أنبوب أشباه الموصلات التآكل المضاد للبلازما

يعد أنبوب أشباه الموصلات المضاد للبلازما هو مادة رئيسية تستخدم خصيصًا في عمليات تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة لحماية مكونات المعدات في بيئات البلازما. عادةً ما يكون مصنوعًا من زجاج الكوارتز عالي النقاء ويخضع لعلاج سطحي خاص أو عمليات طلاء لتعزيز مقاومة التآكل واستقراره في بيئات البلازما.

خاصية

-زجاج الكوارتز العالي: مصنوع من ثاني أكسيد السيليكون عالي النقاء (SIO ₂) كمواد خام ، فإنه يتمتع باستقرار كيميائي ممتاز ومحتوى منخفض النجاسة ، مما يضمن الأداء في درجة حرارة عالية وبيئات فراغ عالية.

تآكل البلازما أنتي: باستخدام تقنيات المعالجة الخاصة أو المعالجة السطحية مثل طلاء النانودياموند ، طلاء السيراميك ، أو طلاء الفلوريد ، تحسنت بشكل كبير قدرة تآكل البلازما لأنابيب الكوارتز.

-مقاومة درجة الحرارة العالية: قادرة على التشغيل المستقر في بيئات درجات الحرارة العالية التي تتراوح من 1000 ℃ إلى 1600 ℃ ، وتلبية متطلبات عمليات تصنيع أشباه الموصلات.

-معامل التمدد الحراري: معامل التمدد الحراري لزجاج الكوارتز منخفض للغاية ، والذي يمكن أن يحافظ على الاستقرار الأبعاد ويقلل من الإجهاد الحراري عندما يتغير درجة الحرارة.

-الشفافية العالية: لديها شفافية جيدة للأشعة فوق البنفسجية والضوء المرئي ، وهي مناسبة لعمليات مثل التصوير الفوتوغرافي والتفاعلات الكيميائية الضوئية.

طلب

تحتوي أنابيب الكوارتز على أشباه الموصلات المضادة للبلازما على مجموعة واسعة من التطبيقات في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، بما في ذلك الجوانب التالية:

1. معدات حفر البلازما

-مكونات الغرفة: تستخدم لحماية المكونات الرئيسية داخل غرفة الحفر ، مثل الأقطاب الكهربائية ، وألواح توزيع الغاز ، وجدران غرفة التفاعل ، لمنع تآكل البلازما من مواد الكوارتز.

-قناع وصناعة ضوئية: أثناء عملية التصوير الفوتوغرافي ، يمكن استخدام أنابيب الكوارتز لحماية مجموعة الضوئي من تلف البلازما.

2. معدات ترسيب البخار الكيميائي (CVD)

-غرفة الإرساء: أثناء ترسب البخار الكيميائي المحسن في البلازما (PECVD) وعمليات ترسب البخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD) ، يمكن استخدام أنابيب الكوارتز لحماية غرفة الترسب ، وضمان استقرار وتوحيد عملية الترسب.

خط أنابيب النقل GAS: يستخدم لنقل غازات التفاعل لمنع التلوث أو التفاعل مع مواد الغرفة أثناء النقل.

3. المعدات الحجرية

-مكونات شفافة: الشفافية العالية لأنابيب الكوارتز تجعلها مناسبة للمكونات الشفافة للأشعة فوق البنفسجية في معدات الطباعة الحجرية ، مثل العدسات والأقنعة والأنابيب الخفيفة.

-Hotolithography Mask Protection: أثناء عملية الطباعة الحجرية ، يمكن استخدام أنابيب الكوارتز لحماية قناع الطباعة الحجرية ومنع أضرار البلازما للقناع.

4. معدات تنظيف أشباه الموصلات

مكونات غرفة التنظيف: أثناء تنظيف البلازما ، يمكن استخدام أنابيب الكوارتز لحماية المكونات الرئيسية داخل غرفة التنظيف ومنع البلازما من مواد الكوارتز المتآكلة.

-تنظيف نظام توزيع الغاز: يستخدم لنقل غاز التنظيف لضمان كفاءة وتوحيد عملية التنظيف.

5. البحث والمعدات التجريبية

-Plasma التجريبي الإعداد: في أبحاث الفيزياء في الفيزياء وتجاربها ، يمكن استخدام أنابيب الكوارتز لبناء غرف تفاعل البلازما وحماية المعدات التجريبية من تآكل البلازما.

-التوليف والمعالجة المادية: أثناء توليف المواد ومعالجتها ، يمكن استخدام أنابيب الكوارتز لحماية أوعية التفاعل وعناصر التدفئة ، مما يضمن استقرار وسلامة التجارب.

وصف مخصص

يمكن تخصيص أنابيب الكوارتز في تآكل أشباه الموصلات المضادة للبلازو وفقًا للاحتياجات المحددة للمستخدمين. فيما يلي بعض خيارات التخصيص الشائعة:

1. الحجم والشكل

-أقطار الإثبات والخارجية: يمكن تخصيص أنابيب الكوارتز ذات الأقطار الداخلية والخارجية المختلفة وفقًا لاحتياجات المستخدم. عادة ما يكون نطاق القطر الداخلي من بضعة ملليمترات إلى عشرات سنتيمترات ، بينما يتم تحديد القطر الخارجي وفقًا للتطبيقات المحددة.

