T: +86-518-85528012
E: nick@luverrequartz.com
E: nick@luverrequartz.com
1 -й этаж Рунлианский промышленный центр № 116 Qufeng Rd., Хайчжоу.
|
Антиплазменная эрозия полупроводниковая кварцевая трубка
Кварцевая трубка Anti Plasma Erosion - это ключевой материал, специально используемый в процессах производства полупроводников, в основном для защиты компонентов оборудования в плазменных средах.
Внутренний с вакуумным мешком из ПВХ, а затем обернута пленкой воздушной пузырьки, внешней с деревянной коробкой.
Антиплазменная эрозия полупроводниковая кварцевая трубка
Кварцевая трубка Anti Plasma Erosion - это ключевой материал, специально используемый в процессах производства полупроводников, в основном для защиты компонентов оборудования в плазменных средах. Обычно он изготовлен из кварцевого стекла высокой чистоты и подвергается специальным процессам обработки поверхности или покрытия для повышения его коррозионной стойкости и стабильности в плазменных средах.
Характеристика
-Высоко чистота кварцевого стекла: изготовлено из диоксида кремния высокой чистоты (SIO ₂) в качестве сырья, он обладает отличной химической стабильностью и низким содержанием примесей, обеспечивая производительность в высокой температуре и высокой вакуумной среде.
-Анти эрозия плазмы: используя специальные методы покрытия или обработки поверхности, такие как покрытие наноамонд, керамическое покрытие или фторидное покрытие, способность к эрозии анти плазмы значительно улучшается.
-Высокая температурная сопротивление: способна к стабильной работе в высокотемпературных средах в диапазоне от 1000 до 1600 ℃, что отвечает требованиям процессов производства полупроводников.
-Лоу теплового расширения коэффициент: коэффициент термического расширения кварцевого стекла чрезвычайно низкий, что может поддерживать размерную стабильность и уменьшить тепловое напряжение при изменении температуры.
-высокая прозрачность: он обладает хорошей прозрачностью ультрафиолетового и видимого света и подходит для таких процессов, как фотолитография и фотохимические реакции.
Приложение
Анти -плазменные полупроводниковые кварцевые трубки имеют широкий спектр применений в области производства полупроводников, в основном, включая следующие аспекты:
1. Оборудование для травления в плазме
-Компоненты камерного камера: используется для защиты ключевых компонентов внутри камеры травления, таких как электроды, пластины для распределения газа и стенки реакционной камеры, чтобы предотвратить эрозию кварцевых материалов в плазме.
-Та -маска и фотомаску: во время процесса фотолитографии можно использовать кварцевые трубки для защиты фотомаски от повреждения плазмы.
2. Оборудование химического отложения паров (CVD)
-Прообразование камера: Во время процессов химического осаждения из пары (LPCVD), усиленного химическим осаждением паров (PECVD) и химического осаждения пара (LPCVD) низкого давления.
-Гас Транспортный трубопровод: используется для транспортировки реакционных газов для предотвращения загрязнения или реакции камерными материалами во время транспортировки.
3. Литографическое оборудование
-Ув.
-Потолитография защита маски: во время литографического процесса можно использовать кварцевые трубки для защиты маски литографии и предотвращения повреждения плазмы маски.
4. Оборудование для очистки полупроводников
-Компоненты камерной камеры: во время чистки плазмы можно использовать кварцевые трубки для защиты ключевых компонентов внутри чистящей камеры и предотвращения коррозии кварцевых материалов в плазме.
-Коривающая система распределения газа: используется для транспортировки очищающего газа для обеспечения эффективности и однородности процесса очистки.
5. Исследование и экспериментальное оборудование
-Плазма экспериментальная установка: В исследованиях и экспериментах в области физики плазмы можно использовать кварцевые трубы для построения плазменных реакционных камер и защиты экспериментального оборудования от эрозии плазмы.
-Материальный Синтез и обработка: во время синтеза и обработки материала можно использовать кварцевые трубки для защиты реакционных сосудов и нагревательных элементов, обеспечивая стабильность и безопасность экспериментов.
