Der Das 100–800 mm große halbrunde Quarzboot mit hoher Transparenz ist ein Hochleistungs-Trägerwerkzeug, das durch Präzisionsverarbeitung aus hochreinem Quarzglas (SiO₂-Gehalt ≥ 99,99 %) hergestellt wird. Sein einzigartiges halbkreisförmiges Strukturdesign in Kombination mit den hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften von Quarzmaterialien bietet eine zuverlässige Lösung für Präzisionsfertigungsbereiche wie Halbleiter, Photovoltaik und LEDs.

Kernfunktionen

Hervorragende optische Leistung: Mit einer Durchlässigkeit von über 92 % (Wellenlängenbereich von 200–2500 nm) sorgt es für eine gleichmäßige Energieübertragung in der Fotolithographie, Diffusion und anderen Prozessen und reduziert so Prozessschwankungen.

Hohe Temperaturstabilität: Es hält einer Hochtemperaturumgebung von 1100 °C lange Zeit stand, mit einer kurzfristigen Einsatztemperatur von bis zu 1450 °C und ist für extreme Prozessbedingungen wie schnelles thermisches Ausglühen (RTA) geeignet.

Ausgezeichnete chemische Inertheit: Es ist korrosionsbeständig gegenüber allen Säuren, Basen und organischen Lösungsmitteln außer Flusssäure (HF), wodurch das Risiko einer Prozessverschmutzung vermieden wird.

Strukturelle Genauigkeitsgarantie: Durch die CNC-Bearbeitung beträgt die Maßtoleranz ± 0,05 mm und die Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,2 μm, was eine perfekte Anpassung an die Prozessausrüstung gewährleistet.

Hervorragende mechanische Festigkeit: Die Biegefestigkeit erreicht 60–80 MPa und die Thermoschockbeständigkeit ist ausgezeichnet (Δ T ≥ 120 ℃ ohne Bruch), was die Lebensdauer des Produkts verlängert.

Technischer Vorteil

Im Vergleich zu herkömmlichen runden Quarzbooten erhöht das halbrunde Design die Ladekapazität um 30 % und reduziert gleichzeitig die Auswirkungen von Kanteneffekten

Die Stützstruktur des patentierten Designs sorgt für eine gleichmäßigere Spannungsverteilung auf dem Chip und reduziert die Fragmentierungsrate auf unter 0,02 %.

Die Oberflächenplasma-Behandlungstechnologie erzielt superhydrophobe Eigenschaften, verbessert die Reinigungseffizienz um 50 % und verringert das Risiko von Prozessunterbrechungen

Typische Anwendungsszenarien

Im Bereich Halbleiterfertigung:

Lithographieprozess: Als 12-Zoll-Wafer-Belichtungsträger wird er in Verbindung mit einer Lithographiemaschine für tiefes Ultraviolett (DUV) verwendet, um eine gleichmäßige Beschichtung mit Fotolack sicherzustellen

Diffusionsprozess: Transportieren von Siliziumwafern in einem Phosphor/Bor-Diffusionsofen, um eine präzise Kontrolle des Verunreinigungskonzentrationsgradienten zu erreichen (± 1 % Genauigkeit)

CVD-Abscheidung: Als Alternative zu Graphitschiffchen wird es direkt zur Abscheidung von Siliziumnitridfilmen in PECVD-Geräten verwendet, wodurch das Risiko einer Metallverunreinigung verringert wird

Anwendungen in der Photovoltaik-Industrie:

Herstellung von PERC-Zellen: Transport von Siliziumwafern der Größe M6 im Rückseitenpassivierungsprozess und Verwendung von ALD-Geräten zur Erzielung einer gestapelten Al₂O∝/SiNx-Abscheidung

TOPCon-Batterieherstellung: Als Bor-Diffusionsträger hält es der POCl ∝-Hochtemperatur-Diffusionsumgebung stand und hat eine über 200-fache Lebensdauer

HJT-Batterieprozess: Bereitstellung sauberer Träger während der Abscheidungsphase des amorphen Siliziums, um die Gleichmäßigkeit des Films sicherzustellen (± 1,5 % Dickenabweichung).

LED- und Display-Industrie:

MOCVD-Ausrüstung: Als 4/6-Zoll-Saphir-Substratträger wird eine Gleichmäßigkeit der Wachstumsdicke der GaN-Epitaxieschicht von <3 % erreicht.

Quantenpunktanzeige: Tragendes Glassubstrat im QD-Lösungsbeschichtungsprozess, um eine gleichmäßige Dispersion von Nanopartikeln sicherzustellen

Micro-LED-Massentransfer: Als temporärer Träger erreicht es eine präzise Positionierung von Millionen von Chips mit einer Transferausbeute von über 99,99 %.

Weitere Bereiche:

Jedes spezielle Szenario, das hohe Temperaturen, hohe Reinheit und eine transparente Umgebung erfordert, wie z. B. Lasertechnologie, Infrarotanwendungen und Beleuchtungsindustrie.

Maßgeschneidertes Servicesystem

Abmessungen: L100-800 × B50-300 × H20-100 mm

Tragfähigkeit: 20–500 Stück (2–12 Zoll)

Transmissionsband: 190–3500 nm (kundenspezifische Beschichtung)

Oberflächenbehandlung: Antireflexbeschichtung/hydrophobe Beschichtung

Bauform: zweilagig/gestuft/mit Positionierungsrillendesign

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

Was ist die maximale Betriebstemperatur dieses halbrunden Quarzbootes?

Unser Produkt kann in Umgebungen von bis zu 1100 °C über lange Zeiträume stabil betrieben werden, mit einer kurzfristigen Beständigkeit von bis zu 1250 °C, wodurch die Anforderungen der meisten Hochtemperaturprozesse erfüllt werden.

Unterstützen Sie die Anpassung nicht standardmäßiger Größen?

Ja. Zusätzlich zu den Standardspezifikationen von 100–800 mm können wir die Abmessungen basierend auf Ihren Zeichnungen oder spezifischen Parametern, einschließlich Bogenradius, Wandstärke und Schlitzpositionen, vollständig anpassen.

Welchen konkreten Nutzen hat die hohe Transmission für den Prozess?

Die hohe Lichtdurchlässigkeit sorgt dafür, dass die Wärme der Heizelemente gleichmäßig auf den Wafer oder die Probenoberfläche abgestrahlt wird. Dies reduziert die thermische Belastung und verbessert dadurch die Gleichmäßigkeit und Ausbeute des Dünnschichtwachstums.

Was ist die typische Vorlaufzeit für die Lieferung?

Standardspezifikationen sind häufig für einen schnellen Versand auf Lager. Bei kundenspezifischen Produkten beträgt der Produktionszyklus je nach Komplexität in der Regel 7–15 Werktage.

Bei der Wahl unseres hochtransparenten halbkreisförmigen Quarzbootes geht es nicht nur um die Wahl eines Produkts, sondern auch um die Verpflichtung zu hervorragender Qualität, effizienter Handwerkskunst und zuverlässiger Zusammenarbeit. Kontaktieren Sie uns jederzeit gerne, um Ihre spezifischen Bedürfnisse zu besprechen.

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Produkte Quarzglas , einschließlich Quarzröhren, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzschiffchen, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.