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Tubo in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma
Il tubo in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma è un materiale chiave specificamente utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, principalmente per la protezione dei componenti dell'attrezzatura in ambienti al plasma.
Interno con borsa in PVC a vuoto e poi avvolto con pellicola di bolla d'aria, esterna con scatola di legno.
Tubo in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma
Il tubo in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma è un materiale chiave specificamente utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, principalmente per la protezione dei componenti dell'attrezzatura in ambienti al plasma. Di solito è realizzato in vetro di quarzo ad alta purezza e subisce speciali processi di trattamento di superficie o rivestimento per migliorare la sua resistenza alla corrosione e la stabilità negli ambienti plasmatici.
Caratteristica
-Il vetro di quarzo a scarsa purezza: realizzato con biossido di silicio di alta purezza (SIO ₂) come materia prima, ha un'eccellente stabilità chimica e un basso contenuto di impurità, garantendo prestazioni in ambienti ad alta temperatura e alti aspirali.
-Anti di erosione al plasma: utilizzando speciali tecniche di rivestimento o trattamento di superficie come il rivestimento nanodiamond, il rivestimento in ceramica o il rivestimento di fluoro, la capacità di erosione anti plasma dei tubi di quarzo è significativamente migliorata.
-Stemperato resistenza alla temperatura: in grado di funzionare stabili in ambienti ad alta temperatura che vanno da 1000 ℃ a 1600 ℃, soddisfacendo i requisiti dei processi di produzione di semiconduttori.
-La coefficiente di espansione termica: il coefficiente di espansione termica del vetro di quarzo è estremamente basso, il che può mantenere la stabilità dimensionale e ridurre lo stress termico quando le variazioni di temperatura.
-High trasparenza: ha una buona trasparenza alla luce ultravioletta e visibile ed è adatto a processi come la fotolitografia e le reazioni fotochimiche.
Applicazione
I tubi di quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma hanno una vasta gamma di applicazioni nel campo della produzione di semiconduttori, principalmente includendo i seguenti aspetti:
1. Attrezzatura per l'attacco al plasma
-Etching Components da camera: utilizzati per proteggere i componenti chiave all'interno della camera di attacco, come elettrodi, piastre di distribuzione del gas e pareti della camera di reazione, per prevenire l'erosione plasmatica di materiali di quarzo.
-Atching Mask e Photomask: durante il processo di fotolitografia, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere la fotomaschetta dai danni al plasma.
2. Equipaggiamento di deposizione di vapore chimico (CVD)
-MAMERA DI DIPOSIZIONE: durante i processi di deposizione chimica del vapore chimico potenziato al plasma (PECVD) e processi di deposizione di vapore chimico a bassa pressione (LPCVD), i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere la camera di deposizione, garantendo la stabilità e l'uniformità del processo di deposizione.
-CAD di trasporto GAS: utilizzato per trasportare gas di reazione per prevenire la contaminazione o la reazione con i materiali della camera durante il trasporto.
3. Attrezzatura litografica
-UV Componenti trasparenti: l'elevata trasparenza dei tubi di quarzo li rende adatti per componenti trasparenti UV nelle apparecchiature litografiche, come lenti, maschere e tubi luminosi.
-Cotolitografia Protezione della maschera: durante il processo di litografia, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere la maschera litografica e prevenire danni al plasma alla maschera.
4. Attrezzatura per la pulizia dei semiconduttori
-Cancella i componenti della camera: durante la pulizia del plasma, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere i componenti chiave all'interno della camera di pulizia e impedire al plasma di corrosire di materiali al quarzo.
-Secante Sistema di distribuzione del gas: utilizzato per trasportare gas di pulizia per garantire l'efficienza e l'uniformità del processo di pulizia.
5. Ricerca e attrezzature sperimentali
-Imposta sperimentale di plasma: nella ricerca e negli esperimenti di fisica al plasma, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per costruire camere di reazione al plasma e proteggere le attrezzature sperimentali dall'erosione al plasma.
-Antesi e elaborazione del materiale: durante la sintesi e l'elaborazione dei materiali, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere i vasi di reazione e gli elementi di riscaldamento, garantendo la stabilità e la sicurezza degli esperimenti.
