Le Le bateau à quartz semi-circulaire à haute transparence de 100 à 800 mm est un outil de support haute performance fabriqué en verre de quartz de haute pureté (teneur en SiO ₂ ≥ 99,99 %) grâce à un traitement de précision. Sa conception unique de structure semi-circulaire combinée aux excellentes propriétés physiques et chimiques des matériaux à base de quartz constitue une solution fiable pour les domaines de fabrication de précision tels que les semi-conducteurs, le photovoltaïque et les LED.

Fonctionnalités principales

Excellentes performances optiques : avec une transmission de plus de 92 % (plage de longueurs d'onde de 200 à 2 500 nm), il assure un transfert d'énergie uniforme dans la photolithographie, la diffusion et d'autres processus, réduisant ainsi les fluctuations du processus.

Stabilité à haute température : il peut résister à un environnement à haute température de 1 100 ℃ pendant une longue période, avec une température d'utilisation à court terme allant jusqu'à 1 450 ℃, et convient aux conditions de processus extrêmes telles que le recuit thermique rapide (RTA).

Excellente inertie chimique : Il présente une résistance à la corrosion à tous les acides, bases et solvants organiques à l'exception de l'acide fluorhydrique (HF), évitant ainsi le risque de pollution des procédés.

Garantie de précision structurelle : grâce à l'usinage CNC, la tolérance dimensionnelle est de ± 0,05 mm et la rugosité de surface Ra est ≤ 0,2 μm, garantissant une parfaite adéquation avec l'équipement de traitement.

Résistance mécanique exceptionnelle : la résistance à la flexion atteint 60-80MPa et la résistance aux chocs thermiques est excellente (Δ T ≥ 120 ℃ sans rupture), prolongeant la durée de vie du produit.

Avantage technique

Par rapport aux bateaux circulaires traditionnels en quartz, la conception semi-circulaire augmente la capacité de chargement de 30 % tout en réduisant l'impact des effets de bord.

La structure de support de conception brevetée assure une répartition plus uniforme des contraintes sur la puce, réduisant le taux de fragmentation à moins de 0,02 %

La technologie de traitement de surface au plasma atteint des propriétés superhydrophobes, améliore l'efficacité du nettoyage de 50 % et réduit le risque d'interruption du processus.

Scénarios d'application typiques

Dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs :

Processus de lithographie : en tant que support d'exposition pour tranche de 12 pouces, il est utilisé conjointement avec une machine de lithographie ultraviolette profonde (DUV) pour assurer un revêtement uniforme de résine photosensible.

Processus de diffusion : transport de plaquettes de silicium dans un four de diffusion de phosphore/bore pour obtenir un contrôle précis du gradient de concentration d'impuretés (précision de ± 1 %)

Dépôt CVD : Alternative aux nacelles en graphite, il est directement utilisé pour déposer des films de nitrure de silicium dans les équipements PECVD, réduisant ainsi le risque de contamination métallique.

Applications de l'industrie photovoltaïque :

Production de cellules PERC : transport de tranches de silicium de taille M6 dans le processus de passivation arrière et utilisation d'un équipement ALD pour réaliser un dépôt empilé Al ₂ O ∝/SiNx

Fabrication de batteries TOPCon : en tant que support de diffusion de bore, elle peut résister à un environnement de diffusion à haute température POCl ∝ et a une durée de vie de plus de 200 fois

Processus de batterie HJT : fournir des supports propres pendant l'étape de dépôt de silicium amorphe pour garantir l'uniformité du film (écart d'épaisseur de ± 1,5 %)

Industrie des LED et des écrans :

Équipement MOCVD : en tant que support de substrat en saphir de 4/6 pouce, il atteint une uniformité de l'épaisseur de croissance de la couche épitaxiale de GaN < 3 %

Affichage à points quantiques : transport du substrat en verre dans le processus de revêtement en solution QD pour assurer une dispersion uniforme des nanoparticules

Transfert de masse micro LED : en tant que support temporaire, il permet un positionnement précis de millions de puces, avec un taux de rendement de transfert supérieur à 99,99 %

Autres champs :

Tout scénario spécial nécessitant une température élevée, une pureté élevée et un environnement transparent, tel que la technologie laser, les applications infrarouges et l'industrie de l'éclairage.

Système de service personnalisé

Dimensions : L100-800 × L50-300 × H20-100 mm

Capacité de charge : 20 à 500 pièces (2 à 12 pouces)

Bande de transmission : 190-3 500 nm (revêtement personnalisé)

Traitement de Surface: revêtement antireflet/revêtement hydrophobe

Forme structurelle : double couche/étagée/avec rainure de positionnement

Foire aux questions (FAQ)

Quelle est la température maximale de fonctionnement de ce bateau en quartz semi-circulaire ?

Notre produit peut fonctionner de manière stable dans des environnements allant jusqu'à 1 100 ℃ pendant de longues périodes, avec une résistance à court terme atteignant 1 250 ℃, répondant ainsi aux exigences de la plupart des processus à haute température.

Prenez-vous en charge la personnalisation de tailles non standard ?

Oui. En plus des spécifications standard de 100 à 800 mm, nous pouvons entièrement personnaliser les dimensions en fonction de vos dessins ou de paramètres spécifiques, notamment le rayon de l'arc, l'épaisseur de la paroi et la position des fentes.

Comment la fonction de transmission élevée profite-t-elle spécifiquement au processus ?

La transmission lumineuse élevée garantit que la chaleur des éléments chauffants rayonne uniformément sur la surface de la tranche ou de l'échantillon. Cela réduit le stress thermique, améliorant ainsi l'uniformité et le rendement de la croissance des couches minces.

Quel est le délai de livraison habituel ?

Les spécifications standard sont souvent en stock pour une expédition rapide. Pour les produits personnalisés, le cycle de production est généralement de 7 à 15 jours ouvrables, selon la complexité.

Choisir notre bateau à quartz semi-circulaire à haute transparence ne consiste pas seulement à choisir un produit, mais également à choisir un engagement envers une excellente qualité, un savoir-faire efficace et une coopération fiable. N'hésitez pas à nous contacter à tout moment pour discuter de vos besoins spécifiques.

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