Placa de quartzo de alta precisão com fenda central

Nas áreas de litografia de semicondutores, medição óptica de precisão e empacotamento de chips microfluídicos, o nivelamento, a precisão da posição do slot e a pureza do material do substrato determinam diretamente o sucesso ou o fracasso do processo. UM a placa de quartzo de alta precisão é ranhurada no meio, usando quartzo de alta pureza como base. Através de processos de usinagem CNC e recozimento de precisão, ranhuras/ranhuras cegas retangulares, circulares ou irregulares de tamanho micrométrico são obtidas no centro da placa. Ele combina alta transparência, baixa expansão, resistência a altas temperaturas e propriedades de isolamento do quartzo, fornecendo uma plataforma ideal para posicionamento preciso de componentes, alinhamento de caminho óptico e vedação de fluidos com 'deformação zero e sem poluição'.

FAQ: Perguntas frequentes para usuários

Q1: Qual é a precisão dimensional da ranhura?

R: Usamos um centro de usinagem CNC de cinco eixos e tecnologia de corte assistido a laser, com tolerância de largura de ranhura controlada dentro de ± 0,02 mm, tolerância de profundidade de ranhura dentro de ± 0,01 mm e desvio de posição não superior a ± 0,03 mm, atendendo aos rigorosos requisitos de montagem de precisão e alinhamento óptico.

Q2: A placa com fenda está sujeita a tensões ou deformações internas?

R: Todos os produtos passam por tratamento de recozimento gradiente (até 1200 ℃) após processamento bruto para eliminar completamente o estresse mecânico. O nivelamento da placa pode ser estabilizado em 0,05 mm/m, e mesmo quando usada em ambientes quentes acima de 200 ℃, a taxa de alteração no tamanho da ranhura é inferior a 0,01%.

Q3: A ranhura assimétrica ou a ranhura escalonada podem ser processadas?

R: Totalmente suportado. Podemos personalizar ranhuras retangulares, ranhuras em forma de U, ranhuras em cauda de andorinha, ranhuras passantes/cegas, ranhuras escalonadas e ranhuras irregulares combinadas, e fornecer processamento adicional, como chanfro, polimento inferior ou orifícios roscados para atender a necessidades especiais, como embalagem de chips e fixação de matriz de fibra.

Valor central do produto: abordando os três principais desafios para os usuários

1. Resolva o problema de 'posicionamento impreciso de componentes de precisão' - com precisão de ranhura de nível micrométrico, garanta que chips, componentes ópticos ou sensores estejam sempre na posição de projeto durante o ciclo térmico e evite falhas de deslocamento.

2. Resolva o problema de 'deformação do material que afeta caminhos ópticos/de fluxo' - quartzo de alta pureza com coeficiente de expansão térmica extremamente baixo + recozimento de precisão, garantindo estabilidade a longo prazo do tamanho da ranhura e planicidade sob flutuações de temperatura ou ambientes de vácuo.

3. Abordar o risco de 'poluição e isolamento insuficiente' - O quartzo é um isolante natural sem precipitação de íons metálicos, adequado para cenários de alta limpeza, como processos front-end de semicondutores e testes biomédicos.

Vantagens do produto e valor da aplicação

1、 Capacidade de usinagem de precisão para atender às necessidades de fabricação de ponta

-Precisão do slot em nível de mícron: Equipado com um sistema de posicionamento óptico de alta precisão, a posição, o tamanho e a verticalidade do slot são detectados totalmente on-line para garantir a consistência dos produtos em lote.

-Moldagem integrada de ranhura complexa: Múltiplas posições de ranhura independentes, ranhuras escalonadas ou uma estrutura combinada de ranhuras passantes e orifícios de posicionamento podem ser alcançadas em uma única placa, reduzindo o número de peças de montagem e melhorando a integração do sistema.

-Tratamento de superfície diversificado: A ranhura pode fornecer superfície fosca (aumentando a adesão), polimento espelhado (reduzindo a dispersão da luz) ou tratamento de revestimento para atender a diferentes requisitos funcionais.

