لوح زجاج الكوارتز الويفر المصهور بسمك 0.1-10 مم هو نوع خاص من الزجاج الصناعي المصنوع بشكل رئيسي من السيليكا. تستخدم هذه المادة على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات بسبب خصائصها الفيزيائية والكيميائية الفريدة.

خصائص زجاج الكوارتز تشمل:

مقاومة درجات الحرارة العالية: يتمتع زجاج السيليكا المنصهر بنقطة تليين تبلغ حوالي 1730 درجة مئوية، ويمكن أن يعمل في درجات حرارة تتراوح بين 1100 درجة مئوية و1250 درجة مئوية لفترة طويلة، حتى أنه يصل إلى 1450 درجة مئوية في وقت قصير.

مقاومة التآكل: بالإضافة إلى كونه حساسًا لحمض الهيدروفلوريك، فإن زجاج الكوارتز يتمتع بمقاومة جيدة للتآكل للأحماض الأخرى، ومقاومته للأحماض تبلغ 30 مرة من السيراميك و150 مرة من الفولاذ المقاوم للصدأ.

الثبات الحراري: يتمتع زجاج الكوارتز بمعامل تمدد حراري صغير جدًا ويمكنه تحمل التغيرات الشديدة في درجات الحرارة، مثل وضعه مباشرة من درجة حرارة عالية إلى ماء بدرجة حرارة الغرفة دون أن يتشقق.

نفاذية الضوء العالية: يتمتع زجاج الكوارتز بنفاذية جيدة في النطاق الطيفي بأكمله من الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء، مع نفاذية تزيد عن 95% للضوء المرئي، خاصة في نطاق الأشعة فوق البنفسجية، حيث يتجاوز الحد الأقصى للنفاذية 85%.

العزل الكهربائي: تبلغ قيمة مقاومة زجاج الكوارتز 10000 مرة ضعف الزجاج العادي، مما يجعله مادة عازلة كهربائية ممتازة تحافظ على خصائص كهربائية جيدة حتى في درجات الحرارة المرتفعة.

هذه الخصائص لزجاج الكوارتز تجعله مادة مهمة لصناعة أشباه الموصلات، حيث يتم استخدامه لصنع معدات المعالجة السائبة ومعدات معالجة الرقاقة المفردة. في صناعة أشباه الموصلات، يتم استخدام زجاج الكوارتز لصنع قوارب الكوارتز، وقواعد الكوارتز، وحاملات الكوارتز، وما إلى ذلك، بالإضافة إلى البطانات، وألواح الصمامات، وألواح الرش، وحاملات الرقاقات، وأجهزة الاستشعار لمعدات معالجة الرقاقة المفردة.