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Tube de quartz semi-conducteur de l'érosion anti-plasma
Le tube de quartz semi-conducteur de l'érosion anti-plasma est un matériau clé spécialement utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, principalement pour la protection des composants de l'équipement dans les environnements plasmatiques.
Intérieur avec sac en PVC à vide, puis enveloppé de films d'air, à l'extérieur avec boîte en bois.
Tube de quartz semi-conducteur de l'érosion anti-plasma
Le tube de quartz semi-conducteur de l'érosion anti-plasma est un matériau clé spécialement utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, principalement pour la protection des composants de l'équipement dans les environnements plasmatiques. Il est généralement en verre de quartz de haute pureté et subit un traitement de surface ou des processus de revêtement spéciaux pour améliorer sa résistance à la corrosion et sa stabilité dans les environnements plasmatiques.
Caractéristiques
- Verre de quartz de pureté haute: fabriqué à partir de dioxyde de silicium de haute pureté (SiO ₂) en tant que matière première, il a une excellente stabilité chimique et une faible teneur en impuretés, garantissant des performances dans des environnements à haute température et à vide élevé.
-Anti Erosion du plasma: en utilisant des techniques spéciales de revêtement ou de traitement de surface telles que le revêtement en nanodiamond, le revêtement en céramique ou le revêtement de fluor, la capacité d'érosion anti-plasma des tubes en quartz est considérablement améliorée.
-Répreinte de température: capable d'un fonctionnement stable dans des environnements à haute température allant de 1000 ℃ à 1600 ℃, répondant aux exigences des processus de fabrication de semi-conducteurs.
-Le coefficient de dilatation thermique du LOW: Le coefficient de dilatation thermique du verre de quartz est extrêmement faible, ce qui peut maintenir la stabilité dimensionnelle et réduire la contrainte thermique lorsque la température change.
-Preparence élevée: il a une bonne transparence à ultraviolet et à la lumière visible, et convient à des processus tels que la photolithographie et les réactions photochimiques.
Application
Les tubes en quartz semi-conducteurs de l'érosion anti-plasma ont une large gamme d'applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, comprenant principalement les aspects suivants:
1. Équipement de gravure du plasma
-Combain de la chambre de gravure: Utilisé pour protéger les composants clés à l'intérieur de la chambre de gravure, tels que les électrodes, les plaques de distribution de gaz et les parois de la chambre de réaction, pour prévenir l'érosion du plasma des matériaux de quartz.
- Masque et photomaste et photomaste: Pendant le processus de photolithographie, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger le photomasque contre les dommages au plasma.
2. Équipement de dépôt de vapeur chimique (CVD)
- Chambre de dépôt: Pendant le plasma, un dépôt de vapeur chimique amélioré (PECVD) et les processus de dépôt chimique à basse pression de vapeur (LPCVD), les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger la chambre de dépôt, assurant la stabilité et l'uniformité du processus de dépôt.
-GAS Pipeline de transport: Utilisé pour transporter les gaz de réaction pour éviter la contamination ou la réaction avec les matériaux de la chambre pendant le transport.
3. Équipement de lithographie
-UV Composants transparents: La transparence élevée des tubes en quartz les rend adaptés aux composants transparents UV dans des équipements de lithographie, tels que des lentilles, des masques et des tuyaux légers.
- Protection du masque de photolithographie: Pendant le processus de lithographie, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger le masque de lithographie et prévenir les dommages au plasma au masque.
4. Équipement de nettoyage des semi-conducteurs
- Composants de la chambre de nettoyage: Pendant le nettoyage du plasma, les tubes en quartz peuvent être utilisés pour protéger les composants clés à l'intérieur de la chambre de nettoyage et empêcher le plasma de corroder les matériaux de quartz.
-Cianing Gas Distribution Système: Utilisé pour transporter les gaz de nettoyage pour assurer l'efficacité et l'uniformité du processus de nettoyage.
5. Recherche et équipement expérimental
-Plasma Configuration expérimentale: Dans la recherche et les expériences en physique du plasma, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour construire des chambres de réaction plasmatique et protéger l'équipement expérimental de l'érosion du plasma.
- Synthèse et traitement des matériaux: Pendant la synthèse et le traitement des matériaux, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger les récipients de réaction et les éléments de chauffage, en assurant la stabilité et la sécurité des expériences.