Descrizione personalizzata
I tubi di quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma possono essere personalizzati in base alle esigenze specifiche degli utenti. Di seguito sono riportate alcune opzioni di personalizzazione comuni:
1. Dimensione e forma
-Il diametri interni ed esterni: i tubi di quarzo con diametri interni ed esterni diversi possono essere personalizzati in base alle esigenze dell'utente. L'intervallo di diametro interno è generalmente da pochi millimetri a decine di centimetri, mentre il diametro esterno è determinato in base a applicazioni specifiche.
-Falta: i tubi di quarzo di diverse lunghezze possono essere personalizzati in base alle dimensioni delle apparecchiature e ai requisiti di processo, in genere vanno da pochi centimetri a pochi metri di lunghezza.
-So: oltre ai tubi cilindrici standard, tubi di quarzo a forma speciale come tubi conici, tubi curvi o tubi a diametro variabile a più stadi possono anche essere personalizzati per soddisfare requisiti di processo complessi.
2. Rivestimento e trattamento superficiale
-Anti Inti Plasma Coating: possono essere selezionati vari rivestimenti anti plasma, come rivestimento nanodiamond, rivestimento in ceramica o rivestimento di fluoro, per migliorare la resistenza alla corrosione e la resistenza all'erosione dei tubi di quarzo.
-Suction della superficie: sia le superfici interne che quelle esterne possono essere sottoposte a un trattamento di lucidatura ad alta precisione per ridurre i difetti superficiali e le impurità residue e migliorare le prestazioni ottiche e la stabilità chimica dei tubi di quarzo.
-Anti Rivestimento di riflessione: nelle applicazioni che richiedono un'elevata trasparenza ottica, è possibile applicare un rivestimento anti -riflessione sulla superficie dei tubi di quarzo per ridurre la perdita di riflessione della luce.
3. Purity e controllo dell'impurità
-Il vetro in quarzo a scarsa purezza: fornisce tubi di vetro in quarzo ad alta purezza con contenuti di impurità estremamente bassi, garantendo elevati requisiti di purezza nel processo di produzione dei semiconduttori.
-Il controllo dell'impurità specifica: il contenuto di impurità specifiche (come ioni idrossido, ioni metallici, ecc.) Può essere controllato in base alle esigenze dell'utente per soddisfare i requisiti di processi specifici.
4. Resistenza alla temperatura elevata e resistenza alla corrosione
-Insulto delle prestazioni della temperatura: utilizzando speciali processi di produzione, la resistenza ad alta temperatura dei tubi al quarzo viene migliorata per garantire la loro stabilità in ambienti al plasma ad alta temperatura.
-A resistenza alla corrosione: il vetro di quarzo stesso ha una buona stabilità chimica, ma la sua resistenza alla corrosione può essere ulteriormente ottimizzata in base alle esigenze dell'utente per far fronte ad ambienti come acidi forti, basi forti o solventi organici.
5. Requisiti speciali
-Cuggerizzati a gradazione: fornire soluzioni personalizzate di imballaggi e trasporti in base alle esigenze dell'utente per garantire la sicurezza dei tubi di quarzo durante il trasporto.
-Iruttazione della qualità: possiamo fornire una certificazione di qualità conforme agli standard internazionali (come ISO 9001) per garantire la qualità e la coerenza dei nostri prodotti.
-I test a misura di respingimento: fornire servizi di test personalizzati in base alle esigenze dell'utente, inclusi test di resistenza ad alta temperatura, test di resistenza alla corrosione e test di resistenza all'erosione al plasma, per garantire che le prestazioni dei tubi di quarzo soddisfi i requisiti specifici del processo.
Personalizzando i tubi in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma, i diversi processi di produzione di semiconduttori e i requisiti di applicazione possono essere meglio soddisfatti, migliorando la stabilità delle attrezzature e la durata di servizio, garantendo al contempo l'efficienza e l'affidabilità del processo di produzione di semiconduttori.
Per ulteriori informazioni, non esitare a contattarci.
Perché scegliere noi?
1. Siamo più esperti.
Abbiamo oltre 18 anni di esperienza di produzione di articoli in quarzo.
2. Siamo più efficienti.
Rispondiamo alle richieste dei clienti entro 24 ore e abbiamo una produzione, ingegneri e un team di vendita elevati.
3. La nostra qualità è più garantita.
Controlliamo la qualità dai grumi al quarzo alla sabbia di quarzo e quindi ai prodotti al quarzo, abbiamo un controllo di qualità migliore e più rigoroso rispetto ad altri produttori.
