Полукруглая кварцевая лодка высокой прозрачности диаметром 100–800 мм представляет собой высокопроизводительный инструмент-носитель, изготовленный из кварцевого стекла высокой чистоты (содержание SiO ₂ ≥ 99,99%) путем точной обработки. Его уникальная конструкция полукруглой структуры в сочетании с превосходными физическими и химическими свойствами кварцевых материалов обеспечивает надежное решение для таких областей точного производства, как полупроводники, фотоэлектрические элементы и светодиоды.

Основные функции

Отличные оптические характеристики: коэффициент пропускания более 92% (диапазон длин волн 200–2500 нм) обеспечивает равномерную передачу энергии при фотолитографии, диффузии и других процессах, уменьшая колебания процесса.

Высокая температурная стабильность: он может выдерживать высокую температуру до 1100 ℃ в течение длительного времени, при кратковременном использовании до 1450 ℃ и подходит для экстремальных технологических условий, таких как быстрый термический отжиг (RTA).

Превосходная химическая инертность: он обладает коррозионной стойкостью ко всем кислотам, основаниям и органическим растворителям, за исключением плавиковой кислоты (HF), что позволяет избежать риска технологического загрязнения.

Гарантия структурной точности: благодаря обработке на станке с ЧПУ допуск на размеры составляет ± 0,05 мм, а шероховатость поверхности Ra составляет ≤ 0,2 мкм, что обеспечивает идеальное соответствие технологическому оборудованию.

Выдающаяся механическая прочность: прочность на изгиб достигает 60-80 МПа, а устойчивость к термическому удару превосходна (Δ T ≥ 120 ℃ без разрушения), что продлевает срок службы изделия.

Техническое преимущество

По сравнению с традиционными круглыми кварцевыми лодками полукруглая конструкция увеличивает грузоподъемность на 30%, одновременно снижая влияние краевых эффектов.

Опорная структура запатентованной конструкции обеспечивает более равномерное распределение нагрузки на чип, снижая уровень фрагментации до уровня ниже 0,02%.

Технология плазменной обработки поверхности обеспечивает супергидрофобные свойства, повышает эффективность очистки на 50% и снижает риск остановки процесса.

Типичные сценарии применения

В области производства полупроводников:

Процесс литографии: в качестве носителя для экспонирования пластин размером 12 дюймов он используется в сочетании с литографической машиной глубокого ультрафиолета (DUV) для обеспечения равномерного покрытия фоторезиста.

Процесс диффузии: перенос кремниевых пластин в диффузионную печь фосфора/бора для достижения точного контроля градиента концентрации примесей (точность ± 1%).

Нанесение CVD: в качестве альтернативы графитовым лодочкам он используется непосредственно для нанесения пленок нитрида кремния в оборудовании PECVD, что снижает риск загрязнения металлами.

Применение в фотоэлектрической промышленности:

Производство ячеек PERC: использование кремниевых пластин размера M6 в процессе обратной пассивации и использование оборудования ALD для многослойного осаждения Al ₂ O ∝/SiNx.

Производство аккумуляторов TOPCon: Являясь диффузионным носителем бора, он выдерживает воздействие высокотемпературной диффузионной среды POCl ∝ и имеет срок службы более 200 раз.

Процесс работы с батареями HJT: Обеспечьте чистые носители на этапе осаждения аморфного кремния, чтобы обеспечить однородность пленки (отклонение толщины ± 1,5%).

Светодиодная и дисплейная индустрия:

Оборудование MOCVD: в качестве носителя сапфировой подложки диаметром 4/6 дюйма достигается однородность толщины эпитаксиального слоя GaN <3%.

Дисплей с квантовыми точками: использование стеклянной подложки в процессе нанесения покрытия раствором КТ для обеспечения равномерной дисперсии наночастиц.

Массовый перенос микро-светодиодов: в качестве временного носителя он обеспечивает точное позиционирование миллионов чипов с коэффициентом передачи более 99,99%.

Другие поля:

Любой специальный сценарий, требующий высокой температуры, высокой чистоты и прозрачной среды, например, лазерные технологии, инфракрасные приложения и светотехническая промышленность.

Индивидуальная система обслуживания

Размеры: Д100-800 × Ш50-300 × В20-100 мм.

Грузоподъемность: 20-500 штук (2-12 дюймов)

Полоса пропускания: 190-3500 нм (индивидуальное покрытие)

Обработка поверхности: антибликовое покрытие/гидрофобное покрытие.

Конструктивная форма: двухслойная/ступенчатая/с позиционирующим пазом.

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

Какова максимальная рабочая температура этой полукруглой кварцевой лодочки?

Наш продукт может стабильно работать при температуре до 1100 ℃ в течение длительного периода времени, при этом кратковременная устойчивость достигает 1250 ℃, что соответствует требованиям большинства высокотемпературных процессов.

Поддерживаете ли вы настройку нестандартного размера?

Да. В дополнение к стандартным характеристикам от 100 до 800 мм мы можем полностью настроить размеры на основе ваших чертежей или конкретных параметров, включая радиус дуги, толщину стенки и положение пазов.

Какую конкретно выгоду этому процессу приносит функция высокого пропускания?

Высокий коэффициент пропускания света гарантирует, что тепло от нагревательных элементов равномерно распределяется по поверхности пластины или образца. Это снижает термическое напряжение, тем самым улучшая однородность и производительность роста тонких пленок.

Каков типичный срок доставки?

Стандартные характеристики часто имеются на складе для быстрой доставки. Для продукции по индивидуальному заказу производственный цикл обычно составляет 7-15 рабочих дней, в зависимости от сложности.

Выбор нашей полукруглой кварцевой лодки высокой прозрачности — это не только выбор продукта, но и выбор приверженности превосходному качеству, эффективному мастерству и надежному сотрудничеству. Не стесняйтесь обращаться к нам в любое время, чтобы обсудить ваши конкретные потребности.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественных изделий. кварцевое стекло , включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.