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Tubo de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma
El tubo de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma es un material clave utilizado específicamente en los procesos de fabricación de semiconductores, principalmente para la protección de los componentes del equipo en entornos de plasma.
Interior con bolsa de PVC de vacío y luego envuelto con película de burbujas de aire, exterior con caja de madera.
Tubo de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma
El tubo de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma es un material clave utilizado específicamente en los procesos de fabricación de semiconductores, principalmente para la protección de los componentes del equipo en entornos de plasma. Por lo general, está hecho de vidrio de cuarzo de alta pureza y sufre procesos especiales de tratamiento de superficie o recubrimiento para mejorar su resistencia y estabilidad de corrosión en los entornos de plasma.
Característica
-La vaso de cuarzo de alta pureza: hecho de dióxido de silicio de alta pureza (SIO ₂) como materia prima, tiene una excelente estabilidad química y un bajo contenido de impureza, lo que garantiza el rendimiento en ambientes de alta temperatura y alta vacío.
-Anti Erosión en plasma: mediante el uso de técnicas especiales de recubrimiento o tratamiento de superficie, como el recubrimiento de nanodiamantes, el recubrimiento de cerámica o el recubrimiento de fluoruro, la capacidad de erosión anti plasma de los tubos de cuarzo mejora significativamente.
-Sciente resistencia a la temperatura: capaz de operar estable en entornos de alta temperatura que van desde 1000 ℃ a 1600 ℃, cumpliendo con los requisitos de los procesos de fabricación de semiconductores.
-Low coeficiente de expansión térmica: el coeficiente de expansión térmica del vidrio de cuarzo es extremadamente bajo, lo que puede mantener la estabilidad dimensional y reducir el estrés térmico cuando cambia la temperatura.
-Antigua transparencia: tiene buena transparencia a la luz ultravioleta y visible, y es adecuada para procesos como fotolitografía y reacciones fotoquímicas.
Solicitud
Los tubos de cuarzo de semiconductores de erosión anti plasma tienen una amplia gama de aplicaciones en el campo de la fabricación de semiconductores, principalmente incluyendo los siguientes aspectos:
1. Equipo de grabado de plasma
-Enquilar componentes de la cámara: se utiliza para proteger los componentes clave dentro de la cámara de grabado, como electrodos, placas de distribución de gas y paredes de la cámara de reacción, para evitar la erosión plasmática de los materiales de cuarzo.
-Enquilar máscara y fotomástica: durante el proceso de fotolitografía, los tubos de cuarzo se pueden usar para proteger la fotomástica del daño por plasma.
2. Equipo de deposición de vapor químico (CVD)
-La Cámara de deposición: durante el plasma mejorado de la deposición de vapor químico (PECVD) y los procesos de deposición de vapor químico de baja presión (LPCVD), se pueden utilizar tubos de cuarzo para proteger la cámara de deposición, asegurando la estabilidad y la uniformidad del proceso de deposición.
-Los de transporte de gases de transporte: se utiliza para transportar gases de reacción para evitar la contaminación o la reacción con los materiales de la cámara durante el transporte.
3. Equipo de litografía
-UV Componentes transparentes: la alta transparencia de los tubos de cuarzo los hace adecuados para componentes transparentes UV en equipos de litografía, como lentes, máscaras y tuberías de luz.
-Proteo de la máscara de fotolitografía: durante el proceso de litografía, los tubos de cuarzo se pueden usar para proteger la máscara de litografía y evitar el daño por plasma en la máscara.
4. Equipo de limpieza de semiconductores
-La limpieza de componentes de la cámara: durante la limpieza de plasma, se pueden usar tubos de cuarzo para proteger los componentes clave dentro de la cámara de limpieza y evitar que el plasma corroe los materiales de cuarzo.
-La limpieza del sistema de distribución de gases: se utiliza para transportar gas de limpieza para garantizar la eficiencia y la uniformidad del proceso de limpieza.
5. Equipos de investigación y experimentales
-Entensación experimental del plasma: en la investigación y experimentos de física en plasma, se pueden usar tubos de cuarzo para construir cámaras de reacción en plasma y proteger el equipo experimental de la erosión plasmática.
-La síntesis y procesamiento materiales: durante la síntesis y procesamiento del material, se pueden usar tubos de cuarzo para proteger los vasos de reacción y los elementos de calentamiento, asegurando la estabilidad y la seguridad de los experimentos.
