|
Tubo de quartzo semicondutor anti -plasma
O tubo de quartzo semicondutores anti -plasmática é um material essencial usado especificamente nos processos de fabricação de semicondutores, principalmente para proteção de componentes do equipamento em ambientes de plasma.
Interior com sacola de PVC a vácuo e depois embrulhada em filme de bolha de ar, externo com caixa de madeira.
Tubo de quartzo semicondutor anti -plasma
O tubo de quartzo semicondutores anti -plasmática é um material essencial usado especificamente nos processos de fabricação de semicondutores, principalmente para proteção de componentes do equipamento em ambientes de plasma. Geralmente, é feito de vidro de quartzo de alta pureza e passa por processos especiais de tratamento ou revestimento de superfície para melhorar sua resistência à corrosão e estabilidade em ambientes de plasma.
Característica
-Vidro de quartzo de alta pureza: feito de dióxido de silício de alta pureza (SiO ₂) como matéria-prima, possui excelente estabilidade química e baixo teor de impureza, garantindo o desempenho em ambientes de alta temperatura e vácuo.
-Anti Erosão plasmático: usando técnicas especiais de revestimento ou tratamento de superfície, como revestimento nanodiamond, revestimento de cerâmica ou revestimento de fluoreto, a capacidade de erosão anti -plasma dos tubos de quartzo é significativamente melhorada.
-Alta resistência à temperatura: capaz de operação estável em ambientes de alta temperatura, variando de 1000 ℃ a 1600 ℃, atendendo aos requisitos dos processos de fabricação de semicondutores.
-Low Coeficiente de expansão térmica: O coeficiente de expansão térmica do vidro de quartzo é extremamente baixo, o que pode manter a estabilidade dimensional e reduzir o estresse térmico quando a temperatura muda.
-Alta transparência: tem boa transparência para a luz ultravioleta e visível e é adequada para processos como fotolitografia e reações fotoquímicas.
Aplicativo
Os tubos de quartzo semicondutores anti -plasma têm uma ampla gama de aplicações no campo da fabricação de semicondutores, incluindo principalmente os seguintes aspectos:
1. Equipamento de gravação de plasma
-Componentes da câmara de elaboração: usado para proteger os principais componentes dentro da câmara de gravação, como eletrodos, placas de distribuição de gás e paredes da câmara de reação, para evitar a erosão plasmática de materiais de quartzo.
Máscara e fotomask máscara: Durante o processo de fotolitografia, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger a máscara de fotomase contra danos no plasma.
2. Equipamento de deposição de vapor químico (CVD)
-Câmara de deposição: durante os processos de deposição de vapor químico aprimorados no plasma (PECVD) e deposição de vapor químico de baixa pressão (LPCVD), os tubos de quartzo podem ser usados para proteger a câmara de deposição, garantindo a estabilidade e a uniformidade do processo de deposição.
-Gas Transport Pipeline: Usado para transportar gases de reação para evitar contaminação ou reação com materiais da câmara durante o transporte.
3. Equipamento de litografia
-Uv componentes transparentes: a alta transparência dos tubos de quartzo os torna adequados para componentes transparentes de UV em equipamentos de litografia, como lentes, máscaras e tubos de luz.
-Fotolitografia Proteção da máscara: Durante o processo de litografia, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger a máscara de litografia e impedir danos no plasma à máscara.
4. Equipamento de limpeza de semicondutores
-Componentes da câmara de limpeza: Durante a limpeza de plasma, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger os principais componentes dentro da câmara de limpeza e impedir que o plasma corroa os materiais de quartzo.
-Cleaning Gas Distribution System: Usado para transportar gás de limpeza para garantir a eficiência e a uniformidade do processo de limpeza.
5. Pesquisa e equipamento experimental
-Configuração experimental de plasma: Na pesquisa e experimentos de física plasmática, os tubos de quartzo podem ser usados para construir câmaras de reação plasmática e proteger equipamentos experimentais da erosão plasmática.
-Síntese e processamento de materiais: Durante a síntese e processamento do material, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger vasos de reação e elementos de aquecimento, garantindo a estabilidade e a segurança dos experimentos.
