그만큼 100-800mm 고투명 반원형 석영 보트는 고순도 석영 유리(SiO 2 함량 ≥ 99.99%)를 정밀 가공하여 만든 고성능 운반 도구입니다. 독특한 반원형 구조 설계와 석영 소재의 우수한 물리적, 화학적 특성이 결합되어 반도체, 광전지, LED 등 정밀 제조 분야에 안정적인 솔루션을 제공합니다.

핵심 기능

뛰어난 광학 성능: 92% 이상의 투과율(파장 범위 200-2500nm)로 포토리소그래피, 확산 및 기타 공정에서 균일한 에너지 전달을 보장하여 공정 변동을 줄입니다.

고온 안정성: 1100℃의 고온 환경을 장기간 견딜 수 있으며, 단기 사용온도는 최대 1450℃에 달하며 급속열처리(RTA) 등 극한 공정 조건에 적합하다.

탁월한 화학적 불활성: 불화수소산(HF)을 제외한 모든 산, 염기 및 유기 용매에 대한 내식성을 갖고 있어 공정 오염의 위험을 방지합니다.

구조적 정확성 보장: CNC 가공을 통해 치수 공차는 ± 0.05mm, 표면 거칠기 Ra는 ≤ 0.2 μm로 공정 장비와의 완벽한 일치를 보장합니다.

뛰어난 기계적 강도: 굽힘 강도는 60-80MPa에 도달하고 열충격 저항성이 우수하여(파단 없이 ΔT ≥ 120℃) 제품의 수명이 연장됩니다.

기술적 이점

전통적인 원형 석영 보트에 비해 반원형 디자인은 적재 용량을 30% 증가시키면서 가장자리 효과의 영향을 줄입니다.

특허 받은 디자인의 지지 구조는 칩에 보다 균일한 응력 분포를 보장하여 조각화율을 0.02% 미만으로 줄입니다.

표면 플라즈마 처리 기술로 초소수성 달성, 세척 효율 50% 향상, 공정 중단 위험 감소

일반적인 애플리케이션 시나리오

반도체 제조 분야:

노광공정 : 12인치 웨이퍼 노광용 캐리어로서 심자외선(DUV) 노광기와 결합하여 포토레지스트의 균일한 코팅을 보장합니다.

확산 공정: 인/붕소 확산로에서 실리콘 웨이퍼를 운반하여 불순물 농도 구배를 정밀하게 제어합니다(± 1% 정확도).

CVD 증착: 흑연 보트 대신 PECVD 장비에서 실리콘 질화막을 증착하는 데 직접 사용되어 금속 오염 위험을 줄입니다.

광전지 산업 응용 분야:

PERC 셀 생산: 후면 패시베이션 공정에서 M6 크기 실리콘 웨이퍼를 운반하고 ALD 장비를 사용하여 Al 2 O ∝/SiNx 적층 증착 달성

TOPCon 배터리 제조: 붕소 확산 캐리어로서 POCl ∝ 고온 확산 환경을 견딜 수 있으며 200배 이상의 수명을 가집니다.

HJT 배터리 공정: 비정질 실리콘 증착 단계에서 깨끗한 캐리어를 제공하여 필름 균일성(± 1.5% 두께 편차) 보장

LED 및 디스플레이 산업:

MOCVD 장비: 4/6인치 사파이어 기판 캐리어로서 <3%의 GaN 에피층 성장 두께 균일성을 달성합니다.

양자점 디스플레이: 나노입자의 균일한 분산을 보장하기 위해 QD 용액 코팅 공정에서 유리 기판을 운반합니다.

마이크로 LED 매스 트랜스퍼(Micro LED Mass Transfer): 임시 캐리어로서 99.99% 이상의 전사 수율로 수백만 개의 칩을 정밀하게 포지셔닝합니다.

기타 분야:

레이저 기술, 적외선 응용, 조명 산업 등 고온, 고순도, 투명한 환경이 필요한 특수 시나리오.

맞춤형 서비스 시스템

크기: L100-800 × W50-300 × H20-100mm

적재 용량: 20~500개(2~12인치)

투과 대역: 190-3500nm(맞춤형 코팅)

표면 처리: 반사 방지 코팅/소수성 코팅

구조 형태: 이중층/계단형/포지셔닝 홈 디자인 포함

자주 묻는 질문(FAQ)

이 반원형 석영 보트의 최대 작동 온도는 얼마입니까?

당사 제품은 최대 1100℃의 환경에서 장기간 안정적으로 작동할 수 있으며 단기 저항은 1250℃에 도달하여 대부분의 고온 공정의 요구 사항을 충족합니다.

비표준 크기 사용자 정의를 지원합니까?

예. 100~800mm의 표준 사양 외에도 도면이나 호 반경, 벽 두께, 슬롯 위치 등의 특정 매개변수를 기반으로 치수를 완벽하게 맞춤 설정할 수 있습니다.

높은 투과율 기능은 프로세스에 구체적으로 어떤 이점을 제공합니까?

높은 광선 투과율은 가열 요소의 열이 웨이퍼나 샘플 표면에 고르게 방출되도록 보장합니다. 이는 열 응력을 감소시켜 박막 성장의 균일성과 수율을 향상시킵니다.

일반적인 배송 리드타임은 얼마나 됩니까?

빠른 배송을 위해 표준 사양의 재고가 있는 경우가 많습니다. 맞춤형 제품의 경우 생산 주기는 복잡성에 따라 일반적으로 영업일 기준 7~15일입니다.

당사의 고투명 반원형 석영 보트를 선택하는 것은 제품 선택뿐만 아니라 우수한 품질, 효율적인 장인 정신 및 신뢰할 수 있는 협력에 대한 약속을 선택하는 것과도 관련이 있습니다. 귀하의 특정 요구 사항에 대해 논의하려면 언제든지 저희에게 연락하십시오.

루베르 쿼츠는 다양한 고품질 제품을 제조, 판매하고 있습니다. 석영 유리 , 석영 튜브, 석영 판, 석영 막대, 석영 창, 석영 도가니, 석영 보트, 석영 플랜지, 석영 비커, 석영 유리 기기 등을 포함합니다. 우리는 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.