Descripción personalizada
Los tubos de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma se pueden personalizar de acuerdo con las necesidades específicas de los usuarios. Las siguientes son algunas opciones de personalización comunes:
1. Tamaño y forma
-Engente y diámetros externos: los tubos de cuarzo con diferentes diámetros internos y externos se pueden personalizar de acuerdo con las necesidades del usuario. El rango de diámetro interno generalmente es de unos pocos milímetros a decenas de centímetros, mientras que el diámetro exterior se determina de acuerdo con aplicaciones específicas.
-Elcenecimiento: los tubos de cuarzo de diferentes longitudes se pueden personalizar de acuerdo con el tamaño del equipo y los requisitos del proceso, que generalmente van desde unos pocos centímetros hasta unos pocos metros de longitud.
-Apena: además de los tubos cilíndricos estándar, los tubos de cuarzo de forma especial, como tubos cónicos, tubos curvos o tubos de diámetro variable de múltiples etapas, también se pueden personalizar para cumplir con los requisitos de proceso complejos.
2. Recubrimiento y tratamiento de superficie
-Anti Plasma Coating: se pueden seleccionar varios recubrimientos anti -plasma, como el recubrimiento de nanodiamantes, el recubrimiento cerámico o el recubrimiento de fluoruro, para mejorar la resistencia a la corrosión y la resistencia a la erosión de los tubos de cuarzo.
-La superficie de superficie: las superficies internas y externas pueden someterse a un tratamiento de pulido de alta precisión para reducir los defectos superficiales y las impurezas residuales, y mejorar el rendimiento óptico y la estabilidad química de los tubos de cuarzo.
-Anti Reflection Coating: en aplicaciones que requieren alta transparencia óptica, se puede aplicar un recubrimiento contra la reflexión a la superficie de los tubos de cuarzo para reducir la pérdida de reflexión de la luz.
3. Control de pureza e impureza
-La vaso de cuarzo de alta pureza: proporciona tubos de vidrio de cuarzo de alta pureza con contenido de impureza extremadamente bajo, asegurando requisitos de alta pureza en el proceso de fabricación de semiconductores.
-Control de impurezas específicas: el contenido de impurezas específicas (como iones de hidróxido, iones metálicos, etc.) puede controlarse de acuerdo con el usuario debe cumplir con los requisitos de procesos específicos.
4. Alta resistencia a la temperatura y resistencia a la corrosión
-La optimización de rendimiento de alta temperatura: mediante el uso de procesos de fabricación especiales, la alta resistencia a la temperatura de los tubos de cuarzo se mejora para garantizar su estabilidad en entornos de plasma de alta temperatura.
-La resistencia a la corrosión: el vidrio de cuarzo en sí tiene una buena estabilidad química, pero su resistencia a la corrosión puede optimizarse aún más según las necesidades del usuario para hacer frente a entornos como ácidos fuertes, bases fuertes o solventes orgánicos.
5. Requisitos especiales
-La empaquetado personalizado: proporcione soluciones de empaque y transporte personalizadas de acuerdo con las necesidades del usuario para garantizar la seguridad de los tubos de cuarzo durante el transporte.
-Certificación de calidad: podemos proporcionar una certificación de calidad que cumpla con los estándares internacionales (como ISO 9001) para garantizar la calidad y la consistencia de nuestros productos.
-Customizados Pruebas: Proporcione servicios de prueba personalizados basados en las necesidades del usuario, incluidas las pruebas de resistencia a la temperatura, las pruebas de resistencia a la corrosión y las pruebas de resistencia a la erosión en plasma, para garantizar que el rendimiento de los tubos de cuarzo cumpla con los requisitos específicos del proceso.
Al personalizar los tubos de cuarzo de semiconductores de erosión anti -plasma, se pueden cumplir mejor procesos de fabricación de semiconductores y requisitos de aplicación de semiconductores, mejorando la estabilidad del equipo y la vida útil, al tiempo que garantiza la eficiencia y confiabilidad del proceso de fabricación de semiconductores.
Para obtener más información, no dude en contactarnos.
¿Por qué elegirnos?
1. Tenemos más experiencia.
Tenemos más de 18 años de experiencia en producción de artículos de cuarzo.
2. Somos más eficientes.
Respondemos las solicitudes de los clientes dentro de las 24 horas y tenemos un equipo de producción, ingenieros y ventas de alta eficiencia.
3. Nuestra calidad está más garantizada.
Controlamos la calidad de los bultos de cuarzo a la arena de cuarzo y luego los productos de cuarzo, tenemos un control de calidad mejor y más estricto que otros fabricantes.