Description personnalisée
Les tubes de quartz semi-conducteurs de l'érosion anti-plasma peuvent être personnalisés en fonction des besoins spécifiques des utilisateurs. Voici quelques options de personnalisation courantes:
1. Taille et forme
-Inner et les diamètres extérieurs: les tubes en quartz avec différents diamètres intérieurs et extérieurs peuvent être personnalisés en fonction des besoins des utilisateurs. La plage de diamètre intérieur est généralement de quelques millimètres à des dizaines de centimètres, tandis que le diamètre extérieur est déterminé en fonction de applications spécifiques.
-Lengle: Les tubes en quartz de différentes longueurs peuvent être personnalisés en fonction de la taille de l'équipement et des exigences du processus, allant généralement de quelques centimètres à quelques mètres de longueur.
-Shape: En plus des tubes cylindriques standard, des tubes en quartz de forme spéciale tels que des tubes coniques, des tubes incurvés ou des tubes de diamètre variable à plusieurs étapes peuvent également être personnalisés pour répondre aux exigences de processus complexes.
2. Revêtement et traitement de surface
-Anti Ebating plasma: Divers revêtements anti-plasma peuvent être sélectionnés, tels que le revêtement en nanodiamond, le revêtement en céramique ou le revêtement de fluor, pour améliorer la résistance à la corrosion et la résistance à l'érosion des tubes en quartz.
- Polissage de la surface: Les surfaces intérieures et extérieures peuvent être soumises à un traitement de polissage à haute précision pour réduire les défauts de surface et les impuretés résiduelles, et améliorer les performances optiques et la stabilité chimique des tubes en quartz.
-Mévrage de réflexion anti: Dans les applications qui nécessitent une transparence optique élevée, un revêtement anti-réflexion peut être appliqué à la surface des tubes de quartz pour réduire la perte de réflexion légère.
3. Contrôle de la pureté et des impuretés
- Verre de quartz de pureté haute: fournit des tubes en verre de quartz de haute pureté avec une teneur en impureté extrêmement faible, garantissant des exigences de pureté de grande pureté dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.
- Contrôle spécifique des impuretés: Le contenu d'impuretés spécifiques (tels que les ions hydroxyde, les ions métalliques, etc.) peut être contrôlé selon les besoins de l'utilisateur pour répondre aux exigences de processus spécifiques.
4. Résistance à haute température et résistance à la corrosion
-Re haute optimisation des performances de la température: En utilisant des processus de fabrication spéciaux, la résistance à haute température des tubes en quartz est améliorée pour assurer leur stabilité dans des environnements plasmatiques à haute température.
- Résistance à la corrosion: le verre de quartz lui-même a une bonne stabilité chimique, mais sa résistance à la corrosion peut être encore optimisée selon les besoins des utilisateurs pour faire face à des environnements tels que des acides forts, de fortes bases ou des solvants organiques.
5. Exigences spéciales
-Le emballage personnalisé: fournir des solutions d'emballage et de transport personnalisées en fonction des besoins des utilisateurs pour assurer la sécurité des tubes en quartz pendant le transport.
- Certification de qualité: Nous pouvons fournir une certification de qualité conforme aux normes internationales (telles que ISO 9001) pour assurer la qualité et la cohérence de nos produits.
- Test personnalisé: fournir des services de test personnalisés en fonction des besoins des utilisateurs, y compris des tests de résistance à haute température, des tests de résistance à la corrosion et des tests de résistance à l'érosion du plasma, pour garantir que les performances des tubes en quartz répondent aux exigences de processus spécifiques.
En personnalisant les tubes en quartz semi-conducteurs de l'érosion anti-plasma, différents processus de fabrication de semi-conducteurs et les exigences d'application peuvent être mieux satisfaits, améliorant la stabilité de l'équipement et la durée de vie, tout en garantissant l'efficacité et la fiabilité du processus de fabrication de semi-conducteurs.
Pour plus d'informations, n'hésitez pas à nous contacter.
Pourquoi nous choisir?
1. Nous sommes plus expérimentés.
Nous avons plus de 18 ans d'expérience en production d'articles en quartz.
2. Nous sommes plus efficaces.
Nous répondons aux demandes des clients dans les 24 heures et nous avons une production, des ingénieurs et de l'équipe de vente efficaces.
3. Notre qualité est plus garantie.
Nous contrôlons la qualité des grumeaux de quartz au sable de quartz, puis aux produits en quartz, nous avons un contrôle de qualité meilleur et plus strict que les autres fabricants.
4.Nous pouvons produire des produits de quartz plus difficiles.
