem niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten + Präzisionsglühen, das eine langfristige Stabilität der Rillengröße und Ebenheit bei Temperaturschwankungen oder Vakuumumgebungen gewährleistet.

3. Bewältigung des Risikos von „Verschmutzung und unzureichender Isolierung“ – Quarz ist ein natürlicher Isolator ohne Metallionenausfällung und eignet sich für Szenarien mit hoher Reinheit wie Halbleiter-Front-End-Prozesse und biomedizinische Tests.

Produktvorteile und Anwendungswert

1、 Präzisionsbearbeitungsfähigkeit zur Erfüllung hochwertiger Fertigungsanforderungen

-Schlitzgenauigkeit im Mikrometerbereich: Ausgestattet mit einem hochpräzisen optischen Positionierungssystem werden die Schlitzposition, -größe und -vertikalität vollständig online erkannt, um die Konsistenz der Chargenprodukte sicherzustellen.

-Komplexes, in Nuten integriertes Formen: Mehrere unabhängige Nutpositionen, Stufennuten oder eine Kombinationsstruktur aus Durchgangsnuten und Positionierungslöchern können auf einer einzigen Platte erreicht werden, wodurch die Anzahl der Montageteile reduziert und die Systemintegration verbessert wird.

-Vielfältige Oberflächenbehandlung: Die Nut kann eine mattierte Oberfläche (verbessert die Haftung), eine Spiegelpolitur (Reduzierung der Lichtstreuung) oder eine Beschichtungsbehandlung bieten, um unterschiedlichen Funktionsanforderungen gerecht zu werden.

2、 Materialleistungsvorteile sorgen für langfristige Zuverlässigkeit

-Thermische Stabilität: geeignet für extreme Prozesse wie Hochtemperaturhärtung und Niedertemperaturprüfung, mit einem Temperaturbereich von -200 ℃ bis 1100 ℃.

-Optische Eigenschaften: Hohe Transparenz im ultravioletten bis infraroten Wellenlängenbereich, der geschlitzte Bereich kann direkt als optisches Fenster verwendet werden, um Fehler durch Sekundärmontage zu vermeiden.

-Chemische Inertheit: beständig gegen starke Säuren und Lösungsmittel, nach der Reinigung wiederverwendbar, wodurch die langfristigen Betriebskosten gesenkt werden.

3、 Ultimativer Anpassungsservice, der Forschung und Entwicklung bis hin zur Massenproduktion umfasst

-Größenbereich: Länge 50 mm bis 1200 mm, Breite 50 mm bis 800 mm, Dicke 2 mm bis 50 mm.

-Slot-Formen: Einzel-Slot, Array-Slot, Kreuz-Slot, Ring-Slot, Senk-Slot usw., je nach Bedarf gestaltet.

Typische Anwendungsszenarien und Kundenfälle

Anwendungsszenarien

-Halbleiterausrüstung: Wafer-Träger, Photolithographie-Maskenpositionierungssubstrat

-Optoelektronische Verpackung: Laser-Array-Kopplungsbasis, Faser-Array-Ausrichtungshalterung

-Biochips: Mikrofluidische Reaktionsplatten, Beobachtungsplattformen für Zellkulturen

-Präzisionsinstrumente: Spektrometer-Probenzelle, Positionierungsplatte in der Vakuumkammer

Fall: Das Projekt „400G Optical Engine Coupling Substrate“ eines weltweit führenden Herstellers optischer Module

Herausforderung: Der Kunde muss 8 Sätze präziser rechteckiger Schlitze im Abstand von 5 mm auf einer 120 mm × 60 mm × 8 mm großen Quarzplatte zur Befestigung von Laserchips und Linsenarrays bearbeiten. Die Toleranz der Nutbreite muss ± 0,01 mm betragen, die Ebenheit des Nutbodens beträgt 0,01 mm und die Nutverschiebung nach dem Reflow-Löten bei 260 °C sollte 2 Mikrometer nicht überschreiten. Bisher führte die Verwendung von Keramiksubstraten aufgrund nicht übereinstimmender Wärmeausdehnungskoeffizienten zu einer Verringerung der Kopplungseffizienz.

Lösung: Wir verwenden hochreine Quarzrohlinge mit niedrigem Hydroxylgehalt, führen zunächst ein doppelseitiges Schleifen auf eine Ebenheit von 0,01 mm durch, fräsen dann die Schlitze nacheinander mit einem Fünf-Achsen-Bearbeitungszentrum und führen schließlich ein 72-stündiges Gradientenglühen durch. Jeder Schlitzsatz wird von einem Bildgebungssystem vollständig inspiziert und es wird ein Koordinatenbericht erstellt.

Wirkung: Nach der Produktauslieferung stieg die Kopplungseffizienz der optischen Engine des Kunden um 12 % und die Erfolgsquote nach dem Reflow-Löten stieg von 89 % auf 98,5 %. Diese Lösung wurde als Standardsubstratdesign für die neue Generation optischer 800G-Module übernommen und hat eine Gesamtlieferung von über 3000 Stück erreicht.

Ist Ihre Präzisionsmontage oder optische Ausrichtung durch eine unzureichende Substratgenauigkeit eingeschränkt? Wir bieten umfassende Prozessanpassungsdienste von der Zeichnung bis zum fertigen Produkt und stellen sicher, dass jeder Schlitz auf den Mikrometer genau ist. Kontaktieren Sie uns umgehend, um Ihre exklusive technische Lösung und Ihr Angebot für „Hochpräzise Quarzplatte mit Mittelschlitz“ zu erhalten.

Luverre Quartz produziert und vertreibt ein breites Sortiment an hochwertigem Quarzglas, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzglasfenster, Quarztiegel, Quarzschiffchen, Quarzglasflansche, Quarzglasbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.

Für weitere Informationen können Sie uns gerne kontaktieren.