2. As vantagens de desempenho do material garantem confiabilidade a longo prazo

-Estabilidade térmica: adequada para processos extremos, como cura em alta temperatura e testes em baixa temperatura, com faixa de temperatura de -200 ℃ a 1100 ℃.

-Características ópticas: Alta transparência na faixa de comprimento de onda ultravioleta a infravermelho, a área com fenda pode ser usada diretamente como janela óptica para evitar erros introduzidos pela montagem secundária.

-Inércia química: resistente a ácidos e solventes fortes, reutilizável após a limpeza, reduzindo custos operacionais a longo prazo.

3、 Serviço de personalização final, abrangendo pesquisa e desenvolvimento até produção em massa

-Faixa de tamanho: comprimento 50 mm a 1200 mm, largura 50 mm a 800 mm, espessura 2 mm a 50 mm.

-Formulários de slot: slot único, slot de matriz, slot cruzado, slot anular, slot escareado, etc., projetados conforme necessário.

Cenários típicos de aplicação e casos de clientes

Cenários de aplicação

-Equipamento semicondutor: transportador de wafer, substrato de posicionamento de máscara de fotolitografia

-Embalagem optoeletrônica: base de acoplamento de conjunto de laser, dispositivo de alinhamento de conjunto de fibra

-Biochips: placas de reação microfluídica, plataformas de observação de cultura celular

-Instrumentos de precisão: célula de amostra do espectrômetro, placa de posicionamento dentro da câmara de vácuo

Caso: Projeto '400G Optical Engine Coupling Substrate' de um fabricante líder mundial de módulos ópticos

Desafio: O cliente precisa processar 8 conjuntos de slots retangulares de precisão espaçados de 5 mm em uma placa de quartzo de 120 mm × 60 mm × 8 mm para fixar chips de laser e conjuntos de lentes. A tolerância da largura da ranhura deve ser de ± 0,01 mm, o nivelamento do fundo da ranhura é de 0,01 mm e o deslocamento da ranhura após a soldagem por refluxo a 260 ℃ não deve exceder 2 mícrons. Anteriormente, o uso de substratos cerâmicos resultava em uma diminuição na eficiência do acoplamento devido a coeficientes de expansão térmica incompatíveis.

Solução: Usamos blanks de quartzo de alta pureza com baixo teor de hidroxila, primeiro realizamos retificação dupla-face até um nivelamento de 0,01 mm, depois fresamos as ranhuras uma por uma com um centro de usinagem de cinco eixos e, finalmente, realizamos um recozimento gradiente de 72 horas. Cada conjunto de slots é totalmente inspecionado por um sistema de imagem e um relatório de coordenadas é emitido.

Efeito: Após a entrega do produto, a eficiência de acoplamento do motor óptico do cliente aumentou 12% e a taxa de aprovação após a soldagem por refluxo aumentou de 89% para 98,5%. Esta solução foi adotada como design de substrato padrão para a nova geração de módulos ópticos 800G e alcançou um fornecimento cumulativo de mais de 3.000 peças.

A sua montagem de precisão ou alinhamento óptico é limitado pela precisão insuficiente do substrato? Fornecemos serviços completos de personalização de processos, desde desenhos até produtos acabados, garantindo que cada slot seja preciso ao micrômetro. Contate-nos imediatamente para obter sua solução técnica exclusiva e cotação para 'placa de quartzo de alta precisão com ranhura intermediária'.

Luverre Quartz fabrica e vende uma ampla variedade de vidro de quartzo fundido de alta qualidade, incluindo tubos de quartzo fundido, placas de quartzo fundido, hastes de quartzo fundido, janelas de quartzo fundido, cadinhos de quartzo fundido, barcos de quartzo fundido, flanges de quartzo fundido, béqueres de quartzo fundido, instrumentos de vidro de quartzo fundido e muito mais. Podemos atender a todos os tipos de requisitos personalizados para produtos de vidro de quartzo fundido.

Para mais informações, não hesite em contactar-nos.