Descrição personalizada
Os tubos de quartzo semicondutores de erosão anti -plasmática podem ser personalizados de acordo com as necessidades específicas dos usuários. A seguir, são apresentadas algumas opções de personalização comuns:
1. Tamanho e forma
-Inner e diâmetros externos: os tubos de quartzo com diferentes diâmetros internos e externos podem ser personalizados de acordo com as necessidades do usuário. A faixa de diâmetro interno geralmente é de alguns milímetros a dezenas de centímetros, enquanto o diâmetro externo é determinado de acordo com aplicações específicas.
-Comprimento: os tubos de quartzo de diferentes comprimentos podem ser personalizados de acordo com o tamanho do equipamento e os requisitos de processo, normalmente variando de alguns centímetros a alguns metros de comprimento.
-Shape: além dos tubos cilíndricos padrão, tubos de quartzo de formato especial, como tubos cônicos, tubos curvos ou tubos de diâmetro variável de vários estágios também podem ser personalizados para atender aos requisitos complexos de processo.
2. Casado e tratamento de superfície
-Enti revestimento de plasma: vários revestimentos anti -plasma podem ser selecionados, como revestimento nanodiamond, revestimento de cerâmica ou revestimento de fluoreto, para melhorar a resistência à corrosão e a resistência à erosão dos tubos de quartzo.
Polimento da superfície: as superfícies internas e externas podem ser submetidas a tratamento de polimento de alta precisão para reduzir defeitos superficiais e impurezas residuais e melhorar o desempenho óptico e a estabilidade química dos tubos de quartzo.
-ANTI Reflexão do revestimento: Em aplicações que requerem alta transparência óptica, um revestimento anti -reflexão pode ser aplicado à superfície dos tubos de quartzo para reduzir a perda de reflexão da luz.
3. Controle de pureza e impureza
-Vidro de quartzo de alta pureza: fornece tubos de vidro de quartzo de alta pureza com conteúdo de impureza extremamente baixo, garantindo requisitos de alta pureza no processo de fabricação de semicondutores.
-Controle de impureza específico: o conteúdo de impurezas específicas (como íons hidróxido, íons metálicos etc.) pode ser controlado de acordo com as necessidades do usuário para atender aos requisitos de processos específicos.
4. Resistência a alta temperatura e resistência à corrosão
-Alta otimização de desempenho da temperatura: Usando processos especiais de fabricação, a resistência à alta temperatura dos tubos de quartzo é aprimorada para garantir sua estabilidade em ambientes de plasma de alta temperatura.
-Corrosão Resistência: O vidro de quartzo próprio tem uma boa estabilidade química, mas sua resistência à corrosão pode ser otimizada ainda mais de acordo com as necessidades do usuário de lidar com ambientes como ácidos fortes, bases fortes ou solventes orgânicos.
5 requisitos especiais
-Embalagem personalizada: Forneça soluções personalizadas de embalagem e transporte de acordo com as necessidades do usuário para garantir a segurança dos tubos de quartzo durante o transporte.
-Certificação de qualidade: podemos fornecer certificação de qualidade que cumpra os padrões internacionais (como a ISO 9001) para garantir a qualidade e a consistência de nossos produtos.
-Testes contábeis: Forneça serviços de teste personalizados com base nas necessidades do usuário, incluindo testes de resistência à alta temperatura, teste de resistência à corrosão e teste de resistência à erosão plasmática, para garantir que o desempenho dos tubos de quartzo atenda aos requisitos específicos do processo.
Ao personalizar os tubos de quartzo semicondutores anti -plasma, diferentes processos de fabricação de semicondutores e requisitos de aplicação podem ser melhor atendidos, melhorando a estabilidade do equipamento e a vida útil do serviço, garantindo a eficiência e a confiabilidade do processo de fabricação de semicondutores.
Para mais informações, não hesite em entrar em contato conosco.
Por que nos escolher?
1. Somos mais experientes.
Temos mais de 18 anos de experiência de produção de itens de quartzo.
2. Nós somos mais eficientes.
Respondemos às solicitações dos clientes dentro de 24 horas e temos produção de produção, engenheiros e equipe de vendas de alta eficiência.
3. Nossa qualidade é mais garantida.
Controlamos a qualidade desde os caroços de quartzo até a areia de quartzo e, em seguida, produtos de quartzo, temos um controle de qualidade melhor e mais rigoroso do que outros fabricantes.