4. Podemos producir productos de cuarzo más difíciles.
Tenemos grandes plataformas de molienda y máquinas de grabado de precisión que nos permiten producir grandes tamaños de placas de cuarzo, tubos y artículos de cuarzo de precisión de alto tamaño.
Tubo de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma
El tubo de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma es un material clave utilizado específicamente en los procesos de fabricación de semiconductores, principalmente para la protección de los componentes del equipo en entornos de plasma. Por lo general, está hecho de vidrio de cuarzo de alta pureza y sufre procesos especiales de tratamiento de superficie o recubrimiento para mejorar su resistencia y estabilidad de corrosión en los entornos de plasma.
Característica
-La vaso de cuarzo de alta pureza: hecho de dióxido de silicio de alta pureza (SIO ₂) como materia prima, tiene una excelente estabilidad química y un bajo contenido de impureza, lo que garantiza el rendimiento en ambientes de alta temperatura y alta vacío.
-Anti Erosión en plasma: mediante el uso de técnicas especiales de recubrimiento o tratamiento de superficie, como el recubrimiento de nanodiamantes, el recubrimiento de cerámica o el recubrimiento de fluoruro, la capacidad de erosión anti plasma de los tubos de cuarzo mejora significativamente.
-Sciente resistencia a la temperatura: capaz de operar estable en entornos de alta temperatura que van desde 1000 ℃ a 1600 ℃, cumpliendo con los requisitos de los procesos de fabricación de semiconductores.
-Low coeficiente de expansión térmica: el coeficiente de expansión térmica del vidrio de cuarzo es extremadamente bajo, lo que puede mantener la estabilidad dimensional y reducir el estrés térmico cuando cambia la temperatura.
-Antigua transparencia: tiene buena transparencia a la luz ultravioleta y visible, y es adecuada para procesos como fotolitografía y reacciones fotoquímicas.
Solicitud
Los tubos de cuarzo de semiconductores de erosión anti plasma tienen una amplia gama de aplicaciones en el campo de la fabricación de semiconductores, principalmente incluyendo los siguientes aspectos:
1. Equipo de grabado de plasma
-Enquilar componentes de la cámara: se utiliza para proteger los componentes clave dentro de la cámara de grabado, como electrodos, placas de distribución de gas y paredes de la cámara de reacción, para evitar la erosión plasmática de los materiales de cuarzo.
-Enquilar máscara y fotomástica: durante el proceso de fotolitografía, los tubos de cuarzo se pueden usar para proteger la fotomástica del daño por plasma.
2. Equipo de deposición de vapor químico (CVD)
-La Cámara de deposición: durante el plasma mejorado de la deposición de vapor químico (PECVD) y los procesos de deposición de vapor químico de baja presión (LPCVD), se pueden utilizar tubos de cuarzo para proteger la cámara de deposición, asegurando la estabilidad y la uniformidad del proceso de deposición.
-Los de transporte de gases de transporte: se utiliza para transportar gases de reacción para evitar la contaminación o la reacción con los materiales de la cámara durante el transporte.
3. Equipo de litografía
-UV Componentes transparentes: la alta transparencia de los tubos de cuarzo los hace adecuados para componentes transparentes UV en equipos de litografía, como lentes, máscaras y tuberías de luz.
-Proteo de la máscara de fotolitografía: durante el proceso de litografía, los tubos de cuarzo se pueden usar para proteger la máscara de litografía y evitar el daño por plasma en la máscara.
4. Equipo de limpieza de semiconductores
-La limpieza de componentes de la cámara: durante la limpieza de plasma, se pueden usar tubos de cuarzo para proteger los componentes clave dentro de la cámara de limpieza y evitar que el plasma corroe los materiales de cuarzo.
-La limpieza del sistema de distribución de gases: se utiliza para transportar gas de limpieza para garantizar la eficiencia y la uniformidad del proceso de limpieza.
5. Equipos de investigación y experimentales
-Entensación experimental del plasma: en la investigación y experimentos de física en plasma, se pueden usar tubos de cuarzo para construir cámaras de reacción en plasma y proteger el equipo experimental de la erosión plasmática.
-La síntesis y procesamiento materiales: durante la síntesis y procesamiento del material, se pueden usar tubos de cuarzo para proteger los vasos de reacción y los elementos de calentamiento, asegurando la estabilidad y la seguridad de los experimentos.
Descripción personalizada
Los tubos de cuarzo semiconductor de erosión anti plasma se pueden personalizar de acuerdo con las necesidades específicas de los usuarios. Las siguientes son algunas opciones de personalización comunes:
1. Tamaño y forma
-Engente y diámetros externos: los tubos de cuarzo con diferentes diámetros internos y externos se pueden personalizar de acuerdo con las necesidades del usuario. El rango de diámetro interno generalmente es de unos pocos milímetros a decenas de centímetros, mientras que el diámetro exterior se determina de acuerdo con aplicaciones específicas.