4. Siamo in grado di produrre prodotti in quarzo più difficili.
Abbiamo ampie piattaforme di macinazione e macchine per l'attacco di precisione che ci consentono di produrre grandi dimensioni di piastre di quarzo, tubi e articoli in quarzo di precisione ad alte dimensioni.
Tubo in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma
Il tubo in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma è un materiale chiave specificamente utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, principalmente per la protezione dei componenti dell'attrezzatura in ambienti al plasma. Di solito è realizzato in vetro di quarzo ad alta purezza e subisce speciali processi di trattamento di superficie o rivestimento per migliorare la sua resistenza alla corrosione e la stabilità negli ambienti plasmatici.
Caratteristica
-Il vetro di quarzo a scarsa purezza: realizzato con biossido di silicio di alta purezza (SIO ₂) come materia prima, ha un'eccellente stabilità chimica e un basso contenuto di impurità, garantendo prestazioni in ambienti ad alta temperatura e alti aspirali.
-Anti di erosione al plasma: utilizzando speciali tecniche di rivestimento o trattamento di superficie come il rivestimento nanodiamond, il rivestimento in ceramica o il rivestimento di fluoro, la capacità di erosione anti plasma dei tubi di quarzo è significativamente migliorata.
-Stemperato resistenza alla temperatura: in grado di funzionare stabili in ambienti ad alta temperatura che vanno da 1000 ℃ a 1600 ℃, soddisfacendo i requisiti dei processi di produzione di semiconduttori.
-La coefficiente di espansione termica: il coefficiente di espansione termica del vetro di quarzo è estremamente basso, il che può mantenere la stabilità dimensionale e ridurre lo stress termico quando le variazioni di temperatura.
-High trasparenza: ha una buona trasparenza alla luce ultravioletta e visibile ed è adatto a processi come la fotolitografia e le reazioni fotochimiche.
Applicazione
I tubi di quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma hanno una vasta gamma di applicazioni nel campo della produzione di semiconduttori, principalmente includendo i seguenti aspetti:
1. Attrezzatura per l'attacco al plasma
-Etching Components da camera: utilizzati per proteggere i componenti chiave all'interno della camera di attacco, come elettrodi, piastre di distribuzione del gas e pareti della camera di reazione, per prevenire l'erosione plasmatica di materiali di quarzo.
-Atching Mask e Photomask: durante il processo di fotolitografia, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere la fotomaschetta dai danni al plasma.
2. Equipaggiamento di deposizione di vapore chimico (CVD)
-MAMERA DI DIPOSIZIONE: durante i processi di deposizione chimica del vapore chimico potenziato al plasma (PECVD) e processi di deposizione di vapore chimico a bassa pressione (LPCVD), i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere la camera di deposizione, garantendo la stabilità e l'uniformità del processo di deposizione.
-CAD di trasporto GAS: utilizzato per trasportare gas di reazione per prevenire la contaminazione o la reazione con i materiali della camera durante il trasporto.
3. Attrezzatura litografica
-UV Componenti trasparenti: l'elevata trasparenza dei tubi di quarzo li rende adatti per componenti trasparenti UV nelle apparecchiature litografiche, come lenti, maschere e tubi luminosi.
-Cotolitografia Protezione della maschera: durante il processo di litografia, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere la maschera litografica e prevenire danni al plasma alla maschera.
4. Attrezzatura per la pulizia dei semiconduttori
-Cancella i componenti della camera: durante la pulizia del plasma, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere i componenti chiave all'interno della camera di pulizia e impedire al plasma di corrosire di materiali al quarzo.
-Secante Sistema di distribuzione del gas: utilizzato per trasportare gas di pulizia per garantire l'efficienza e l'uniformità del processo di pulizia.
5. Ricerca e attrezzature sperimentali
-Imposta sperimentale di plasma: nella ricerca e negli esperimenti di fisica al plasma, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per costruire camere di reazione al plasma e proteggere le attrezzature sperimentali dall'erosione al plasma.
-Antesi e elaborazione del materiale: durante la sintesi e l'elaborazione dei materiali, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per proteggere i vasi di reazione e gli elementi di riscaldamento, garantendo la stabilità e la sicurezza degli esperimenti.