4. Podemos produzir produtos de quartzo mais difíceis.
Temos grandes plataformas de moagem e máquinas de gravação de precisão que nos permitem produzir grandes tamanhos de placas de quartzo, tubos e itens de quartzo de precisão de alto tamanho.
Tubo de quartzo semicondutor anti -plasma
O tubo de quartzo semicondutores anti -plasmática é um material essencial usado especificamente nos processos de fabricação de semicondutores, principalmente para proteção de componentes do equipamento em ambientes de plasma. Geralmente, é feito de vidro de quartzo de alta pureza e passa por processos especiais de tratamento ou revestimento de superfície para melhorar sua resistência à corrosão e estabilidade em ambientes de plasma.
Característica
-Vidro de quartzo de alta pureza: feito de dióxido de silício de alta pureza (SiO ₂) como matéria-prima, possui excelente estabilidade química e baixo teor de impureza, garantindo o desempenho em ambientes de alta temperatura e vácuo.
-Anti Erosão plasmático: usando técnicas especiais de revestimento ou tratamento de superfície, como revestimento nanodiamond, revestimento de cerâmica ou revestimento de fluoreto, a capacidade de erosão anti -plasma dos tubos de quartzo é significativamente melhorada.
-Alta resistência à temperatura: capaz de operação estável em ambientes de alta temperatura, variando de 1000 ℃ a 1600 ℃, atendendo aos requisitos dos processos de fabricação de semicondutores.
-Low Coeficiente de expansão térmica: O coeficiente de expansão térmica do vidro de quartzo é extremamente baixo, o que pode manter a estabilidade dimensional e reduzir o estresse térmico quando a temperatura muda.
-Alta transparência: tem boa transparência para a luz ultravioleta e visível e é adequada para processos como fotolitografia e reações fotoquímicas.
Aplicativo
Os tubos de quartzo semicondutores anti -plasma têm uma ampla gama de aplicações no campo da fabricação de semicondutores, incluindo principalmente os seguintes aspectos:
1. Equipamento de gravação de plasma
-Componentes da câmara de elaboração: usado para proteger os principais componentes dentro da câmara de gravação, como eletrodos, placas de distribuição de gás e paredes da câmara de reação, para evitar a erosão plasmática de materiais de quartzo.
Máscara e fotomask máscara: Durante o processo de fotolitografia, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger a máscara de fotomase contra danos no plasma.
2. Equipamento de deposição de vapor químico (CVD)
-Câmara de deposição: durante os processos de deposição de vapor químico aprimorados no plasma (PECVD) e deposição de vapor químico de baixa pressão (LPCVD), os tubos de quartzo podem ser usados para proteger a câmara de deposição, garantindo a estabilidade e a uniformidade do processo de deposição.
-Gas Transport Pipeline: Usado para transportar gases de reação para evitar contaminação ou reação com materiais da câmara durante o transporte.
3. Equipamento de litografia
-Uv componentes transparentes: a alta transparência dos tubos de quartzo os torna adequados para componentes transparentes de UV em equipamentos de litografia, como lentes, máscaras e tubos de luz.
-Fotolitografia Proteção da máscara: Durante o processo de litografia, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger a máscara de litografia e impedir danos no plasma à máscara.
4. Equipamento de limpeza de semicondutores
-Componentes da câmara de limpeza: Durante a limpeza de plasma, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger os principais componentes dentro da câmara de limpeza e impedir que o plasma corroa os materiais de quartzo.
-Cleaning Gas Distribution System: Usado para transportar gás de limpeza para garantir a eficiência e a uniformidade do processo de limpeza.
5. Pesquisa e equipamento experimental
-Configuração experimental de plasma: Na pesquisa e experimentos de física plasmática, os tubos de quartzo podem ser usados para construir câmaras de reação plasmática e proteger equipamentos experimentais da erosão plasmática.
-Síntese e processamento de materiais: Durante a síntese e processamento do material, os tubos de quartzo podem ser usados para proteger vasos de reação e elementos de aquecimento, garantindo a estabilidade e a segurança dos experimentos.
Descrição personalizada
Os tubos de quartzo semicondutores de erosão anti -plasmática podem ser personalizados de acordo com as necessidades específicas dos usuários. A seguir, são apresentadas algumas opções de personalização comuns:
1. Tamanho e forma
-Inner e diâmetros externos: os tubos de quartzo com diferentes diâmetros internos e externos podem ser personalizados de acordo com as necessidades do usuário. A faixa de diâmetro interno geralmente é de alguns milímetros a dezenas de centímetros, enquanto o diâmetro externo é determinado de acordo com aplicações específicas.