Индивидуальное описание
Антиплазменная эрозия полупроводниковых кварцевых трубок можно настроить в соответствии с конкретными потребностями пользователей. Ниже приведены некоторые общие параметры настройки:
1. Размер и форма
-Иннер и наружные диаметры: кварцевые трубки с различными внутренними и внешними диаметрами могут быть настроены в соответствии с потребностями пользователей. Диапазон внутренних диаметров обычно составляет от нескольких миллиметров до десятков сантиметров, в то время как внешний диаметр определяется в соответствии с конкретными приложениями.
-Но длиной: кварцевые трубки различной длины могут быть настроены в соответствии с требованиями размера оборудования и процесса, как правило, от нескольких сантиметров до нескольких метров в длину.
-Shape: в дополнение к стандартным цилиндрическим трубам, кварцевые трубки специальной формы, такие как конические трубки, изогнутые трубки или многоступенчатые варки диаметра, также могут быть настроены для удовлетворения сложных требований к процессу.
2. Покрытие и обработка поверхности
-Плазменное покрытие: можно выбрать различные анти плазменные покрытия, такие как покрытие наноамонд, керамическое покрытие или фторидное покрытие, для улучшения коррозионной устойчивости и эрозионной устойчивости кварцевых труб.
-Поверхностная полировка: как внутренние, так и внешние поверхности могут быть подвергнуты высокопроизвольной полировке, чтобы уменьшить поверхностные дефекты и остаточные примеси, а также улучшить оптические характеристики и химическую стабильность кварцевых трубок.
-Anti отражение.
3. Управление чистотой и нечистотой
-Высоко чистота кварцевого стекла: предоставляет кварцевые стеклянные трубки с высокой точкой с чрезвычайно низким содержанием примесей, что обеспечивает высокие требования к чистоте в процессе производства полупроводников.
-Посвященное управление примесей: содержание конкретных примесей (таких как ионы гидроксида, ионы металлов и т. Д.) Можно управлять в соответствии с потребностями пользователя для удовлетворения требований конкретных процессов.
4. Высокая температурная устойчивость и коррозионная стойкость
-Высокая оптимизация производительности температуры: с помощью специальных процессов производства высокотемпературная стойкость кварцевых трубок улучшается, чтобы обеспечить их стабильность в высокотемпературных плазменных средах.
-Коррозионное сопротивление: само кварцевое стекло обладает хорошей химической стабильностью, но его коррозионное сопротивление может быть дополнительно оптимизировано в соответствии с потребностями пользователя, чтобы справиться со средами, такими как сильные кислоты, сильные основания или органические растворители.
5. Специальные требования
-Кустоличная упаковка: Предоставьте индивидуальные решения для упаковки и транспорта в соответствии с потребностями пользователя для обеспечения безопасности кварцевых трубок во время транспортировки.
-Качество сертификации: мы можем обеспечить сертификацию качества, которая соответствует международным стандартам (например, ISO 9001), чтобы обеспечить качество и согласованность наших продуктов.
-Какстолизированное тестирование: предоставьте индивидуальные сервисы тестирования на основе потребностей пользователей, включая высокотемпературные тестирование сопротивления, тестирование на коррозионную сопротивление и тестирование устойчивости к эрозии в плазме, чтобы гарантировать, что производительность кварцевых трубок соответствует конкретным требованиям процесса.
Настраивая антипроводниковые кварцевые трубки против плазмы, различные процессы производства полупроводников и требования к применению могут быть лучше удовлетворены, улучшая стабильность оборудования и срок службы, обеспечивая при этом эффективность и надежность процесса производства полупроводников.
Для получения дополнительной информации, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.
Почему мы выбираем?
1. Мы более опытны.
У нас более 18 лет производственного опыта из кварцевых товаров.
2. Мы более эффективны.
Мы отвечаем на запросы клиентов в течение 24 часов, и у нас есть высокая эффективность производства, инженеры и команды по продажам.
3. Качество нашего гарантиров� но.
Мы контролируем качество от кварцевых комков до кварцевого песка, а затем кварцевых продуктов, у нас есть лучший и более строгий контроль качества, чем другие производители.