-Elcenecimiento: los tubos de cuarzo de diferentes longitudes se pueden personalizar de acuerdo con el tamaño del equipo y los requisitos del proceso, que generalmente van desde unos pocos centímetros hasta unos pocos metros de longitud.
-Apena: además de los tubos cilíndricos estándar, los tubos de cuarzo de forma especial, como tubos cónicos, tubos curvos o tubos de diámetro variable de múltiples etapas, también se pueden personalizar para cumplir con los requisitos de proceso complejos.
2. Recubrimiento y tratamiento de superficie
-Anti Plasma Coating: se pueden seleccionar varios recubrimientos anti -plasma, como el recubrimiento de nanodiamantes, el recubrimiento cerámico o el recubrimiento de fluoruro, para mejorar la resistencia a la corrosión y la resistencia a la erosión de los tubos de cuarzo.
-La superficie de superficie: las superficies internas y externas pueden someterse a un tratamiento de pulido de alta precisión para reducir los defectos superficiales y las impurezas residuales, y mejorar el rendimiento óptico y la estabilidad química de los tubos de cuarzo.
-Anti Reflection Coating: en aplicaciones que requieren alta transparencia óptica, se puede aplicar un recubrimiento contra la reflexión a la superficie de los tubos de cuarzo para reducir la pérdida de reflexión de la luz.
3. Control de pureza e impureza
-La vaso de cuarzo de alta pureza: proporciona tubos de vidrio de cuarzo de alta pureza con contenido de impureza extremadamente bajo, asegurando requisitos de alta pureza en el proceso de fabricación de semiconductores.
-Control de impurezas específicas: el contenido de impurezas específicas (como iones de hidróxido, iones metálicos, etc.) puede controlarse de acuerdo con el usuario debe cumplir con los requisitos de procesos específicos.
4. Alta resistencia a la temperatura y resistencia a la corrosión
-La optimización de rendimiento de alta temperatura: mediante el uso de procesos de fabricación especiales, la alta resistencia a la temperatura de los tubos de cuarzo se mejora para garantizar su estabilidad en entornos de plasma de alta temperatura.
-La resistencia a la corrosión: el vidrio de cuarzo en sí tiene una buena estabilidad química, pero su resistencia a la corrosión puede optimizarse aún más según las necesidades del usuario para hacer frente a entornos como ácidos fuertes, bases fuertes o solventes orgánicos.
5. Requisitos especiales
-La empaquetado personalizado: proporcione soluciones de empaque y transporte personalizadas de acuerdo con las necesidades del usuario para garantizar la seguridad de los tubos de cuarzo durante el transporte.
-Certificación de calidad: podemos proporcionar una certificación de calidad que cumpla con los estándares internacionales (como ISO 9001) para garantizar la calidad y la consistencia de nuestros productos.
-Customizados Pruebas: Proporcione servicios de prueba personalizados basados en las necesidades del usuario, incluidas las pruebas de resistencia a la temperatura, las pruebas de resistencia a la corrosión y las pruebas de resistencia a la erosión en plasma, para garantizar que el rendimiento de los tubos de cuarzo cumpla con los requisitos específicos del proceso.
Al personalizar los tubos de cuarzo de semiconductores de erosión anti -plasma, se pueden cumplir mejor procesos de fabricación de semiconductores y requisitos de aplicación de semiconductores, mejorando la estabilidad del equipo y la vida útil, al tiempo que garantiza la eficiencia y confiabilidad del proceso de fabricación de semiconductores.
Para obtener más información, no dude en contactarnos.
¿Por qué elegirnos?
1. Tenemos más experiencia.
Tenemos más de 18 años de experiencia en producción de artículos de cuarzo.
2. Somos más eficientes.
Respondemos las solicitudes de los clientes dentro de las 24 horas y tenemos un equipo de producción, ingenieros y ventas de alta eficiencia.
3. Nuestra calidad está más garantizada.
Controlamos la calidad de los bultos de cuarzo a la arena de cuarzo y luego los productos de cuarzo, tenemos un control de calidad mejor y más estricto que otros fabricantes.
4. Podemos producir productos de cuarzo más difíciles.
Tenemos grandes plataformas de molienda y máquinas de grabado de precisión que nos permiten producir grandes tamaños de placas de cuarzo, tubos y artículos de cuarzo de precisión de alto tamaño.