-Comprimento: os tubos de quartzo de diferentes comprimentos podem ser personalizados de acordo com o tamanho do equipamento e os requisitos de processo, normalmente variando de alguns centímetros a alguns metros de comprimento.
-Shape: além dos tubos cilíndricos padrão, tubos de quartzo de formato especial, como tubos cônicos, tubos curvos ou tubos de diâmetro variável de vários estágios também podem ser personalizados para atender aos requisitos complexos de processo.
2. Casado e tratamento de superfície
-Enti revestimento de plasma: vários revestimentos anti -plasma podem ser selecionados, como revestimento nanodiamond, revestimento de cerâmica ou revestimento de fluoreto, para melhorar a resistência à corrosão e a resistência à erosão dos tubos de quartzo.
Polimento da superfície: as superfícies internas e externas podem ser submetidas a tratamento de polimento de alta precisão para reduzir defeitos superficiais e impurezas residuais e melhorar o desempenho óptico e a estabilidade química dos tubos de quartzo.
-ANTI Reflexão do revestimento: Em aplicações que requerem alta transparência óptica, um revestimento anti -reflexão pode ser aplicado à superfície dos tubos de quartzo para reduzir a perda de reflexão da luz.
3. Controle de pureza e impureza
-Vidro de quartzo de alta pureza: fornece tubos de vidro de quartzo de alta pureza com conteúdo de impureza extremamente baixo, garantindo requisitos de alta pureza no processo de fabricação de semicondutores.
-Controle de impureza específico: o conteúdo de impurezas específicas (como íons hidróxido, íons metálicos etc.) pode ser controlado de acordo com as necessidades do usuário para atender aos requisitos de processos específicos.
4. Resistência a alta temperatura e resistência à corrosão
-Alta otimização de desempenho da temperatura: Usando processos especiais de fabricação, a resistência à alta temperatura dos tubos de quartzo é aprimorada para garantir sua estabilidade em ambientes de plasma de alta temperatura.
-Corrosão Resistência: O vidro de quartzo próprio tem uma boa estabilidade química, mas sua resistência à corrosão pode ser otimizada ainda mais de acordo com as necessidades do usuário de lidar com ambientes como ácidos fortes, bases fortes ou solventes orgânicos.
5 requisitos especiais
-Embalagem personalizada: Forneça soluções personalizadas de embalagem e transporte de acordo com as necessidades do usuário para garantir a segurança dos tubos de quartzo durante o transporte.
-Certificação de qualidade: podemos fornecer certificação de qualidade que cumpra os padrões internacionais (como a ISO 9001) para garantir a qualidade e a consistência de nossos produtos.
-Testes contábeis: Forneça serviços de teste personalizados com base nas necessidades do usuário, incluindo testes de resistência à alta temperatura, teste de resistência à corrosão e teste de resistência à erosão plasmática, para garantir que o desempenho dos tubos de quartzo atenda aos requisitos específicos do processo.
Ao personalizar os tubos de quartzo semicondutores anti -plasma, diferentes processos de fabricação de semicondutores e requisitos de aplicação podem ser melhor atendidos, melhorando a estabilidade do equipamento e a vida útil do serviço, garantindo a eficiência e a confiabilidade do processo de fabricação de semicondutores.
Para mais informações, não hesite em entrar em contato conosco.
Por que nos escolher?
1. Somos mais experientes.
Temos mais de 18 anos de experiência de produção de itens de quartzo.
2. Nós somos mais eficientes.
Respondemos às solicitações dos clientes dentro de 24 horas e temos produção de produção, engenheiros e equipe de vendas de alta eficiência.
3. Nossa qualidade é mais garantida.
Controlamos a qualidade desde os caroços de quartzo até a areia de quartzo e, em seguida, produtos de quartzo, temos um controle de qualidade melhor e mais rigoroso do que outros fabricantes.
4. Podemos produzir produtos de quartzo mais difíceis.
Temos grandes plataformas de moagem e máquinas de gravação de precisão que nos permitem produzir grandes tamanhos de placas de quartzo, tubos e itens de quartzo de precisão de alto tamanho.