4. Мы можем производить более сложные кварцевые продукты.
У нас есть большие шлифовальные платформы и точные машины для травления, которые позволяют нам производить большие размеры кварцевых пластин, труб и высокомерных кварцевых элементов.
Антиплазменная эрозия полупроводниковая кварцевая трубка
Кварцевая трубка Anti Plasma Erosion - это ключевой материал, специально используемый в процессах производства полупроводников, в основном для защиты компонентов оборудования в плазменных средах. Обычно он изготовлен из кварцевого стекла высокой чистоты и подвергается специальным процессам обработки поверхности или покрытия для повышения его коррозионной стойкости и стабильности в плазменных средах.
Характеристика
-Высоко чистота кварцевого стекла: изготовлено из диоксида кремния высокой чистоты (SIO ₂) в качестве сырья, он обладает отличной химической стабильностью и низким содержанием примесей, обеспечивая производительность в высокой температуре и высокой вакуумной среде.
-Анти эрозия плазмы: используя специальные методы покрытия или обработки поверхности, такие как покрытие наноамонд, керамическое покрытие или фторидное покрытие, способность к эрозии анти плазмы значительно улучшается.
-Высокая температурная сопротивление: способна к стабильной работе в высокотемпературных средах в диапазоне от 1000 до 1600 ℃, что отвечает требованиям процессов производства полупроводников.
-Лоу теплового расширения коэффициент: коэффициент термического расширения кварцевого стекла чрезвычайно низкий, что может поддерживать размерную стабильность и уменьшить тепловое напряжение при изменении температуры.
-высокая прозрачность: он обладает хорошей прозрачностью ультрафиолетового и видимого света и подходит для таких процессов, как фотолитография и фотохимические реакции.
Приложение
Анти -плазменные полупроводниковые кварцевые трубки имеют широкий спектр применений в области производства полупроводников, в основном, включая следующие аспекты:
1. Оборудование для травления в плазме
-Компоненты камерного камера: используется для защиты ключевых компонентов внутри камеры травления, таких как электроды, пластины для распределения газа и стенки реакционной камеры, чтобы предотвратить эрозию кварцевых материалов в плазме.
-Та -маска и фотомаску: во время процесса фотолитографии можно использовать кварцевые трубки для защиты фотомаски от повреждения плазмы.
2. Оборудование химического отложения паров (CVD)
-Прообразование камера: Во время процессов химического осаждения из пары (LPCVD), усиленного химическим осаждением паров (PECVD) и химического осаждения пара (LPCVD) низкого давления.
-Гас Транспортный трубопровод: используется для транспортировки реакционных газов для предотвращения загрязнения или реакции камерными материалами во время транспортировки.
3. Литографическое оборудование
-Ув.
-Потолитография защита маски: во время литографического процесса можно использовать кварцевые трубки для защиты маски литографии и предотвращения повреждения плазмы маски.
4. Оборудование для очистки полупроводников
-Компоненты камерной камеры: во время чистки плазмы можно использовать кварцевые трубки для защиты ключевых компонентов внутри чистящей камеры и предотвращения коррозии кварцевых материалов в плазме.
-Коривающая система распределения газа: используется для транспортировки очищающего газа для обеспечения эффективности и однородности процесса очистки.
5. Исследование и экспериментальное оборудование
-Плазма экспериментальная установка: В исследованиях и экспериментах в области физики плазмы можно использовать кварцевые трубки для построения плазменных реакционных камер и защиты экспериментального оборудования от эрозии плазмы.
-Материальный Синтез и обработка: во время синтеза и обработки материала можно использовать кварцевые трубки для защиты реакционных сосудов и нагревательных элементов, обеспечивая стабильность и безопасность экспериментов.
Индивидуальное описание
Антиплазменная эрозия полупроводниковых кварцевых трубок можно настроить в соответствии с конкретными потребностями пользователей. Ниже приведены некоторые общие параметры настройки:
1. Размер и форма
-Иннер и наружные диаметры: кварцевые трубки с различными внутренними и внешними диаметрами могут быть настроены в соответствии с потребностями пользователей. Диапазон внутренних диаметров обычно составляет от нескольких миллиметров до десятков сантиметров, в то время как внешний диаметр определяется в соответствии с конкретными приложениями.