-الطول: يمكن تخصيص أنابيب الكوارتز ذات الأطوال المختلفة وفقًا لمتطلبات حجم المعدات وعملية ، والتي تتراوح عادة من بضعة سنتيمترات إلى بضعة أمتار.

-shape: بالإضافة إلى أنابيب أسطوانية قياسية ، يمكن أيضًا تخصيص أنابيب الكوارتز الخاصة مثل الأنابيب المخروطية والأنابيب المنحنية أو أنابيب القطر المتغيرة متعددة المراحل لتلبية متطلبات العملية المعقدة.

2. الطلاء والمعالجة السطحية

-طلاء البلازما: يمكن اختيار العديد من الطلاءات المضادة للبلازما ، مثل طلاء النانودياموند ، طلاء السيراميك ، أو طلاء الفلوريد ، لتحسين مقاومة التآكل ومقاومة التآكل لأنابيب الكوارتز.

-تلميع السطح: يمكن أن تخضع كل من الأسطح الداخلية والخارجية لعلاج التلميع عالي الدقة لتقليل عيوب السطح والشوائب المتبقية ، وتحسين الأداء البصري والاستقرار الكيميائي لأنابيب الكوارتز.

-طلاء انعكاس: في التطبيقات التي تتطلب شفافية بصرية عالية ، يمكن تطبيق طلاء انعكاس مضاد على سطح أنابيب الكوارتز لتقليل فقدان الضوء.

3. الطهارة والسيطرة على الشوائب

-الزجاج الكوارتز النقي: يوفر أنابيب زجاجية الكوارتز عالية النقاء مع محتوى شجاع منخفض للغاية ، مما يضمن متطلبات نقاء عالية في عملية تصنيع أشباه الموصلات.

-التحكم في الشوائب المحددة: يمكن التحكم في محتوى الشوائب المحددة (مثل أيونات الهيدروكسيد ، أيونات المعادن ، إلخ) وفقًا لمستخدم يحتاج إلى تلبية متطلبات عمليات محددة.

4. مقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل

-تحسين أداء درجة الحرارة: باستخدام عمليات التصنيع الخاصة ، يتم تحسين مقاومة درجات الحرارة العالية لأنابيب الكوارتز لضمان استقرارها في بيئات البلازما عالية الحرارة.

-المقاومة التوردية: يحتوي كوارتز كوب نفسه على استقرار كيميائي جيد ، ولكن يمكن تحسين مقاومة التآكل بشكل أكبر وفقًا لاحتياجات المستخدم إلى التعامل مع بيئات مثل الأحماض القوية أو القواعد القوية أو المذيبات العضوية.

5. المتطلبات الخاصة

-التغليف المتواصل: توفير حلول مخصصة للتغليف والنقل وفقًا لاحتياجات المستخدم لضمان سلامة أنابيب الكوارتز أثناء النقل.

-شهادة الجودة: يمكننا تقديم شهادة الجودة التي تتوافق مع المعايير الدولية (مثل ISO 9001) لضمان جودة واتساق منتجاتنا.

-الاختبار المعتمد: توفير خدمات اختبار مخصصة بناءً على احتياجات المستخدم ، بما في ذلك اختبار مقاومة درجة الحرارة العالية ، واختبار مقاومة التآكل ، واختبار مقاومة تآكل البلازما ، لضمان أن أداء أنابيب الكوارتز يفي بمتطلبات محددة للعملية.

من خلال تخصيص أنابيب الكوارتز شبه الموصلات المضادة للبلازما ، يمكن تلبية عمليات تصنيع أشباه الموصلات المختلفة ومتطلبات التطبيق بشكل أفضل ، وتحسين استقرار المعدات وحياة الخدمة ، مع ضمان كفاءة وموثوقية عملية تصنيع أشباه الموصلات.

لمزيد من المعلومات ، لا تتردد في الاتصال بنا.

لماذا تختارنا؟

1. نحن أكثر خبرة.

لدينا أكثر من 18 عامًا من الخبرة الإنتاجية لعناصر الكوارتز.

2. نحن أكثر كفاءة.

نرد على طلبات العملاء في غضون 24 ساعة ولدينا إنتاج ومهندسين وفريق مبيعات عالية الكفاءة.

3. الجودة أكثر ضمانا.

نتحكم في الجودة من كتل الكوارتز إلى رمال الكوارتز ثم منتجات الكوارتز ، لدينا مراقبة جودة أفضل وأكثر صرامة من المصنوعات الأخرى.

4. نحن قادرون على إنتاج منتجات الكوارتز أكثر صعوبة.

لدينا منصات طحن كبيرة وآلات الحفر الدقيقة التي تمكننا من إنتاج أحجام كبيرة من ألواح الكوارتز والأنابيب وعناصر الكوارتز الدقيقة عالية الحجم.