0.1〜10 mmの厚さ半導体融合ウェーハ石英ガラス板は、主にシリカで作られた特別なタイプの工業用ガラスです。この材料は、独自の物理的および化学的特性のために、半導体業界で広く使用されています。

Quartz Glassの特徴は次のとおりです。

高温抵抗： 融合したシリカガラスは、約1730°Cの軟化点を持ち、1100°Cから1250°Cの温度で長い間動作し、短時間で1450°Cに達します。

腐食抵抗： フッ化水素酸に敏感であることに加えて、クォーツガラスは他の酸に対して良好な耐食性があり、その酸耐性はセラミックの30倍、ステンレス鋼の150倍です。

熱安定性： クォーツガラスは非常に小さな熱膨張係数を持ち、高温から室温の水に直接配置するなど、深刻な温度変化に耐えることができます。

高光透過率： 石英ガラスは、紫外線から赤外線までのスペクトル範囲全体で良好な透過率を持ち、特に最大透過率が85％を超える紫外線バンドでは、目に見える光の95％以上の透過率があります。

電気断熱： 石英ガラスの抵抗値は、通常のガラスの10,000倍であり、高温でも良好な電気特性を維持する優れた電気断熱材となります。

クォーツガラスのこれらの特性により、半導体産業にとって重要な材料となり、バルク処理装置と単一散布処理装置の製造に使用されます。半導体業界では、石英ガラスを使用して、クォーツボート、クォーツベース、クォーツキャリアなど、ライナー、バルブプレート、スプレープレート、ウェーハキャリア、センサーをシングルウェーハ加工装置用に製造します。