-Но длиной: кварцевые трубки различной длины могут быть настроены в соответствии с требованиями размера оборудования и процесса, как правило, от нескольких сантиметров до нескольких метров в длину.
-Shape: в дополнение к стандартным цилиндрическим трубам, кварцевые трубки специальной формы, такие как конические трубки, изогнутые трубки или многоступенчатые варки диаметра, также могут быть настроены для удовлетворения сложных требований к процессу.
2. Покрытие и обработка поверхности
-Плазменное покрытие: можно выбрать различные анти плазменные покрытия, такие как покрытие наноамонд, керамическое покрытие или фторидное покрытие, для улучшения коррозионной устойчивости и эрозионной устойчивости кварцевых труб.
-Поверхностная полировка: как внутренние, так и внешние поверхности могут быть подвергнуты высокопроизвольной полировке, чтобы уменьшить поверхностные дефекты и остаточные примеси, а также улучшить оптические характеристики и химическую стабильность кварцевых трубок.
-Anti отражение.
3. Управление чистотой и нечистотой
-Высоко чистота кварцевого стекла: предоставляет кварцевые стеклянные трубки с высокой точкой с чрезвычайно низким содержанием примесей, что обеспечивает высокие требования к чистоте в процессе производства полупроводников.
-Посвященное управление примесей: содержание конкретных примесей (таких как ионы гидроксида, ионы металлов и т. Д.) Можно управлять в соответствии с потребностями пользователя для удовлетворения требований конкретных процессов.
4. Высокая температурная устойчивость и коррозионная стойкость
-Высокая оптимизация производительности температуры: с помощью специальных процессов производства высокотемпературная стойкость кварцевых трубок улучшается, чтобы обеспечить их стабильность в высокотемпературных плазменных средах.
-Коррозионное сопротивление: само кварцевое стекло обладает хорошей химической стабильностью, но его коррозионное сопротивление может быть дополнительно оптимизировано в соответствии с потребностями пользователя, чтобы справиться со средами, такими как сильные кислоты, сильные основания или органические растворители.
5. Специальные требования
-Кустоличная упаковка: Предоставьте индивидуальные решения для упаковки и транспорта в соответствии с потребностями пользователя для обеспечения безопасности кварцевых трубок во время транспортировки.
-Качество сертификации: мы можем обеспечить сертификацию качества, которая соответствует международным стандартам (например, ISO 9001), чтобы обеспечить качество и согласованность наших продуктов.
-Какстолизированное тестирование: предоставьте индивидуальные сервисы тестирования на основе потребностей пользователей, включая высокотемпературные тестирование сопротивления, тестирование на коррозионную сопротивление и тестирование устойчивости к эрозии в плазме, чтобы гарантировать, что производительность кварцевых трубок соответствует конкретным требованиям процесса.
Настраивая антипроводниковые кварцевые трубки против плазмы, различные процессы производства полупроводников и требования к применению могут быть лучше удовлетворены, улучшая стабильность оборудования и срок службы, обеспечивая при этом эффективность и надежность процесса производства полупроводников.
Для получения дополнительной информации, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.
Почему мы выбираем?
1. Мы более опытны.
У нас более 18 лет производственного опыта из кварцевых товаров.
2. Мы более эффективны.
Мы отвечаем на запросы клиентов в течение 24 часов, и у нас есть высокая эффективность производства, инженеры и команды по продажам.
3. Качество нашего гарантиров� но.
Мы контролируем качество от кварцевых комков до кварцевого песка, а затем кварцевых продуктов, у нас есть лучший и более строгий контроль качества, чем другие производители.
4. Мы можем производить более сложные кварцевые продукты.
У нас есть большие шлифовальные платформы и точные машины для травления, которые позволяют нам производить большие размеры кварцевых пластин, труб и высокомерных кварцевых элементов.
