Полупроводниковая пластина из плавленого кварцевого стекла толщиной 0,1-10 мм представляет собой особый тип промышленного стекла, изготовленного в основном из кремнезема. Этот материал широко используется в полупроводниковой промышленности благодаря своим уникальным физическим и химическим свойствам.

К характеристикам кварцевого стекла относятся:

Высокая термостойкость: плавленое кварцевое стекло имеет температуру размягчения около 1730°C и может работать при температурах от 1100°C до 1250°C в течение длительного времени, даже достигая за короткое время 1450°C.

Коррозионная стойкость: кварцевое стекло не только чувствительно к плавиковой кислоте, но и обладает хорошей коррозионной стойкостью к другим кислотам, а его кислотостойкость в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали.

Термическая стабильность: кварцевое стекло имеет очень маленький коэффициент теплового расширения и может выдерживать серьезные изменения температуры, например, попадание непосредственно из зоны высокой температуры в воду комнатной температуры без растрескивания.

Высокий коэффициент пропускания света: Кварцевое стекло имеет хороший коэффициент пропускания во всем спектральном диапазоне от ультрафиолета до инфракрасного, с коэффициентом пропускания более 95% для видимого света, особенно в ультрафиолетовом диапазоне, где максимальный коэффициент пропускания превышает 85%.

Электроизоляция: значение сопротивления кварцевого стекла в 10 000 раз выше, чем у обычного стекла, что делает его отличным электроизоляционным материалом, сохраняющим хорошие электрические свойства даже при высоких температурах.

Эти свойства кварцевого стекла делают его важным материалом для полупроводниковой промышленности, где оно используется для изготовления оборудования для массовой обработки и оборудования для обработки одиночных пластин. В полупроводниковой промышленности кварцевое стекло используется для изготовления кварцевых лодочек, кварцевых оснований, кварцевых носителей и т. д., а также лайнеров, клапанных тарелок, распылительных пластин, держателей пластин и датчиков для оборудования по обработке одиночных пластин.