Nous avons de grandes plates-formes de broyage et des machines de gravure de précision qui nous permettent de produire de grandes tailles de plaques de quartz, de tubes et d'articles de quartz de précision de grande taille.
Tube de quartz semi-conducteur de l'érosion anti-plasma
Le tube de quartz semi-conducteur de l'érosion anti-plasma est un matériau clé spécialement utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, principalement pour la protection des composants de l'équipement dans les environnements plasmatiques. Il est généralement en verre de quartz de haute pureté et subit un traitement de surface ou des processus de revêtement spéciaux pour améliorer sa résistance à la corrosion et sa stabilité dans les environnements plasmatiques.
Caractéristiques
- Verre de quartz de pureté haute: fabriqué à partir de dioxyde de silicium de haute pureté (SiO ₂) en tant que matière première, il a une excellente stabilité chimique et une faible teneur en impuretés, garantissant des performances dans des environnements à haute température et à vide élevé.
-Anti Erosion du plasma: en utilisant des techniques spéciales de revêtement ou de traitement de surface telles que le revêtement en nanodiamond, le revêtement en céramique ou le revêtement de fluor, la capacité d'érosion anti-plasma des tubes en quartz est considérablement améliorée.
-Répreinte de température: capable d'un fonctionnement stable dans des environnements à haute température allant de 1000 ℃ à 1600 ℃, répondant aux exigences des processus de fabrication de semi-conducteurs.
-Le coefficient de dilatation thermique du LOW: Le coefficient de dilatation thermique du verre de quartz est extrêmement faible, ce qui peut maintenir la stabilité dimensionnelle et réduire la contrainte thermique lorsque la température change.
-Preparence élevée: il a une bonne transparence à ultraviolet et à la lumière visible, et convient à des processus tels que la photolithographie et les réactions photochimiques.
Application
Les tubes en quartz semi-conducteurs de l'érosion anti-plasma ont une large gamme d'applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, comprenant principalement les aspects suivants:
1. Équipement de gravure du plasma
-Combain de la chambre de gravure: Utilisé pour protéger les composants clés à l'intérieur de la chambre de gravure, tels que les électrodes, les plaques de distribution de gaz et les parois de la chambre de réaction, pour prévenir l'érosion du plasma des matériaux de quartz.
- Masque et photomaste et photomaste: Pendant le processus de photolithographie, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger le photomasque contre les dommages au plasma.
2. Équipement de dépôt de vapeur chimique (CVD)
- Chambre de dépôt: Pendant le plasma, un dépôt de vapeur chimique amélioré (PECVD) et les processus de dépôt chimique à basse pression de vapeur (LPCVD), les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger la chambre de dépôt, assurant la stabilité et l'uniformité du processus de dépôt.
-GAS Pipeline de transport: Utilisé pour transporter les gaz de réaction pour éviter la contamination ou la réaction avec les matériaux de la chambre pendant le transport.
3. Équipement de lithographie
-UV Composants transparents: La transparence élevée des tubes en quartz les rend adaptés aux composants transparents UV dans des équipements de lithographie, tels que des lentilles, des masques et des tuyaux légers.
- Protection du masque de photolithographie: Pendant le processus de lithographie, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger le masque de lithographie et prévenir les dommages au plasma au masque.
4. Équipement de nettoyage des semi-conducteurs
- Composants de la chambre de nettoyage: Pendant le nettoyage du plasma, les tubes en quartz peuvent être utilisés pour protéger les composants clés à l'intérieur de la chambre de nettoyage et empêcher le plasma de corroder les matériaux de quartz.
-Cianing Gas Distribution Système: Utilisé pour transporter les gaz de nettoyage pour assurer l'efficacité et l'uniformité du processus de nettoyage.
5. Recherche et équipement expérimental
-Plasma Configuration expérimentale: Dans la recherche et les expériences en physique du plasma, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour construire des chambres de réaction plasmatique et protéger l'équipement expérimental de l'érosion du plasma.
- Synthèse et traitement des matériaux: Pendant la synthèse et le traitement des matériaux, les tubes de quartz peuvent être utilisés pour protéger les récipients de réaction et les éléments de chauffage, en assurant la stabilité et la sécurité des expériences.
Description personnalisée
Les tubes de quartz semi-conducteurs de l'érosion anti-plasma peuvent être personnalisés en fonction des besoins spécifiques des utilisateurs. Voici quelques options de personnalisation courantes:
1. Taille et forme
-Inner et les diamètres extérieurs: les tubes en quartz avec différents diamètres intérieurs et extérieurs peuvent être personnalisés en fonction des besoins des utilisateurs. La plage de diamètre intérieur est généralement de quelques millimètres à des dizaines de centimètres, tandis que le diamètre extérieur est déterminé en fonction de applications spécifiques.
