El El bote de cuarzo semicircular de alta transparencia de 100-800 mm es una herramienta portadora de alto rendimiento hecha de vidrio de cuarzo de alta pureza (contenido de SiO₂ ≥ 99,99%) mediante un procesamiento de precisión. Su exclusivo diseño de estructura semicircular combinado con las excelentes propiedades físicas y químicas de los materiales de cuarzo proporciona una solución confiable para campos de fabricación de precisión como semiconductores, energía fotovoltaica y LED.

Características principales

Excelente rendimiento óptico: con una transmitancia superior al 92 % (rango de longitud de onda de 200-2500 nm), garantiza una transferencia de energía uniforme en fotolitografía, difusión y otros procesos, reduciendo las fluctuaciones del proceso.

Estabilidad a alta temperatura: puede soportar un ambiente de alta temperatura de 1100 ℃ durante mucho tiempo, con una temperatura de uso a corto plazo de hasta 1450 ℃, y es adecuado para condiciones de proceso extremas como el recocido térmico rápido (RTA).

Excelente inercia química: Tiene resistencia a la corrosión de todos los ácidos, bases y solventes orgánicos excepto el ácido fluorhídrico (HF), evitando el riesgo de contaminación del proceso.

Garantía de precisión estructural: mediante el mecanizado CNC, la tolerancia dimensional es de ± 0,05 mm y la rugosidad de la superficie Ra es ≤ 0,2 μ m, lo que garantiza una perfecta combinación con el equipo de proceso.

Excelente resistencia mecánica: la resistencia a la flexión alcanza 60-80 MPa y la resistencia al choque térmico es excelente (Δ T ≥ 120 ℃ sin ruptura), lo que extiende la vida útil del producto.

Ventaja técnica

En comparación con los tradicionales barcos circulares de cuarzo, el diseño semicircular aumenta la capacidad de carga en un 30 % y reduce el impacto de los efectos de borde.

La estructura de soporte del diseño patentado garantiza una distribución más uniforme de la tensión en el chip, reduciendo la tasa de fragmentación por debajo del 0,02%.

La tecnología de tratamiento de superficie con plasma logra propiedades superhidrófobas, mejora la eficiencia de limpieza en un 50 % y reduce el riesgo de interrupción del proceso.

Escenarios de aplicación típicos

En el campo de la fabricación de semiconductores:

Proceso de litografía: como portador de exposición de oblea de 12 pulgadas, se utiliza junto con una máquina de litografía ultravioleta profunda (DUV) para garantizar un recubrimiento uniforme del fotoprotector.

Proceso de difusión: transporte de obleas de silicio en un horno de difusión de fósforo/boro para lograr un control preciso del gradiente de concentración de impurezas (± 1% de precisión)

Deposición CVD: como alternativa a los botes de grafito, se utiliza directamente para depositar películas de nitruro de silicio en equipos PECVD, lo que reduce el riesgo de contaminación por metales.

Aplicaciones de la industria fotovoltaica:

Producción de células PERC: transporte de obleas de silicio de tamaño M6 en el proceso de pasivación posterior y uso de equipos ALD para lograr la deposición apilada de Al ₂ O ∝/SiNx

Fabricación de baterías TOPCon: como portador de difusión de boro, puede soportar entornos de difusión de alta temperatura POCl ∝ y tiene una vida útil de más de 200 veces.

Proceso de batería HJT: proporcione portadores limpios durante la etapa de deposición de silicio amorfo para garantizar la uniformidad de la película (± 1,5 % de desviación de espesor)

Industria de LED y pantallas:

Equipo MOCVD: como soporte de sustrato de zafiro de 4/6 de pulgada, logra una uniformidad del espesor de crecimiento de la capa epitaxial de GaN de <3%

Pantalla de puntos cuánticos: transporte de sustrato de vidrio en un proceso de recubrimiento con solución QD para garantizar una dispersión uniforme de las nanopartículas

Transferencia de masa Micro LED: como portador temporal, logra un posicionamiento preciso de millones de chips, con una tasa de rendimiento de transferencia superior al 99,99 %.

Otros campos:

Cualquier escenario especial que requiera alta temperatura, alta pureza y un entorno transparente, como tecnología láser, aplicaciones de infrarrojos e industria de la iluminación.

Sistema de servicio personalizado

Dimensiones: L100-800 × W50-300 × H20-100mm

Capacidad de carga: 20-500 piezas (2-12 pulgadas)

Banda de transmitancia: 190-3500 nm (recubrimiento personalizado)

Tratamiento superficial: revestimiento antirreflectante/recubrimiento hidrofóbico

Forma estructural: diseño de doble capa/escalonado/con ranura de posicionamiento

Preguntas frecuentes (FAQ)

¿Cuál es la temperatura máxima de funcionamiento de este barco semicircular de cuarzo?

Nuestro producto puede funcionar de manera estable en ambientes de hasta 1100 ℃ durante períodos prolongados, con una resistencia a corto plazo que alcanza los 1250 ℃, satisfaciendo las demandas de la mayoría de los procesos de alta temperatura.

¿Admite la personalización de tamaños no estándar?

Sí. Además de las especificaciones estándar de 100 a 800 mm, podemos personalizar completamente las dimensiones según sus dibujos o parámetros específicos, incluidos el radio del arco, el espesor de la pared y las posiciones de las ranuras.

¿Cómo beneficia específicamente al proceso la característica de alta transmitancia?

La alta transmitancia de luz garantiza que el calor de los elementos calefactores se irradie uniformemente sobre la oblea o la superficie de la muestra. Esto reduce el estrés térmico, mejorando así la uniformidad y el rendimiento del crecimiento de películas delgadas.

¿Cuál es el plazo típico de entrega?

Las especificaciones estándar suelen estar disponibles para un envío rápido. Para productos personalizados, el ciclo de producción es generalmente de 7 a 15 días hábiles, según la complejidad.

Elegir nuestro barco de cuarzo semicircular de alta transparencia no se trata solo de elegir un producto, sino también de elegir un compromiso con una calidad excelente, una artesanía eficiente y una cooperación confiable. No dude en contactarnos en cualquier momento para discutir sus necesidades específicas.

Luverre Quartz fabrica y vende una amplia gama de alta calidad. Vidrio de cuarzo , incluidos tubos de cuarzo, placas de cuarzo, varillas de cuarzo, ventanas de cuarzo, crisoles de cuarzo, botes de cuarzo, bridas de cuarzo, vasos de precipitados de cuarzo, instrumentos de vidrio de cuarzo y más. Podemos cumplir con todo tipo de requisitos personalizados para productos de vidrio de cuarzo.