0.1-10 mm 두께의 반도체 융합 웨이퍼 석영 유리판은 주로 실리카로 만들어진 특수한 유형의 산업용 유리입니다. 이 소재는 독특한 물리적, 화학적 특성으로 인해 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.

석영 유리의 특성은 다음과 같습니다.

고온 저항: 용융 실리카 유리는 약 1730°C의 연화점을 가지며 1100°C~1250°C 사이의 온도에서 오랫동안 작동할 수 있으며 단시간에 1450°C에 도달할 수도 있습니다.

내식성: 석영 유리는 불산에 민감할 뿐만 아니라 다른 산에 대한 내식성이 우수하며 내산성은 세라믹의 30배, 스테인리스강의 150배입니다.

열 안정성: 석영 유리는 열팽창 계수가 매우 작으며 균열 없이 고온에서 상온의 물에 직접 넣는 등 심각한 온도 변화를 견딜 수 있습니다.

높은 광선 투과율: 석영 유리는 자외선부터 적외선까지 전체 스펙트럼 범위에서 우수한 투과율을 가지며, 가시광선 투과율은 95% 이상이며, 특히 최대 투과율이 85%를 초과하는 자외선 대역에서 더욱 그렇습니다.

전기 절연성: 석영 유리의 저항값은 일반 유리의 10,000배에 달하므로 고온에서도 우수한 전기적 특성을 유지하는 우수한 전기 절연 재료입니다.

석영 유리의 이러한 특성은 벌크 처리 장비 및 단일 웨이퍼 처리 장비를 만드는 데 사용되는 반도체 산업의 중요한 재료입니다. 반도체 산업에서 석영 유리는 단일 웨이퍼 처리 장비용 라이너, 밸브 플레이트, 스프레이 플레이트, 웨이퍼 캐리어 및 센서뿐만 아니라 석영 보트, 석영 베이스, 석영 캐리어 등을 만드는 데 사용됩니다.