-Lengle: Les tubes en quartz de différentes longueurs peuvent être personnalisés en fonction de la taille de l'équipement et des exigences du processus, allant généralement de quelques centimètres à quelques mètres de longueur.
-Shape: En plus des tubes cylindriques standard, des tubes en quartz de forme spéciale tels que des tubes coniques, des tubes incurvés ou des tubes de diamètre variable à plusieurs étapes peuvent également être personnalisés pour répondre aux exigences de processus complexes.
2. Revêtement et traitement de surface
-Anti Ebating plasma: Divers revêtements anti-plasma peuvent être sélectionnés, tels que le revêtement en nanodiamond, le revêtement en céramique ou le revêtement de fluor, pour améliorer la résistance à la corrosion et la résistance à l'érosion des tubes en quartz.
- Polissage de la surface: Les surfaces intérieures et extérieures peuvent être soumises à un traitement de polissage à haute précision pour réduire les défauts de surface et les impuretés résiduelles, et améliorer les performances optiques et la stabilité chimique des tubes en quartz.
-Mévrage de réflexion anti: Dans les applications qui nécessitent une transparence optique élevée, un revêtement anti-réflexion peut être appliqué à la surface des tubes de quartz pour réduire la perte de réflexion légère.
3. Contrôle de la pureté et des impuretés
- Verre de quartz de pureté haute: fournit des tubes en verre de quartz de haute pureté avec une teneur en impureté extrêmement faible, garantissant des exigences de pureté de grande pureté dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.
- Contrôle spécifique des impuretés: Le contenu d'impuretés spécifiques (tels que les ions hydroxyde, les ions métalliques, etc.) peut être contrôlé selon les besoins de l'utilisateur pour répondre aux exigences de processus spécifiques.
4. Résistance à haute température et résistance à la corrosion
-Re haute optimisation des performances de la température: En utilisant des processus de fabrication spéciaux, la résistance à haute température des tubes en quartz est améliorée pour assurer leur stabilité dans des environnements plasmatiques à haute température.
- Résistance à la corrosion: le verre de quartz lui-même a une bonne stabilité chimique, mais sa résistance à la corrosion peut être encore optimisée selon les besoins des utilisateurs pour faire face à des environnements tels que des acides forts, de fortes bases ou des solvants organiques.
5. Exigences spéciales
-Le emballage personnalisé: fournir des solutions d'emballage et de transport personnalisées en fonction des besoins des utilisateurs pour assurer la sécurité des tubes en quartz pendant le transport.
- Certification de qualité: Nous pouvons fournir une certification de qualité conforme aux normes internationales (telles que ISO 9001) pour assurer la qualité et la cohérence de nos produits.
- Test personnalisé: fournir des services de test personnalisés en fonction des besoins des utilisateurs, y compris des tests de résistance à haute température, des tests de résistance à la corrosion et des tests de résistance à l'érosion du plasma, pour garantir que les performances des tubes en quartz répondent aux exigences de processus spécifiques.
En personnalisant les tubes en quartz semi-conducteurs de l'érosion anti-plasma, différents processus de fabrication de semi-conducteurs et les exigences d'application peuvent être mieux satisfaits, améliorant la stabilité de l'équipement et la durée de vie, tout en garantissant l'efficacité et la fiabilité du processus de fabrication de semi-conducteurs.
Pour plus d'informations, n'hésitez pas à nous contacter.
Pourquoi nous choisir?
1. Nous sommes plus expérimentés.
Nous avons plus de 18 ans d'expérience en production d'articles en quartz.
2. Nous sommes plus efficaces.
Nous répondons aux demandes des clients dans les 24 heures et nous avons une production, des ingénieurs et de l'équipe de vente efficaces.
3. Notre qualité est plus garantie.
Nous contrôlons la qualité des grumeaux de quartz au sable de quartz, puis aux produits en quartz, nous avons un contrôle de qualité meilleur et plus strict que les autres fabricants.
4.Nous pouvons produire des produits de quartz plus difficiles.
Nous avons de grandes plates-formes de broyage et des machines de gravure de précision qui nous permettent de produire de grandes tailles de plaques de quartz, de tubes et d'articles de quartz de précision de grande taille.
