0,1-10 mm dikke halfgeleider gefuseerde wafer kwarts glazen plaat is een speciaal type industrieel glas dat voornamelijk uit silica is gemaakt. Dit materiaal wordt veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie vanwege de unieke fysische en chemische eigenschappen.

De kenmerken van kwartsglas zijn:

Weerstand op hoge temperatuur: gesmolten silicaglas heeft een verzachtpunt van ongeveer 1730 ° C en kan lang bij temperaturen werken tussen 1100 ° C en 1250 ° C, zelfs in een korte tijd in een korte tijd bereikt.

Corrosiebestendigheid: Naast het gevoelig zijn voor hydrofluorzuur, heeft kwartsglas een goede corrosieweerstand tegen andere zuren en de zuurweerstand ervan is 30 keer dat van keramiek en 150 keer die van roestvrij staal.

Thermische stabiliteit: kwartsglas heeft een zeer kleine thermische expansiecoëfficiënt en kan ernstige temperatuurveranderingen weerstaan, zoals direct van hoge temperatuur in kamertemperatuur worden geplaatst zonder te kraken.

Hoog lichtverzending: kwartsglas heeft een goede transmissie in het gehele spectrale bereik van ultraviolet tot infrarood, met een transmissie van meer dan 95% voor zichtbaar licht, vooral in de ultraviolette band, waar de maximale transmissie groter is dan 85%.

Elektrische isolatie: de weerstandswaarde van kwartsglas is 10.000 keer die van gewoon glas, waardoor het een uitstekend elektrisch isolatiemateriaal is dat goede elektrische eigenschappen behoudt, zelfs bij hoge temperaturen.

Deze eigenschappen van kwartsglas maken het een belangrijk materiaal voor de halfgeleiderindustrie, waar het wordt gebruikt om bulkverwerkingsapparatuur en verwerkingsapparatuur met één wafer te maken. In de halfgeleiderindustrie wordt kwartsglas gebruikt om kwartsboten, kwartsbases, kwartsdragers, enz. Te maken, evenals voeringen, klepplaten, spuitplaten, wafeldragers en sensoren voor verwerkingsapparatuur met één waster.