Descrizione personalizzata
I tubi di quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma possono essere personalizzati in base alle esigenze specifiche degli utenti. Di seguito sono riportate alcune opzioni di personalizzazione comuni:
1. Dimensione e forma
-Il diametri interni ed esterni: i tubi di quarzo con diametri interni ed esterni diversi possono essere personalizzati in base alle esigenze dell'utente. L'intervallo di diametro interno è generalmente da pochi millimetri a decine di centimetri, mentre il diametro esterno è determinato in base a applicazioni specifiche.
-Falta: i tubi di quarzo di diverse lunghezze possono essere personalizzati in base alle dimensioni delle apparecchiature e ai requisiti di processo, in genere vanno da pochi centimetri a pochi metri di lunghezza.
-So: oltre ai tubi cilindrici standard, tubi di quarzo a forma speciale come tubi conici, tubi curvi o tubi a diametro variabile a più stadi possono anche essere personalizzati per soddisfare requisiti di processo complessi.
2. Rivestimento e trattamento superficiale
-Anti Inti Plasma Coating: possono essere selezionati vari rivestimenti anti plasma, come rivestimento nanodiamond, rivestimento in ceramica o rivestimento di fluoro, per migliorare la resistenza alla corrosione e la resistenza all'erosione dei tubi di quarzo.
-Suction della superficie: sia le superfici interne che quelle esterne possono essere sottoposte a un trattamento di lucidatura ad alta precisione per ridurre i difetti superficiali e le impurità residue e migliorare le prestazioni ottiche e la stabilità chimica dei tubi di quarzo.
-Anti Rivestimento di riflessione: nelle applicazioni che richiedono un'elevata trasparenza ottica, è possibile applicare un rivestimento anti -riflessione sulla superficie dei tubi di quarzo per ridurre la perdita di riflessione della luce.
3. Purity e controllo dell'impurità
-Il vetro in quarzo a scarsa purezza: fornisce tubi di vetro in quarzo ad alta purezza con contenuti di impurità estremamente bassi, garantendo elevati requisiti di purezza nel processo di produzione dei semiconduttori.
-Il controllo dell'impurità specifica: il contenuto di impurità specifiche (come ioni idrossido, ioni metallici, ecc.) Può essere controllato in base alle esigenze dell'utente per soddisfare i requisiti di processi specifici.
4. Resistenza alla temperatura elevata e resistenza alla corrosione
-Insulto delle prestazioni della temperatura: utilizzando speciali processi di produzione, la resistenza ad alta temperatura dei tubi al quarzo viene migliorata per garantire la loro stabilità in ambienti al plasma ad alta temperatura.
-A resistenza alla corrosione: il vetro di quarzo stesso ha una buona stabilità chimica, ma la sua resistenza alla corrosione può essere ulteriormente ottimizzata in base alle esigenze dell'utente per far fronte ad ambienti come acidi forti, basi forti o solventi organici.
5. Requisiti speciali
-Cuggerizzati a gradazione: fornire soluzioni personalizzate di imballaggi e trasporti in base alle esigenze dell'utente per garantire la sicurezza dei tubi di quarzo durante il trasporto.
-Iruttazione della qualità: possiamo fornire una certificazione di qualità conforme agli standard internazionali (come ISO 9001) per garantire la qualità e la coerenza dei nostri prodotti.
-I test a misura di respingimento: fornire servizi di test personalizzati in base alle esigenze dell'utente, inclusi test di resistenza ad alta temperatura, test di resistenza alla corrosione e test di resistenza all'erosione al plasma, per garantire che le prestazioni dei tubi di quarzo soddisfi i requisiti specifici del processo.
Personalizzando i tubi in quarzo a semiconduttore di erosione anti plasma, i diversi processi di produzione di semiconduttori e i requisiti di applicazione possono essere meglio soddisfatti, migliorando la stabilità delle attrezzature e la durata di servizio, garantendo al contempo l'efficienza e l'affidabilità del processo di produzione di semiconduttori.
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Perché scegliere noi?
1. Siamo più esperti.
Abbiamo oltre 18 anni di esperienza di produzione di articoli in quarzo.
2. Siamo più efficienti.
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Controlliamo la qualità dai grumi al quarzo alla sabbia di quarzo e quindi ai prodotti al quarzo, abbiamo un controllo di qualità migliore e più rigoroso rispetto ad altri produttori.
4. Siamo in grado di produrre prodotti in quarzo più difficili.
Abbiamo ampie piattaforme di macinazione e macchine per l'attacco di precisione che ci consentono di produrre grandi dimensioni di piastre di quarzo, tubi e articoli in quarzo di precisione ad alte dimensioni.
